Waxaa jira laba qaab oo ugu muhiimsan oo ah kaydinta ion-ka oo ay caawiso shucaaca, mid waa isku-dhafka firfircoon; kan kalena waa isku-dhafka taagan. Kan hore wuxuu tilmaamayaa filimka ku jira habka koritaanka waxaa had iyo jeer la socda tamar iyo qulqul gaar ah oo ah bamgareynta ion iyo filimka; kan dambe waxaa hore loogu shubay dusha sare ee substrate-ka lakab ka yar dhowr nanometer oo dhumucdiisu tahay lakabka filimka, ka dibna bamgareynta ion-ka firfircoon, waxaana lagu celin karaa dhowr jeer iyo koritaanka lakabka filimka.
Tamarta ion-ka ee loo doortay dhigista ion-ka ee ka caawisa dhigista filimada khafiifka ah waxay u dhaxaysaa 30 eV ilaa 100 keV. Kala duwanaanshaha tamarta ee la doortay waxay ku xiran tahay nooca codsiga filimka loo sameynayo. Tusaale ahaan, diyaarinta ilaalinta daxalka, xirashada ka hortagga farsamada, dahaarka qurxinta iyo filimada kale ee khafiifka ah waa in la doortaa tamar duqeyn sare leh. Tijaabooyinku waxay muujinayaan in, sida doorashada tamarta 20 ilaa 40keV ee duqeynta ion-ka, walxaha substrate-ka iyo filimka laftiisu aysan saameyn ku yeelan doonin waxqabadka iyo isticmaalka dhaawaca. Diyaarinta filimada khafiifka ah ee aaladaha indhaha iyo kuwa elektaroonigga ah, waa in la doortaa dhigista ion-ka ee ka caawisa dhigista ion-ka ee tamarta hooseeya, taas oo aan kaliya yareynin nuugista iftiinka oo ka fogaatay sameynta cilladaha korontada ku shaqeeya, laakiin sidoo kale waxay sahlaysaa sameynta qaab-dhismeedka xaaladda deggan ee xuubka. Daraasaduhu waxay muujiyeen in filimada leh sifooyin aad u fiican lagu heli karo iyadoo la dooranayo tamarta ion-ka ee ka yar 500 eV.
– Maqaalkan waxaa soo saaray ’’Qoraalkan waxaa soo saaray ’’soo saaraha mashiinka dahaadhka faakuumkaGuangdong Zhenhua
Waqtiga boostada: Maarso-11-2024