Àwọn ọ̀nà pàtàkì méjì ló wà fún ìdènà ion beam-assisted deposition, ọ̀kan ni dynamic hybrid; èkejì ni static hybrid. Èyí àkọ́kọ́ tọ́ka sí fíìmù náà nínú ìlànà ìdàgbàsókè, a sì máa ń fi agbára àti ìṣàn béèmù kan ti ion bombardment àti fíìmù kan hàn; èyí ìkẹyìn ni a ti fi sílẹ̀ tẹ́lẹ̀ lórí ojú ilẹ̀ substrate náà, tí ó ní ìwọ̀n tí kò tó ìwọ̀n nanometer díẹ̀ ti fíìmù náà, lẹ́yìn náà ni a ti fi dynamic ion bombardment sí, a sì lè tún un ṣe ní ọ̀pọ̀ ìgbà àti ìdàgbàsókè fíìmù náà.
Agbara ion beam ti a yan fun fifi ion beam ranlọwọ fun fifi ion beam ti awọn fiimu tinrin wa laarin 30 eV si 100 keV. Iwọn agbara ti a yan da lori iru ohun elo ti a n ṣe iṣelọpọ fiimu naa. Fun apẹẹrẹ, igbaradi aabo ipata, ibajẹ ti ko ni ipa lori ẹrọ, awọn ibora ọṣọ ati awọn fiimu tinrin miiran yẹ ki o yan agbara bombu ti o ga julọ. Awọn idanwo fihan pe, gẹgẹbi yiyan agbara 20 si 40keV ti bombu ion beam, ohun elo substrate ati fiimu funrararẹ kii yoo ni ipa lori iṣẹ ati lilo ibajẹ naa. Ni igbaradi awọn fiimu tinrin fun awọn ẹrọ opitika ati itanna, o yẹ ki a yan ifipamọ iranlọwọ ion beam ti o kere ju agbara, eyiti kii ṣe dinku gbigba ina nikan ati yago fun dida awọn abawọn ti a mu ṣiṣẹ nipasẹ ina, ṣugbọn tun ṣe iranlọwọ fun idasile ipo ipo ti awo naa. Awọn ẹkọ ti fihan pe awọn fiimu ti o ni awọn ohun-ini to dara julọ le ṣee gba nipa yiyan agbara ion ti o kere ju 500 eV.
–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹta-11-2024