Isi nke 1 nke Mbelata Uzuoku Kemịkalụ Plasma Emelitere

Ngwuputa Mmiri Kemịkalụ (CVD). Dịka aha ya si kwuo, ọ bụ usoro nke na-eji ihe ndị na-eme ka gas rụọ ọrụ iji mepụta ihe nkiri siri ike site na mmeghachi omume kemịkalụ atọm na intermolecular. N'adịghị ka PVD, a na-emekarị usoro CVD n'ebe nrụgide dị elu (ala ala) dị elu, ebe a na-eji nrụgide dị elu eme ihe karịsịa iji mee ka ọnụego nguzobe nke ihe nkiri ahụ dịkwuo elu. Enwere ike kewaa nguzobe mmiri kemịkalụ n'ime CVD izugbe (a makwaara dị ka CVD okpomọkụ) na nguzobe mmiri kemịkalụ eme ka plasma dịkwuo mma (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition. PECVD) dabere ma plasma ọ na-etinye aka na usoro nguzobe. Nkebi a na-elekwasị anya na teknụzụ PECVD gụnyere usoro PECVD na akụrụngwa PECVD a na-ejikarị eme ihe na ụkpụrụ ọrụ.

Ndobe anwụrụ kemịkalụ nke a na-eme ka ọ dịkwuo mma na plasma bụ usoro itinye anwụrụ kemịkalụ nke na-eji plasma mwepụ ọkụ eme ihe iji metụta usoro itinye anwụrụ kemịkalụ mgbe usoro itinye anwụrụ kemịkalụ nke nwere obere nrụgide na-eme. N'echiche a, teknụzụ CVD ọdịnala dabere na okpomọkụ dị elu iji mezuo mmeghachi omume kemịkalụ dị n'etiti ihe ndị na-eme ka gas dị na itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị, nke a pụkwara ịkpọ ya teknụzụ CVD okpomọkụ.

N'ime ngwaọrụ PECVD, nrụgide gas na-arụ ọrụ dị ihe dị ka 5~500 Pa, njupụta nke elektrọn na ion nwere ike iru 109~1012/cm3, ebe ike nkezi nke elektrọn nwere ike iru 1~10 eV. Ihe dị iche na usoro PECVD na ụzọ CVD ndị ọzọ bụ na plasma nwere ọtụtụ elektrọn nwere ike dị elu, nke nwere ike inye ike mkpali dị mkpa maka usoro itinye anwụrụ kemịkalụ. Mkpọkọ nke elektrọn na molekul gas nwere ike ịkwalite mmebi, chemosynthesis, mkpali na usoro ionization nke molekul gas, na-emepụta otu kemịkalụ na-emeghachi omume nke ukwuu, si otú a na-ebelata oke okpomọkụ nke itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị CVD nke ukwuu, na-eme ka o kwe omume imezu usoro CVD, nke a chọrọ na mbụ ka e mee ya na okpomọkụ dị elu, na obere okpomọkụ. Uru nke itinye ihe nkiri dị gịrịgịrị dị ala bụ na ọ nwere ike izere mgbasa na-enweghị isi na mmeghachi omume kemịkalụ n'etiti ihe nkiri na ihe mejupụtara, mgbanwe nhazi na mmebi nke ihe nkiri ma ọ bụ ihe mejupụtara, na nnukwu nrụgide okpomọkụ na ihe nkiri na ihe mejupụtara.

–E bipụtara akụkọ a site n'aka onyeigwe mkpuchi igwe emeputa ihe mkpuchiGuangdong Zhenhua