Kuyika Mpweya wa Madzi Owonjezera a Plasma Chaputala 1

Kutulutsa nthunzi ya mankhwala (CVD). Monga momwe dzinalo likusonyezera, ndi njira yomwe imagwiritsa ntchito ma reactants a gaseous precursor kuti ipange mafilimu olimba pogwiritsa ntchito ma atomu ndi ma intermolecular chemical reactions. Mosiyana ndi PVD, njira ya CVD imachitika kwambiri pamalo opanikizika kwambiri (vacuum yotsika), pomwe kupanikizika kwakukulu kumagwiritsidwa ntchito makamaka kuti kuwonjezere kuchuluka kwa filimuyo. Kutulutsa nthunzi ya mankhwala kumatha kugawidwa m'magulu a CVD wamba (womwe umadziwikanso kuti thermal CVD) ndi plasma-enhanced chemical vapor deposition (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. PECVD) malinga ndi ngati plasma ikukhudzidwa ndi njira yotulutsira. Gawoli likuyang'ana kwambiri ukadaulo wa PECVD kuphatikiza njira ya PECVD ndi zida za PECVD zomwe zimagwiritsidwa ntchito kwambiri komanso mfundo yogwirira ntchito.

Kuika nthunzi ya mankhwala yowonjezeredwa ndi plasma ndi njira yoika nthunzi ya mankhwala yopyapyala yomwe imagwiritsa ntchito plasma yotulutsa kuwala kuti ikhudze njira yoika nthunzi ya mankhwala pamene njira yoika nthunzi ya mankhwala yotsika mphamvu ikuchitika. Mwanjira imeneyi, ukadaulo wa CVD wamba umadalira kutentha kwapamwamba kwa substrate kuti ukwaniritse momwe mankhwala amachitira pakati pa zinthu za gasi ndi kuika kwa mafilimu opyapyala, motero ukhoza kutchedwa ukadaulo wa CVD wotentha.

Mu chipangizo cha PECVD, mpweya wothamanga ndi pafupifupi 5~500 Pa, ndipo kuchuluka kwa ma elekitironi ndi ma ayoni kumatha kufika 109~1012/cm3, pomwe mphamvu yapakati ya ma elekitironi imatha kufika 1~10 eV. Chomwe chimasiyanitsa njira ya PECVD ndi njira zina za CVD ndikuti plasma ili ndi ma elekitironi ambiri amphamvu, omwe angapereke mphamvu yoyambitsa yofunikira pakuyika nthunzi ya mankhwala. Kugundana kwa ma elekitironi ndi mamolekyulu a gasi kumatha kulimbikitsa kuwonongeka, kupanga chemosynthesis, kuyambitsa ndi ionization ya mamolekyulu a gasi, ndikupanga magulu a mankhwala omwe amagwira ntchito kwambiri, motero kuchepetsa kwambiri kutentha kwa CVD thin film deposition, zomwe zimapangitsa kuti njira ya CVD ichitike, yomwe poyamba imafunika kuchitika kutentha kwambiri, kutentha kochepa. Ubwino wa thin film deposition yotsika ndi wakuti imatha kupewa kufalikira kosafunikira ndi kuchitapo kanthu kwa mankhwala pakati pa filimu ndi substrate, kusintha kwa kapangidwe kake ndi kuwonongeka kwa filimu kapena substrate, komanso kupsinjika kwakukulu kwa kutentha mu filimu ndi substrate.

– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua