Ion şöhlesi arkaly çökdürmegiň iki esasy usuly bar, biri dinamiki gibrid; beýlekisi statik gibrid. Birinjisi, ösüş prosesinde plyonkanyň hemişe belli bir energiýa we şöhle akymy bilen ion bombardmany we plyonka bilen utgaşýandygyny aňladýar; ikinjisi bolsa substratyň ýüzüne birnäçe nanometrden az galyňlykdaky plyonka gatlagy öňünden çökdürilýär, soňra bolsa dinamiki ion bombardmany geçirilýär we plyonka gatlagynyň ösmegi üçin köp gezek gaýtalanyp bilner.
Ion şöhlesi arkaly inçe plýonkalary çökeltmek üçin saýlanan ion şöhlesiniň energiýalary 30 eV-den 100 keV-e çenli aralykda bolýar. Saýlanan energiýa diapazony plýonkanyň sintez edilýän ulanylyş görnüşine baglydyr. Mysal üçin, korroziýadan goranmak, mehaniki aşynma garşy, bezeg örtükleri we beýleki inçe plýonkalary taýýarlamak üçin ýokary bombardman energiýasy saýlanmalydyr. Tejribeler görkezýär, ion şöhlesi bilen bombardman etmegiň 20-den 40 keV-e çenli energiýasyny saýlamak ýaly, substrat materialy we plýonkanyň özi zyýanyň işine we ulanylyşyna täsir etmez. Optiki we elektron enjamlar üçin inçe plýonkalary taýýarlamakda pes energiýaly ion şöhlesi arkaly çökeltmek saýlanmalydyr, bu bolsa diňe bir ýagtylygyň adsorbsiýasyny azaltmak bilen çäklenmän, elektrik taýdan aktiwleşdirilen kemçilikleriň emele gelmeginiň öňüni alýar, eýsem membrananyň durnukly ýagdaý gurluşynyň emele gelmegine hem ýardam edýär. Barlaglar ajaýyp häsiýetlere eýe bolan plýonkalary 500 eV-den pes ion energiýalaryny saýlamak arkaly alyp boljakdygyny görkezdi.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 11-nji marty