1. Buglanmagyň derejesi bugarýan örtügiň häsiýetlerine täsir eder
Goýlan filme bugarmagyň derejesi uly täsir edýär.Pes çöketlik derejesi bilen emele gelen örtük gurluşy gowşak we uly bölejikleriň çökdürilmegini aňsatlaşdyrýandygy sebäpli, örtük gurluşynyň ykjamlygyny üpjün etmek üçin has ýokary bugarmak derejesini saýlamak gaty ygtybarlydyr.Wakuum kamerasyndaky galyndy gazyň basyşy hemişelik bolanda, substratyň bombalanma derejesi hemişelik bahadyr.Şonuň üçin has ýokary depgini saýlandan soň goýlan filmdäki galyndy gaz azalýar we şeýlelik bilen galyndy gaz molekulalary bilen bugarýan film bölejikleriniň arasyndaky himiki reaksiýa azalýar.Şonuň üçin goýlan filmiň arassalygy gowulaşyp biler.Depozit derejesi gaty çalt bolsa, filmiň içki stresini ýokarlandyryp biljekdigini, filmdäki kemçilikleriň köpeljekdigini we hatda filmiň ýarylmagyna sebäp bolup biljekdigini bellemelidiris.Hususan-da, reaktiw bugarmak örtügi prosesinde, reaksiýa gazynyň bugarmak film materialynyň bölejikleri bilen doly reaksiýa gazanmagy üçin has pes depgini saýlap bilersiňiz.Elbetde, dürli materiallar dürli bugarma derejesini saýlaýarlar.Amaly mysal hökmünde - şöhlelendiriji filmiň çökdürilmegi, Filmiň galyňlygy 600 × 10-8 sm we bugarmagyň wagty 3s bolsa, şöhlelendiriş 93%.Şeýle-de bolsa, şol bir galyňlyk şertinde bugarmak derejesi haýal bolsa, filmiň depozitini tamamlamak üçin 10 minut gerek.Bu wagt filmiň galyňlygy birmeňzeş.Şeýle-de bolsa, şöhlelendiriş 68% -e çenli azaldy.
2. Subtratyň temperaturasy bugarmak örtügine täsir eder
Substratyň temperaturasy bugarmak örtügine uly täsir edýär.Substratyň üstünde ýokary substrat temperaturasynda ýerleşdirilen galyndy gaz molekulalaryny aýyrmak aňsat.Esasanam suw buglarynyň molekulalaryny ýok etmek has möhümdir.Mundan başga-da, has ýokary temperaturalarda diňe fiziki adsorbsiýadan himiki adsorbsiýa öwrülmegi aňsat däl, şeýlelik bilen bölejikleriň arasyndaky baglanyşyk güýji artýar.Mundan başga-da, bug molekulalarynyň gaýtadan gurulmagy bilen substratyň temperaturasynyň arasyndaky tapawudy azaldyp biler, şeýlelik bilen film esasly interfeýsdäki içki stresleri azaldyp ýa-da ýok edip biler.Mundan başga-da, substratyň temperaturasy filmiň kristal ýagdaýy bilen baglanyşykly bolany üçin, aşaky substrat temperaturasy ýa-da ýyladyş ýok şertlerinde amorf ýa-da mikrokristal örtükleri döretmek aňsat.Munuň tersine, temperatura ýokary bolanda kristal örtük döretmek aňsat.Substratyň temperaturasynyň ýokarlanmagy örtügiň mehaniki aýratynlyklaryny gowulaşdyrmak üçin hem amatlydyr.Elbetde, örtügiň bugarmagynyň öňüni almak üçin substratyň temperaturasy gaty ýokary bolmaly däldir.
3. Wakuum kamerasyndaky galyndy gaz basyşy filmiň häsiýetine täsir eder
Wakuum kamerasyndaky galyndy gazyň basyşy membrananyň işleýşine uly täsir edýär.Gaty ýokary basyşly galyndy gaz molekulalary diňe bugarýan bölejikler bilen çaknyşmak aňsat däl, bu substratdaky adamlaryň kinetik energiýasyny azaldyp, filmiň ýelmeşmegine täsir eder.Mundan başga-da, aşa köp galyndy gaz basyşy filmiň arassalygyna çynlakaý täsir eder we örtügiň işleýşini peselder.
4. Buglanmagyň örtügine bugarmagyň temperatura täsiri
Buglanmagyň temperaturasynyň membrananyň işleýşine täsiri bugarmak derejesiniň temperatura bilen üýtgemegi bilen görkezilýär.Buglanmagyň temperaturasy ýokary bolanda bugarmagyň ýylylygy peseler.Membrana materialy bugarmak temperaturasyndan ýokary bugarsa, temperaturanyň azajyk üýtgemegi hem membrana materialynyň bugarmak tizliginiň düýpgöter üýtgemegine sebäp bolup biler.Şonuň üçin, bugarma çeşmesi gyzdyrylanda uly temperatura gradiýentiniň öňüni almak üçin filmiň çökdürilende bugarmagyň temperaturasyna takyk gözegçilik etmek gaty möhümdir.Sublimasiýa etmek aňsat bolan film materialy üçin bugarmak we beýleki çäreler üçin gyzdyryjy hökmünde materialyň özüni saýlamak hem möhümdir.
5. Substrat we örtük kamerasynyň arassalanmagy örtügiň işleýşine täsir eder
Substratyň we örtük kamerasynyň arassalygynyň örtügiň işleýşine edýän täsirini ünsden düşürip bolmaz.Diňe goýlan filmiň arassalygyna çynlakaý täsir etmän, filmiň ýelmeşmegini hem azaldar.Şonuň üçin substraty arassalamak, wakuum örtük kamerasyny we oňa degişli komponentleri arassalamak (substrat çarçuwasy ýaly) we ýerüsti zaýalanmak wakuum örtük prosesinde aýrylmaz proseslerdir.
Iş wagty: 28-2023-nji fewral