1. Bugaryş tizligi bugaryş örtüginiň häsiýetlerine täsir eder
Bugaryş tizligi çökündi plýonka uly täsir edýär. Pes çökündi tizligi bilen emele gelen örtük gurluşy boş we uly bölejikleriň çökündisini döretmek aňsat bolany üçin, örtük gurluşynyň ykjamlygyny üpjün etmek üçin ýokary bugaryş tizligini saýlamak örän howpsuzdyr. Wakuum kamerasyndaky galyndy gazyň basyşy üýtgewsiz bolanda, substratyň bombardman tizligi üýtgewsiz gymmatlykdyr. Şonuň üçin, ýokary çökündi tizligini saýlandan soň çökündi plýonkasynda saklanýan galyndy gaz azalar, şeýlelik bilen galyndy gaz molekulalary bilen bugaryş plýonka bölejikleriniň arasyndaky himiki reaksiýa azalar. Şonuň üçin çökündi plýonkanyň arassalygyny ýokarlandyrmak mümkin. Çökündi tizligi gaty çalt bolsa, plýonkanyň içki stresini artdyryp biljekdigini, plýonkadaky kemçilikleri köpeltjekdigini we hatda plýonkanyň ýyrtylmagyna hem getirip biljekdigini bellemeli. Hususan-da, reaktiw bugaryş örtügi prosesinde, reaksiýa gazynyň bugaryş plýonka materialynyň bölejikleri bilen doly reaksiýa girmegi üçin pes çökündi tizligini saýlap bilersiňiz. Elbetde, dürli materiallar dürli bugaryş tizliklerini saýlaýarlar. Amaly mysal hökmünde – şöhle gaýtaryjy plýonkanyň çökdürilmegi, eger plýonkanyň galyňlygy 600×10-8sm we bugarma wagty 3s bolsa, şöhle gaýtaryjylyk 93% -e deňdir. Şeýle-de bolsa, şol bir galyňlyk şertinde bugarma tizligi haýallasa, plýonkanyň çökdürilmegini tamamlamak üçin 10 minut gerek bolýar. Bu wagtda plýonkanyň galyňlygy şol bir. Şeýle-de bolsa, şöhle gaýtaryjylyk 68% -e düşdi.
2. Substrat temperaturasy buharlanma örtügine täsir eder
Substratyň temperaturasy buharlanma örtügine uly täsir edýär. Substratyň ýokary temperaturasynda substratyň ýüzünde adsorbsiýa edilen galan gaz molekulalaryny aýyrmak aňsat. Esasanam suw bugynyň molekulalaryny aýyrmak has möhümdir. Mundan başga-da, ýokary temperaturada diňe fiziki adsorbsiýadan himiki adsorbsiýa öwrülmegini höweslendirmek aňsat däl, şeýdip bölejikleriň arasyndaky baglanyşyk güýjüni artdyrýar. Mundan başga-da, bug molekulalarynyň gaýtadan kristallaşma temperaturasy bilen substratyň temperaturasynyň arasyndaky tapawudy azaldyp, şeýdip plýonka esasyndaky serhetdäki içki dartgynlygy azaldyp ýa-da ýok edip biler. Mundan başga-da, substratyň temperaturasy plýonkanyň kristal ýagdaýy bilen baglanyşykly bolany üçin, substratyň pes temperaturasy ýa-da gyzdyrylmaýan ýagdaýynda amorf ýa-da mikrokristal örtükleri emele getirmek köplenç aňsat bolýar. Tersine, temperatura ýokary bolanda, kristal örtügi emele getirmek aňsat bolýar. Substratyň temperaturasyny ýokarlandyrmak örtügiň mehaniki häsiýetlerini gowulandyrmaga hem ýardam edýär. Elbetde, örtügiň buharlanmagynyň öňüni almak üçin substratyň temperaturasy gaty ýokary bolmaly däl.
3. Wakuum kamerasyndaky galan gaz basyşy plýonkanyň häsiýetlerine täsir eder
Wakuum kamerasyndaky galyndy gazyň basyşy membrananyň işine uly täsir edýär. Aşa ýokary basyşly galyndy gaz molekulalary diňe bugarýan bölejikler bilen çaknyşmak bilen çäklenmän, substratdaky adamlaryň kinetiki energiýasyny azaldýar we plýonkanyň ýelmeşmegine täsir edýär. Mundan başga-da, galyndy gazyň basyşy aşa ýokary bolsa plýonkanyň arassalygyna çynlakaý täsir eder we örtügiň işini peselder.
4. Bugaryşma temperaturasynyň bugaryşma örtügine täsiri
Bugaryş temperaturasynyň membrananyň işine täsiri bugaryş tizliginiň temperatura bilen üýtgemegi bilen görkezilýär. Bugaryş temperaturasy ýokary bolanda, bugaryş ýylylygy azalar. Eger membrana materialy bugaryş temperaturasyndan ýokary bugaryp çyksa, hatda temperaturanyň azajyk üýtgemegi hem membrana materialynyň bugaryş tizliginiň keskin üýtgemegine sebäp bolup biler. Şonuň üçin bugaryş çeşmesi gyzdyrylanda uly temperatura gradientiniň öňüni almak üçin plýonkanyň çökdürilmegi wagtynda bugaryş temperaturasyny takyk dolandyrmak örän möhümdir. Sublimasiýa etmek aňsat bolan plýonka materialy üçin bugaryş we beýleki çäreler üçin materialyň özüni gyzdyryjy hökmünde saýlamak hem örän möhümdir.
5. Substratyň we örtük kamerasynyň arassalaýyş ýagdaýy örtügiň işine täsir eder
Substratyň we örtük kamerasynyň arassalygynyň örtügiň işine täsirini gözardy edip bolmaz. Ol diňe bir goýlan plýonkanyň arassalygyna düýpli täsir etmek bilen çäklenmän, eýsem plýonkanyň ýelmeşmegini hem azaldýar. Şonuň üçin substraty arassalamak, wakuum örtük kamerasyny we onuň degişli böleklerini (meselem, substrat çarçuwasyny) arassalamak we ýüzi gazdan aýyrmak wakuum örtük prosesinde aýrylmaz proseslerdir.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 28-nji fewraly