ئىئون نۇرى ياردەملىك چۆكمە قىلىشنىڭ ئىككى خىل ئاساسلىق ئۇسۇلى بار، بىرى دىنامىك ئارىلاشما؛ يەنە بىرى ستاتىك ئارىلاشما. بىرىنچىسى، پىلاستىنكا ئۆسۈش جەريانىدا ھەمىشە بەلگىلىك ئېنېرگىيە ۋە نۇر ئېقىمى بىلەن بىللە ئىئون بومباردىمان قىلىش ۋە پىلاستىنكا بىلەن بىللە بولىدىغانلىقىنى كۆرسىتىدۇ؛ كېيىنكىسى، ئاساسىي قاتلامنىڭ يۈزىگە بىر قانچە نانومېتىردىن تۆۋەن قېلىنلىقتىكى پىلاستىنكا قەۋىتى ئالدىن چۆكتۈرۈلىدۇ، ئاندىن دىنامىك ئىئون بومباردىمان قىلىنىدۇ، ھەمدە پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ ئۆسۈشىنى كۆپ قېتىم تەكرارلىغىلى بولىدۇ.
ئىئون نۇرى ياردىمىدە نېپىز پەردىلەرنى چۆكتۈرۈش ئۈچۈن تاللانغان ئىئون نۇرى ئېنېرگىيەسى 30 eV دىن 100 keV غىچە بولىدۇ. تاللانغان ئېنېرگىيە دائىرىسى پەردىنىڭ سىنتېزلىنىۋاتقان قوللىنىشچان تۈرىگە باغلىق. مەسىلەن، چىرىشتىن ساقلىنىش، مېخانىكىلىق ئۇپراشقا قارشى تۇرۇش، بېزەكلىك قاپلاش ۋە باشقا نېپىز پەردىلەرنى تەييارلاش ئۈچۈن يۇقىرى بومباردىمان ئېنېرگىيەسىنى تاللاش كېرەك. تەجرىبىلەر شۇنى كۆرسىتىپ بېرىدۇكى، ئىئون نۇرى بومباردىمان قىلىشنىڭ 20 دىن 40 keV غىچە ئېنېرگىيەسىنى تاللاش قاتارلىق، ئاساسىي ماتېرىيال ۋە پەردىنىڭ ئۆزى بۇزۇلۇشنىڭ ئىقتىدارى ۋە ئىشلىتىلىشىگە تەسىر كۆرسەتمەيدۇ. ئوپتىكىلىق ۋە ئېلېكترونلۇق ئۈسكۈنىلەر ئۈچۈن نېپىز پەردىلەرنى تەييارلاشتا، تۆۋەن ئېنېرگىيەلىك ئىئون نۇرى ياردىمىدە چۆكتۈرۈشنى تاللاش كېرەك، بۇ پەقەت نۇرنىڭ سۈمۈرۈلۈشىنى ئازايتىپلا قالماي، ئېلېكتر ئارقىلىق ئاكتىپلاشتۇرۇلغان نۇقسانلارنىڭ شەكىللىنىشىنىڭ ئالدىنى ئالىدۇ، شۇنداقلا پەردىنىڭ مۇقىم ھالەت قۇرۇلمىسىنىڭ شەكىللىنىشىنى ئاسانلاشتۇرىدۇ. تەتقىقاتلار شۇنى كۆرسىتىپ بېرىدۇكى، 500 eV دىن تۆۋەن ئىئون ئېنېرگىيەسىنى تاللاش ئارقىلىق ئېسىل خۇسۇسىيەتكە ئىگە پەردىلەرگە ئېرىشكىلى بولىدۇ.
– بۇ ماقالە نەشر قىلغۇچى تەرىپىدىن تارقىتىلدىۋاكۇئۇم قاپلاش ماشىنىسى ئىشلەپچىقارغۇچىگۇاڭدۇڭ جېنخۇا
ئېلان قىلىنغان ۋاقىت: 2024-يىلى 3-ئاينىڭ 11-كۈنى