Muaj ob hom kev tso tawm ntawm cov ion beam-assisted deposition, ib qho yog dynamic hybrid; qhov thib ob yog static hybrid. Tus thawj yog hais txog zaj duab xis thaum lub sijhawm loj hlob, nws ib txwm muaj lub zog thiab lub zog tam sim no ntawm ion bombardment thiab zaj duab xis; qhov kawg yog pre-deposited rau ntawm qhov chaw ntawm lub substrate ib txheej ntawm tsawg dua ob peb nanometers tuab ntawm cov zaj duab xis txheej, thiab tom qab ntawd dynamic ion bombardment, thiab tuaj yeem rov ua dua ntau zaus thiab kev loj hlob ntawm cov zaj duab xis txheej.
Lub zog ntawm cov ion beam uas xaiv rau kev siv ion beam pab tso cov zaj duab xis nyias yog nyob rau hauv qhov ntau ntawm 30 eV txog 100 keV. Lub zog ntau yam xaiv nyob ntawm hom kev siv uas zaj duab xis raug tsim. Piv txwv li, kev npaj kev tiv thaiv xeb, kev hnav tsis zoo, kev pleev xim zoo nkauj thiab lwm yam zaj duab xis nyias yuav tsum tau xaiv lub zog siab dua. Cov kev sim qhia tau tias, xws li kev xaiv ntawm 20 txog 40 keV lub zog ntawm kev siv ion beam, cov khoom siv substrate thiab zaj duab xis nws tus kheej yuav tsis cuam tshuam rau kev ua haujlwm thiab kev siv ntawm kev puas tsuaj. Hauv kev npaj cov zaj duab xis nyias rau cov khoom siv kho qhov muag thiab hluav taws xob, yuav tsum tau xaiv lub zog qis dua ion beam pab tso, uas tsis tsuas yog txo qhov kev nqus lub teeb thiab zam kev tsim cov teeb meem hluav taws xob, tab sis kuj pab txhawb kev tsim cov qauv ruaj khov ntawm daim nyias nyias. Cov kev tshawb fawb tau qhia tias cov zaj duab xis nrog cov khoom zoo heev tuaj yeem tau txais los ntawm kev xaiv lub zog ion qis dua 500 eV.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Peb Hlis-11-2024