E lua auala autū o le fa'aputuina o le ion beam, o le tasi o le dynamic hybrid; o le isi o le static hybrid. O le muamua e fa'atatau i le ata tifaga i le faagasologa o le tuputupu a'e e masani ona o fa'atasi ma se malosi patino ma le tafe o le ave o le ion bomb ma le ata tifaga; o le mulimuli e mua'i teuina i luga o le fogāeleele o le substrate se vaega e itiiti ifo i le mafiafia o ni nai nanometers o le vaega o le ata tifaga, ona sosoo ai lea ma le dynamic ion bomb, ma e mafai ona toe faia i le tele o taimi ma le tuputupu a'e o le vaega o le ata tifaga.
O le malosi o le ave ion ua filifilia mo le fa'apipi'iina o ata manifinifi e ala i le fesoasoani a le ave ion e i le va o le 30 eV i le 100 keV. O le tele o le malosi ua filifilia e fa'alagolago i le ituaiga o fa'aoga o lo'o fa'apipi'iina ai le ata. Mo se fa'ata'ita'iga, o le sauniuniga o le puipuiga mai le 'ele, tete'e i le ofuina o masini, ufiufi teuteu ma isi ata manifinifi e tatau ona filifilia le malosi maualuga o le osofa'iga. Ua fa'aalia i fa'ata'ita'iga, e pei o le filifiliga o le malosi o le 20 i le 40keV o le osofa'iga o le ave ion, o le mea o lo'o i lalo ma le ata lava ia o le a le a'afia ai le fa'atinoga ma le fa'aaogaina o le fa'aleagaina. I le sauniuniga o ata manifinifi mo masini va'ai ma masini eletise, e tatau ona filifilia le fa'apipi'iina o le ave ion e maualalo le malosi, lea e le gata ina fa'aitiitia ai le mitiia o le malamalama ma 'alofia ai le fausiaina o fa'aletonu fa'agaoioia e le eletise, ae fa'afaigofieina ai fo'i le fausiaina o le fausaga mautu o le membrane. Ua fa'aalia e su'esu'ega e mafai ona maua ata e iai meatotino lelei e ala i le filifilia o malosiaga ion e maualalo ifo i le 500 eV.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Mati-11-2024