కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (CVD). పేరు సూచించినట్లుగా, ఇది పరమాణు మరియు అంతర అణు రసాయన చర్యల ద్వారా ఘన పొరలను ఉత్పత్తి చేయడానికి వాయురూప ప్రికర్సర్ రియాక్టెంట్లను ఉపయోగించే ఒక సాంకేతికత. PVDకి భిన్నంగా, CVD ప్రక్రియ ఎక్కువగా అధిక పీడనం (తక్కువ వాక్యూమ్) ఉన్న వాతావరణంలో నిర్వహించబడుతుంది, ఈ అధిక పీడనం ప్రధానంగా పొర యొక్క డిపోజిషన్ రేటును పెంచడానికి ఉపయోగించబడుతుంది. డిపోజిషన్ ప్రక్రియలో ప్లాస్మా ఉందా లేదా అనే దాని ప్రకారం కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ను జనరల్ CVD (దీనిని థర్మల్ CVD అని కూడా అంటారు) మరియు ప్లాస్మా-ఎన్హాన్స్డ్ కెమికల్ వేపర్ డిపోజిషన్ (PECVD)గా వర్గీకరించవచ్చు. ఈ విభాగం PECVD ప్రక్రియ, సాధారణంగా ఉపయోగించే PECVD పరికరాలు మరియు పని సూత్రంతో సహా PECVD సాంకేతికతపై దృష్టి పెడుతుంది.
ప్లాస్మా-మెరుగుపరచిన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ అనేది ఒక పలుచని పొర రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ పద్ధతి. ఇది అల్పపీడన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియ జరుగుతున్నప్పుడు, ఆ ప్రక్రియపై ప్రభావాన్ని చూపడానికి గ్లో డిశ్చార్జ్ ప్లాస్మాను ఉపయోగిస్తుంది. ఈ విధంగా చూస్తే, సాంప్రదాయ CVD సాంకేతికత వాయురూప పదార్థాల మధ్య రసాయన చర్యను మరియు పలుచని పొరల నిక్షేపణను సాధించడానికి అధిక సబ్స్ట్రేట్ ఉష్ణోగ్రతలపై ఆధారపడుతుంది, అందువల్ల దీనిని థర్మల్ CVD సాంకేతికత అని కూడా పిలుస్తారు.
PECVD పరికరంలో, పనిచేసే వాయు పీడనం సుమారు 5~500 Pa ఉంటుంది, మరియు ఎలక్ట్రాన్లు, అయాన్ల సాంద్రత 109~1012/cm3 వరకు చేరగలదు, అదే సమయంలో ఎలక్ట్రాన్ల సగటు శక్తి 1~10 eV వరకు ఉంటుంది. ఇతర CVD పద్ధతుల నుండి PECVD పద్ధతిని వేరుచేసేది ఏమిటంటే, ప్లాస్మాలో అధిక సంఖ్యలో అధిక-శక్తి గల ఎలక్ట్రాన్లు ఉంటాయి, ఇవి రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియకు అవసరమైన క్రియాశీలక శక్తిని అందించగలవు. ఎలక్ట్రాన్లు మరియు వాయు-దశ అణువుల ఢీకొనడం వలన వాయు అణువుల విఘటన, రసాయన సంశ్లేషణ, ఉత్తేజం మరియు అయనీకరణ ప్రక్రియలు ప్రోత్సహించబడి, అత్యంత చర్యాశీల రసాయన సమూహాలు ఏర్పడతాయి. తద్వారా CVD పలుచని పొర నిక్షేపణ యొక్క ఉష్ణోగ్రతా పరిధి గణనీయంగా తగ్గుతుంది. ఇది, వాస్తవానికి అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్వహించాల్సిన CVD ప్రక్రియను తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద సాకారం చేయడానికి వీలు కల్పిస్తుంది. తక్కువ ఉష్ణోగ్రత వద్ద పలుచని పొర నిక్షేపణ యొక్క ప్రయోజనం ఏమిటంటే, ఇది పొర మరియు సబ్స్ట్రేట్ మధ్య అనవసరమైన వ్యాపనం మరియు రసాయన చర్యను, పొర లేదా సబ్స్ట్రేట్ పదార్థం యొక్క నిర్మాణ మార్పులు మరియు క్షీణతను, మరియు పొర మరియు సబ్స్ట్రేట్లో అధిక ఉష్ణ ఒత్తిడులను నివారించగలదు.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ చేసిన సమయం: ఏప్రిల్-18-2024