Чопкунии буғи кимиёвӣ (CVD). Тавре ки аз номаш бармеояд, ин усулест, ки аз реактивҳои пешгузаштаи газӣ барои тавлиди плёнкаҳои сахт тавассути реаксияҳои кимиёвии атомӣ ва байнимолекулавӣ истифода мебарад. Бар хилофи PVD, раванди CVD асосан дар муҳити фишори баландтар (вакууми пасттар) анҷом дода мешавад ва фишори баландтар асосан барои баланд бардоштани суръати ҷойгиршавии плёнка истифода мешавад. Чопкунии буғи кимиёвӣ вобаста ба он, ки оё плазма дар раванди ҷойгиршавӣ иштирок мекунад, метавонад ба CVD умумӣ (инчунин бо номи CVD гармӣ маълум аст) ва ҷойгиркунии буғи кимиёвии бо плазма такмилёфта (Чопкунии буғи кимиёвии бо плазма такмилёфта. PECVD) тақсим карда шавад. Ин бахш ба технологияи PECVD, аз ҷумла раванди PECVD ва таҷҳизоти маъмулан истифодашаванда ва принсипи кори PECVD тамаркуз мекунад.
Чопкунии буғи кимиёвӣ бо плазма як усули ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ дар плёнкаи тунук аст, ки плазмаи партови дурахшонро барои таъсир расонидан ба раванди ҷойгиркунӣ ҳангоми раванди ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ бо фишори паст истифода мебарад. Аз ин ҷиҳат, технологияи анъанавии CVD барои амалӣ кардани реаксияи кимиёвӣ байни моддаҳои фазаи газӣ ва ҷойгиркунии плёнкаҳои тунук ба ҳарорати баландтари субстрат такя мекунад ва аз ин рӯ, онро технологияи CVD-и гармӣ номидан мумкин аст.
Дар дастгоҳи PECVD, фишори гази корӣ тақрибан 5~500 Па аст ва зичии электронҳо ва ионҳо метавонад ба 109~1012/см3 расад, дар ҳоле ки энергияи миёнаи электронҳо метавонад ба 1~10 эВ расад. Он чизе, ки усули PECVD-ро аз дигар усулҳои CVD фарқ мекунад, дар он аст, ки плазма шумораи зиёди электронҳои дорои энергияи баланд дорад, ки метавонанд энергияи фаъолсозиро, ки барои раванди ҷойгиркунии буғи кимиёвӣ зарур аст, таъмин кунанд. Бархӯрди электронҳо ва молекулаҳои фазаи газӣ метавонад равандҳои таҷзия, химосинтез, ангезиш ва ионизатсияи молекулаҳои газро мусоидат кунад ва гурӯҳҳои кимиёвии хеле реактивӣ ба вуҷуд орад ва бо ин васила диапазони ҳарорати ҷойгиркунии плёнкаи тунуки CVD-ро ба таври назаррас коҳиш диҳад ва имкон диҳад, ки раванди CVD, ки дар аввал бояд дар ҳарорати баланд, дар ҳарорати паст анҷом дода шавад, амалӣ карда шавад. Бартарии ҷойгиркунии плёнкаи тунуки ҳарорати паст дар он аст, ки он метавонад аз паҳншавии нолозим ва аксуламали кимиёвӣ байни плёнка ва субстрат, тағйироти сохторӣ ва вайроншавии плёнка ё маводи субстрат ва стрессҳои калони гармӣ дар плёнка ва субстрат пешгирӣ кунад.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 18 апрели соли 2024