Ion nurlari yordamida cho'ktirishning ikkita asosiy usuli mavjud: biri dinamik gibrid; ikkinchisi statik gibrid. Birinchisi, o'sish jarayonida plyonka har doim ma'lum bir energiya va nur oqimi bilan birga keladi va ion bombardimon va plyonka bilan birga keladi; ikkinchisi substrat yuzasiga bir necha nanometrdan kam qalinlikdagi plyonka qatlami oldindan cho'ktiriladi va keyin dinamik ion bombardimon qilinadi va plyonka qatlamining o'sishi ko'p marta takrorlanishi mumkin.
Yupqa plyonkalarni ion nurlari yordamida cho'ktirish uchun tanlangan ion nurlari energiyalari 30 eV dan 100 keV gacha. Tanlangan energiya diapazoni plyonka sintez qilinayotgan qo'llanilish turiga bog'liq. Masalan, korroziyadan himoya qilish, mexanik aşınmaya qarshi, dekorativ qoplamalar va boshqa yupqa plyonkalarni tayyorlash uchun yuqori bombardimon energiyasi tanlanishi kerak. Tajribalar shuni ko'rsatadiki, ion nurlari bilan bombardimon qilishning 20 dan 40 keV gacha energiyasini tanlash kabi, substrat materiali va plyonkaning o'zi shikastlanishning ishlashi va ishlatilishiga ta'sir qilmaydi. Optik va elektron qurilmalar uchun yupqa plyonkalarni tayyorlashda pastroq energiyali ion nurlari yordamida cho'ktirish tanlanishi kerak, bu nafaqat yorug'lik adsorbsiyasini kamaytiradi va elektr bilan faollashtirilgan nuqsonlarning paydo bo'lishining oldini oladi, balki membrananing barqaror holat tuzilishini shakllantirishni ham osonlashtiradi. Tadqiqotlar shuni ko'rsatdiki, ajoyib xususiyatlarga ega plyonkalarni 500 eV dan past ion energiyalarini tanlash orqali olish mumkin.
–Ushbu maqola nashr etilganvakuumli qoplama mashinasi ishlab chiqaruvchisiGuangdong Chjenxua
Nashr vaqti: 2024-yil 11-mart