1. Ang rate ng pagsingaw ay makakaapekto sa mga katangian ng evaporated coating
Ang rate ng pagsingaw ay may malaking impluwensya sa idineposito na pelikula.Dahil ang istraktura ng patong na nabuo sa pamamagitan ng mababang rate ng pagtitiwalag ay maluwag at madaling makagawa ng malalaking pagtitiwalag ng butil, ligtas na pumili ng mas mataas na rate ng pagsingaw upang matiyak ang pagiging compact ng istraktura ng patong.Kapag ang presyon ng natitirang gas sa vacuum chamber ay pare-pareho, ang bombardment rate ng substrate ay pare-pareho ang halaga.Samakatuwid, ang natitirang gas na nakapaloob sa idineposito na pelikula pagkatapos pumili ng isang mas mataas na rate ng pag-deposito ay mababawasan, kaya binabawasan ang kemikal na reaksyon sa pagitan ng mga natitirang molekula ng gas at ang mga evaporated na particle ng pelikula.Samakatuwid, ang kadalisayan ng idineposito na pelikula ay maaaring mapabuti.Dapat tandaan na kung ang deposition rate ay masyadong mabilis, ito ay maaaring tumaas ang panloob na stress ng pelikula, ito ay magdaragdag ng mga depekto sa pelikula, at kahit na humantong sa pagkalagot ng pelikula.Sa partikular, sa proseso ng reactive evaporation plating, upang ganap na tumugon ang reaksyon ng gas sa mga particle ng materyal ng evaporation film, maaari kang pumili ng mas mababang deposition rate.Siyempre, ang iba't ibang mga materyales ay pumili ng iba't ibang mga rate ng pagsingaw.Bilang isang praktikal na halimbawa– ang deposition ng reflective film, Kung ang kapal ng pelikula ay 600×10-8cm at ang evaporation time ay 3s, ang reflectivity ay 93%.Gayunpaman, kung ang rate ng pagsingaw ay bumagal sa ilalim ng parehong kondisyon ng kapal, aabutin ng 10 minuto upang makumpleto ang pag-deposition ng pelikula.Sa oras na ito, ang kapal ng pelikula ay pareho.Gayunpaman, ang reflectivity ay bumaba sa 68%.
2. Ang subtrate na temperatura ay makakaapekto sa evaporation coating
Ang temperatura ng substrate ay may malaking impluwensya sa evaporation coating.Ang natitirang mga molekula ng gas na na-adsorbed sa ibabaw ng substrate sa mataas na temperatura ng substrate ay madaling maalis.Lalo na ang pag-aalis ng mga molekula ng singaw ng tubig ay mas mahalaga.Bukod dito, sa mas mataas na temperatura, hindi lamang madaling isulong ang pagbabagong-anyo mula sa pisikal na adsorption hanggang sa kemikal na adsorption, kaya pinapataas ang puwersang nagbubuklod sa pagitan ng mga particle.Bukod dito, maaari din nitong bawasan ang pagkakaiba sa pagitan ng temperatura ng recrystallization ng mga molekula ng singaw at temperatura ng substrate, kaya binabawasan o inaalis ang panloob na stress sa interface na nakabatay sa pelikula.Bilang karagdagan, dahil ang temperatura ng substrate ay nauugnay sa mala-kristal na estado ng pelikula, kadalasan ay madaling bumuo ng mga amorphous o microcrystalline coatings sa ilalim ng kondisyon ng mababang temperatura ng substrate o walang pag-init.Sa kabaligtaran, kapag ang temperatura ay mataas, ito ay madaling bumuo ng mala-kristal na patong.Ang pagtaas ng temperatura ng substrate ay nakakatulong din sa pagpapabuti ng mga mekanikal na katangian ng patong.Siyempre, ang temperatura ng substrate ay hindi dapat masyadong mataas upang maiwasan ang pagsingaw ng patong.
3. Ang natitirang gas pressure sa vacuum chamber ay makakaapekto sa mga katangian ng pelikula
Ang presyon ng natitirang gas sa silid ng vacuum ay may malaking impluwensya sa pagganap ng lamad.Ang natitirang mga molekula ng gas na may masyadong mataas na presyon ay hindi lamang madaling mabangga sa mga evaporating particle, na magbabawas sa kinetic energy ng mga tao sa substrate at makakaapekto sa pagdirikit ng pelikula.Bilang karagdagan, ang masyadong mataas na natitirang presyon ng gas ay seryosong makakaapekto sa kadalisayan ng pelikula at mabawasan ang pagganap ng patong.
4. Evaporation temperature effect sa evaporation coating
Ang epekto ng temperatura ng pagsingaw sa pagganap ng lamad ay ipinapakita ng pagbabago ng rate ng pagsingaw sa temperatura.Kapag mataas ang temperatura ng evaporation, bababa ang init ng vaporization.Kung ang materyal ng lamad ay sumingaw sa itaas ng temperatura ng pagsingaw, kahit na ang isang bahagyang pagbabago sa temperatura ay maaaring maging sanhi ng isang matalim na pagbabago sa rate ng pagsingaw ng materyal ng lamad.Samakatuwid, napakahalaga na kontrolin ang temperatura ng pagsingaw nang tumpak sa panahon ng pagtitiwalag ng pelikula upang maiwasan ang malaking gradient ng temperatura kapag pinainit ang pinagmumulan ng evaporation.Para sa materyal ng pelikula na madaling i-sublimate, napakahalaga din na piliin ang materyal mismo bilang pampainit para sa pagsingaw at iba pang mga panukala.
5. Ang estado ng paglilinis ng substrate at silid ng patong ay makakaapekto sa pagganap ng patong
Ang epekto ng kalinisan ng substrate at ang silid ng patong sa pagganap ng patong ay hindi maaaring balewalain.Ito ay hindi lamang malubhang makakaapekto sa kadalisayan ng idineposito na pelikula, ngunit bawasan din ang pagdirikit ng pelikula.Samakatuwid, ang paglilinis ng substrate, ang paglilinis ng paggamot ng vacuum coating chamber at ang mga kaugnay na bahagi nito (tulad ng substrate frame) at ang surface degassing ay lahat ng kailangang-kailangan na proseso sa proseso ng vacuum coating.
Oras ng post: Peb-28-2023