Ion şöhlesiniň kömegi bilen çökdürmegiň iki esasy usuly bar, biri dinamiki gibrid; beýlekisi statiki gibrid. Öňküsi, ösüş prosesinde filme elmydama belli bir energiýa we ion bombalanmagynyň we şöhläniň tok akymy bilen bilelikde gelýär; ikinjisi, substratyň üstünde film gatlagynyň galyňlygy birnäçe nanometrden az bolan gatlak, soň bolsa dinamiki ion bombasy bolup, köp gezek gaýtalanyp bilner we film gatlagynyň ösmegi.
Ion şöhleleri üçin saýlanan ion şöhleleri inçe filmleriň çökdürilmegine kömek edýär, 30 eV-den 100 kW aralygynda. Saýlanan energiýa diapazony filmiň sintezlenýän amaly görnüşine baglydyr. Mysal üçin, poslama garşy gorag, mehaniki garşy eşikler, bezeg örtükleri we beýleki inçe filmler has ýokary bombalanmak energiýasyny saýlamaly. Synaglar, ion şöhleleriniň bombalanmagynyň 20-40 kW energiýasyny saýlamak ýaly substrat materialynyň we filmiň özi zyýanyň ýerine ýetirilmegine we ulanylmagyna täsir etmejekdigini görkezýär. Optiki we elektron enjamlary üçin inçe filmler taýýarlanylanda, diňe ýagtylygyň siňdirilmegini azaldýan we elektrik bilen işjeňleşdirilen kemçilikleriň döremeginiň öňüni alman, membrananyň durnukly döwlet gurluşynyň emele gelmegini ýeňilleşdirýän pes energiýa ion şöhleli kömegi saýlamaly. Geçirilen gözlegler, ajaýyp häsiýetleri bolan filmleriň 500 eV-den pes ion energiýasyny saýlap alyp boljakdygyny görkezdi.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Mart-11-2024