আয়ন বিম-সহায়তায় স্তর জমার দুটি প্রধান পদ্ধতি রয়েছে, একটি হলো ডাইনামিক হাইব্রিড এবং অন্যটি স্ট্যাটিক হাইব্রিড। প্রথমটিতে, স্তর বৃদ্ধির প্রক্রিয়ায় একটি নির্দিষ্ট শক্তি ও বিম কারেন্টের আয়ন দ্বারা ফিল্মটি ক্রমাগত আঘাতপ্রাপ্ত হয়; দ্বিতীয়টিতে, সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠে কয়েক ন্যানোমিটারেরও কম পুরুত্বের একটি ফিল্ম স্তর আগে থেকে জমা করা হয় এবং তারপর ডাইনামিক আয়ন দ্বারা আঘাত করা হয়, যা ফিল্ম স্তরটির বৃদ্ধির জন্য বহুবার পুনরাবৃত্তি করা যেতে পারে।
আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন পদ্ধতিতে পাতলা ফিল্ম তৈরির জন্য নির্বাচিত আয়ন বিমের শক্তি ৩০ eV থেকে ১০০ keV-এর মধ্যে থাকে। নির্বাচিত শক্তির পরিসর নির্ভর করে ফিল্মটি কোন ধরনের প্রয়োগের জন্য তৈরি করা হচ্ছে তার উপর। উদাহরণস্বরূপ, ক্ষয়রোধী সুরক্ষা, যান্ত্রিক ক্ষয়রোধী, আলংকারিক প্রলেপ এবং অন্যান্য পাতলা ফিল্ম তৈরির জন্য উচ্চতর বোম্বার্ডমেন্ট শক্তি নির্বাচন করা উচিত। পরীক্ষা থেকে দেখা গেছে যে, আয়ন বিম বোম্বার্ডমেন্টের জন্য ২০ থেকে ৪০ keV শক্তি নির্বাচনের ক্ষেত্রে, সাবস্ট্রেট উপাদান এবং ফিল্মটির নিজের কোনো ক্ষতি এর কার্যকারিতা এবং ব্যবহারকে প্রভাবিত করে না। অপটিক্যাল এবং ইলেকট্রনিক ডিভাইসের জন্য পাতলা ফিল্ম তৈরির ক্ষেত্রে, কম শক্তির আয়ন বিম অ্যাসিস্টেড ডিপোজিশন পদ্ধতি নির্বাচন করা উচিত, যা কেবল আলোর শোষণ কমায় এবং বৈদ্যুতিকভাবে সক্রিয় ত্রুটির গঠন এড়ায় না, বরং মেমব্রেনের স্থিতিশীল কাঠামোর গঠনকেও সহজতর করে। গবেষণায় দেখা গেছে যে, ৫০০ eV-এর কম আয়ন শক্তি নির্বাচন করে চমৎকার বৈশিষ্ট্যসম্পন্ন ফিল্ম পাওয়া যেতে পারে।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ১১ মার্চ, ২০২৪