Ион нуры ярдәмендә урнаштыруның ике төп ысулы бар: берсе - динамик гибрид; икенчесе - статик гибрид. Беренчесе пленка үсеш процессында һәрвакыт билгеле бер энергия һәм нур агымы белән озатыла торган ион бомбардированиесе һәм пленка белән бәйле; икенчесе алдан субстрат өслегенә берничә нанометрдан кимрәк калынлыктагы пленка катламы салына, аннары динамик ион бомбардированиесе үткәрелә, һәм пленка катламы үсешендә күп тапкыр кабатланырга мөмкин.
Ион нуры ярдәмендә юка пленкаларны урнаштыру өчен сайланган ион нуры энергияләре 30 эВ тан 100 кэВ га кадәр диапазонда. Сайланган энергия диапазоны пленка синтезлана торган куллану төренә бәйле. Мәсәлән, коррозиядән саклау, механик тузуга каршы, декоратив каплаулар һәм башка юка пленкалар әзерләү өчен югарырак бомбага тоту энергиясе сайланырга тиеш. Экспериментлар күрсәткәнчә, ион нуры белән бомбага тотуның 20 дән 40 кэВ га кадәр энергиясен сайлау кебек, субстрат материалы һәм пленка үзе зыянның эш нәтиҗәлелегенә һәм кулланылышына тәэсир итмәячәк. Оптик һәм электрон җайланмалар өчен юка пленкалар әзерләгәндә, түбән энергияле ион нуры ярдәмендә басма сайлау кирәк, бу яктылык адсорбциясен киметә һәм электр белән активлаштырылган кимчелекләр барлыкка килүдән саклый, ә мембрананың тотрыклы структурасын формалаштыруны да җиңеләйтә. Тикшеренүләр күрсәткәнчә, 500 эВ тан түбәнрәк ион энергияләрен сайлау юлы белән бик яхшы үзлекләргә ия пленкалар алырга мөмкин.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2024 елның 11 марты