Ду усули асосии ҷойгиркунии бо ёрии шуоъи ионӣ мавҷуд аст, яке гибридии динамикӣ; дигаре гибридии статикӣ. Аввалин ба он ишора мекунад, ки плёнка дар раванди афзоиш ҳамеша бо энергияи муайян ва ҷараёни шуоъи бомбаборони ионӣ ва плёнка ҳамроҳ мешавад; дуюмӣ пешакӣ дар сатҳи субстрат қабати камтар аз чанд нанометр ғафсии қабати плёнка гузошта мешавад ва сипас бомбаборони динамикии ионӣ анҷом дода мешавад ва онро метавон чандин маротиба такрор кард ва афзоиши қабати плёнкаро идома дод.
Энергияҳои шуои ионӣ, ки барои таҳшинкунии бо ёрии шуои ионӣ дар плёнкаҳои тунук интихоб шудаанд, аз 30 эВ то 100 кэВ мебошанд. Диапазони энергияи интихобшуда аз намуди татбиқе, ки плёнка барои он синтез карда мешавад, вобаста аст. Масалан, барои тайёр кардани муҳофизат аз зангзанӣ, фарсудашавии зидди механикӣ, рӯйпӯшҳои ороишӣ ва дигар плёнкаҳои тунук бояд энергияи бомбабордии баландтар интихоб карда шавад. Таҷрибаҳо нишон медиҳанд, ки, ба монанди интихоби энергияи 20 то 40 кэВ-и бомбабордии шуои ионӣ, маводи субстрат ва худи плёнка ба кор ва истифодаи зарар таъсир намерасонанд. Ҳангоми тайёр кардани плёнкаҳои тунук барои дастгоҳҳои оптикӣ ва электронӣ, бояд таҳшинкунии бо ёрии шуои ионӣ бо энергияи пасттар интихоб карда шавад, ки на танҳо адсорбсияи рӯшноиро кам мекунад ва аз пайдоиши нуқсонҳои фаъолшудаи барқӣ пешгирӣ мекунад, балки инчунин ба ташаккули сохтори ҳолати устувори мембрана мусоидат мекунад. Таҳқиқотҳо нишон доданд, ки плёнкаҳои дорои хосиятҳои аълоро бо интихоби энергияҳои ионӣ, ки аз 500 эВ камтаранд, ба даст овардан мумкин аст.
- Ин мақола аз ҷониби нашр шудаастистеҳсолкунандаи мошини пӯшонидани вакуумӣГуандун Чжэнхуа
Вақти нашр: 11 марти соли 2024