1. Ang bilis ng pagsingaw ay makakaapekto sa mga katangian ng pinasingaw na patong
Malaki ang impluwensya ng evaporation rate sa idinepositong film. Dahil maluwag ang istruktura ng patong na nabuo sa mababang deposition rate at madaling makagawa ng malalaking particle deposition, ligtas na pumili ng mas mataas na evaporation rate upang matiyak ang compactness ng istruktura ng patong. Kapag pare-pareho ang presyon ng residual gas sa vacuum chamber, ang bombardment rate ng substrate ay pare-pareho. Samakatuwid, ang residual gas na nakapaloob sa idinepositong film pagkatapos pumili ng mas mataas na deposition rate ay mababawasan, kaya mababawasan ang kemikal na reaksyon sa pagitan ng mga residual gas molecule at ng mga evaporated film particle. Samakatuwid, maaaring mapabuti ang kadalisayan ng idinepositong film. Dapat tandaan na kung masyadong mabilis ang deposition rate, maaari nitong pataasin ang internal stress ng film, dagdagan ang mga depekto sa film, at humantong pa sa pagkabasag ng film. Sa partikular, sa proseso ng reactive evaporation plating, upang lubos na makapag-react ang reaction gas sa mga particle ng evaporation film material, maaari kang pumili ng mas mababang deposition rate. Siyempre, iba-iba ang evaporation rate ng iba't ibang materyales. Bilang praktikal na halimbawa– ang paglalagay ng reflective film. Kung ang kapal ng film ay 600×10-8cm at ang oras ng pagsingaw ay 3s, ang reflectivity ay 93%. Gayunpaman, kung ang rate ng pagsingaw ay bumagal sa ilalim ng parehong kondisyon ng kapal, aabutin ng 10 minuto upang makumpleto ang paglalagay ng film. Sa oras na ito, ang kapal ng film ay pareho. Gayunpaman, ang reflectivity ay bumaba sa 68%.
2. Ang temperatura ng subtrate ay makakaapekto sa evaporation coating
Malaki ang impluwensya ng temperatura ng substrate sa evaporation coating. Madaling maalis ang mga natitirang molekula ng gas na na-adsorb sa ibabaw ng substrate sa mataas na temperatura ng substrate. Lalo na ang pag-aalis ng mga molekula ng singaw ng tubig. Bukod dito, sa mas mataas na temperatura, hindi lamang madaling isulong ang pagbabago mula sa pisikal na adsorption patungo sa kemikal na adsorption, kaya pinapataas ang puwersa ng pagbubuklod sa pagitan ng mga particle. Bukod dito, maaari rin nitong bawasan ang pagkakaiba sa pagitan ng temperatura ng recrystallization ng mga molekula ng singaw at ng temperatura ng substrate, kaya binabawasan o inaalis ang panloob na stress sa interface na nakabatay sa film. Bukod pa rito, dahil ang temperatura ng substrate ay nauugnay sa mala-kristal na estado ng film, kadalasang madaling bumuo ng mga amorphous o microcrystalline coating sa ilalim ng kondisyon ng mababang temperatura ng substrate o walang pag-init. Sa kabaligtaran, kapag mataas ang temperatura, madaling bumuo ng mala-kristal na coating. Ang pagtaas ng temperatura ng substrate ay nakakatulong din sa pagpapabuti ng mga mekanikal na katangian ng coating. Siyempre, ang temperatura ng substrate ay hindi dapat masyadong mataas upang maiwasan ang pagsingaw ng coating.
3. Ang natitirang presyon ng gas sa vacuum chamber ay makakaapekto sa mga katangian ng pelikula
Ang presyon ng natitirang gas sa vacuum chamber ay may malaking impluwensya sa pagganap ng membrane. Ang mga natitirang molekula ng gas na may masyadong mataas na presyon ay hindi lamang madaling bumangga sa mga evaporating particle, na magbabawas sa kinetic energy ng mga tao sa substrate at makakaapekto sa pagdikit ng film. Bukod pa rito, ang masyadong mataas na presyon ng natitirang gas ay seryosong makakaapekto sa kadalisayan ng film at makakabawas sa pagganap ng coating.
4. Epekto ng temperatura ng pagsingaw sa patong ng pagsingaw
Ang epekto ng temperatura ng pagsingaw sa pagganap ng lamad ay ipinapakita ng pagbabago ng bilis ng pagsingaw kasabay ng temperatura. Kapag mataas ang temperatura ng pagsingaw, bababa ang init ng pagsingaw. Kung ang materyal ng lamad ay nasingaw nang higit sa temperatura ng pagsingaw, kahit ang bahagyang pagbabago sa temperatura ay maaaring magdulot ng matinding pagbabago sa bilis ng pagsingaw ng materyal ng lamad. Samakatuwid, napakahalagang kontrolin nang wasto ang temperatura ng pagsingaw habang inilalagay ang pelikula upang maiwasan ang malaking gradient ng temperatura kapag pinainit ang pinagmumulan ng pagsingaw. Para sa materyal ng pelikula na madaling i-sublimate, napakahalaga ring piliin ang materyal mismo bilang pampainit para sa pagsingaw at iba pang mga hakbang.
5. Ang estado ng paglilinis ng substrate at coating chamber ay makakaapekto sa pagganap ng coating
Hindi maaaring balewalain ang epekto ng kalinisan ng substrate at ng coating chamber sa pagganap ng coating. Hindi lamang ito makakaapekto nang malaki sa kadalisayan ng idinepositong film, kundi mababawasan din nito ang pagdikit ng film. Samakatuwid, ang paglilinis ng substrate, ang paggamot ng vacuum coating chamber at mga kaugnay na bahagi nito (tulad ng substrate frame) at ang surface degassing ay pawang mga kailangang-kailangan na proseso sa proseso ng vacuum coating.
Oras ng pag-post: Pebrero 28, 2023