అయాన్ బీమ్-సహాయక డిపాజిషన్లో రెండు ప్రధాన పద్ధతులు ఉన్నాయి, ఒకటి డైనమిక్ హైబ్రిడ్; మరొకటి స్టాటిక్ హైబ్రిడ్. మొదటి పద్ధతిలో, ఫిల్మ్ పెరుగుదల ప్రక్రియలో ఎల్లప్పుడూ ఒక నిర్దిష్ట శక్తి మరియు బీమ్ కరెంట్తో అయాన్ బాంబార్డ్మెంట్ జరుగుతుంది; రెండవ పద్ధతిలో, సబ్స్ట్రేట్ ఉపరితలంపై కొన్ని నానోమీటర్ల కంటే తక్కువ మందం ఉన్న ఫిల్మ్ పొరను ముందుగా డిపాజిట్ చేసి, ఆపై డైనమిక్ అయాన్ బాంబార్డ్మెంట్ ద్వారా ఫిల్మ్ పొరను పెంచుతారు, ఈ ప్రక్రియను చాలాసార్లు పునరావృతం చేయవచ్చు.
అయాన్ బీమ్ సహాయక పలుచని పొరల నిక్షేపణ కోసం ఎంచుకున్న అయాన్ బీమ్ శక్తులు 30 eV నుండి 100 keV పరిధిలో ఉంటాయి. ఎంచుకున్న శక్తి పరిధి, పొరను ఏ రకమైన అనువర్తనం కోసం సంశ్లేషణ చేస్తున్నారో దానిపై ఆధారపడి ఉంటుంది. ఉదాహరణకు, తుప్పు నివారణ, యాంత్రిక అరుగుదల నిరోధక, అలంకరణ పూతలు మరియు ఇతర పలుచని పొరల తయారీకి అధిక బాంబార్డ్మెంట్ శక్తిని ఎంచుకోవాలి. 20 నుండి 40keV అయాన్ బీమ్ బాంబార్డ్మెంట్ శక్తిని ఎంచుకోవడం వంటివి, సబ్స్ట్రేట్ పదార్థం మరియు పొర యొక్క పనితీరు మరియు వినియోగాన్ని దెబ్బతీయవని ప్రయోగాలు చూపిస్తున్నాయి. ఆప్టికల్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల కోసం పలుచని పొరల తయారీలో, తక్కువ శక్తి గల అయాన్ బీమ్ సహాయక నిక్షేపణను ఎంచుకోవాలి, ఇది కాంతి శోషణను తగ్గించి, విద్యుత్ క్రియాశీల లోపాల ఏర్పడటాన్ని నివారించడమే కాకుండా, పొర యొక్క స్థిరమైన నిర్మాణం ఏర్పడటాన్ని కూడా సులభతరం చేస్తుంది. 500 eV కంటే తక్కువ అయాన్ శక్తులను ఎంచుకోవడం ద్వారా అద్భుతమైన లక్షణాలు గల పొరలను పొందవచ్చని అధ్యయనాలు చూపించాయి.
–ఈ వ్యాసం విడుదల చేసిందివాక్యూమ్ కోటింగ్ మెషిన్ తయారీదారుగ్వాంగ్డాంగ్ జెన్హువా
పోస్ట్ చేసిన సమయం: మార్చి-11-2024