1. Tốc độ bay hơi sẽ ảnh hưởng đến các đặc tính của lớp phủ bay hơi.
Tốc độ bay hơi có ảnh hưởng rất lớn đến lớp màng được lắng đọng. Vì cấu trúc lớp phủ được hình thành ở tốc độ lắng đọng thấp sẽ lỏng lẻo và dễ tạo ra sự lắng đọng các hạt lớn, nên việc lựa chọn tốc độ bay hơi cao hơn sẽ rất an toàn để đảm bảo độ đặc chắc của cấu trúc lớp phủ. Khi áp suất khí dư trong buồng chân không không đổi, tốc độ bắn phá chất nền cũng là một giá trị không đổi. Do đó, lượng khí dư có trong lớp màng được lắng đọng sau khi chọn tốc độ lắng đọng cao hơn sẽ giảm đi, từ đó giảm phản ứng hóa học giữa các phân tử khí dư và các hạt màng bay hơi. Vì vậy, độ tinh khiết của lớp màng được lắng đọng có thể được cải thiện. Cần lưu ý rằng nếu tốc độ lắng đọng quá nhanh, nó có thể làm tăng ứng suất bên trong của màng, làm tăng các khuyết tật trong màng, thậm chí dẫn đến sự đứt gãy của màng. Đặc biệt, trong quá trình mạ bay hơi phản ứng, để khí phản ứng hoàn toàn với các hạt vật liệu màng bay hơi, bạn có thể chọn tốc độ lắng đọng thấp hơn. Tất nhiên, các vật liệu khác nhau sẽ chọn tốc độ bay hơi khác nhau. Ví dụ thực tế – quá trình lắng đọng màng phản quang: Nếu độ dày màng là 600×10⁻⁸cm và thời gian bay hơi là 3 giây, độ phản xạ đạt 93%. Tuy nhiên, nếu tốc độ bay hơi được làm chậm lại trong cùng điều kiện độ dày, quá trình lắng đọng màng sẽ mất 10 phút. Lúc này, độ dày màng vẫn như cũ, nhưng độ phản xạ giảm xuống còn 68%.
2. Nhiệt độ chất nền sẽ ảnh hưởng đến lớp phủ bay hơi.
Nhiệt độ chất nền có ảnh hưởng lớn đến lớp phủ bay hơi. Các phân tử khí dư bám trên bề mặt chất nền ở nhiệt độ cao dễ bị loại bỏ. Đặc biệt, việc loại bỏ các phân tử hơi nước càng quan trọng hơn. Hơn nữa, ở nhiệt độ cao hơn, không chỉ dễ dàng thúc đẩy sự chuyển đổi từ hấp phụ vật lý sang hấp phụ hóa học, do đó làm tăng lực liên kết giữa các hạt. Ngoài ra, nó còn có thể làm giảm sự chênh lệch giữa nhiệt độ kết tinh lại của các phân tử hơi và nhiệt độ chất nền, do đó làm giảm hoặc loại bỏ ứng suất bên trong trên giao diện màng. Thêm vào đó, vì nhiệt độ chất nền liên quan đến trạng thái tinh thể của màng, nên thường dễ hình thành lớp phủ vô định hình hoặc vi tinh thể trong điều kiện nhiệt độ chất nền thấp hoặc không gia nhiệt. Ngược lại, khi nhiệt độ cao, dễ hình thành lớp phủ tinh thể. Tăng nhiệt độ chất nền cũng có lợi cho việc cải thiện các tính chất cơ học của lớp phủ. Tất nhiên, nhiệt độ chất nền không nên quá cao để tránh làm bay hơi lớp phủ.
3. Áp suất khí dư trong buồng chân không sẽ ảnh hưởng đến các đặc tính của màng phim.
Áp suất khí dư trong buồng chân không có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của màng. Các phân tử khí dư với áp suất quá cao không chỉ dễ va chạm với các hạt bay hơi, làm giảm động năng của các hạt trên chất nền và ảnh hưởng đến độ bám dính của màng. Ngoài ra, áp suất khí dư quá cao sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của màng và làm giảm hiệu suất của lớp phủ.
4. Ảnh hưởng của nhiệt độ bay hơi đến lớp phủ bay hơi
Ảnh hưởng của nhiệt độ bay hơi đến hiệu suất màng được thể hiện qua sự thay đổi tốc độ bay hơi theo nhiệt độ. Khi nhiệt độ bay hơi cao, nhiệt lượng hóa hơi sẽ giảm. Nếu vật liệu màng được bay hơi ở nhiệt độ cao hơn nhiệt độ bay hơi, ngay cả một sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng có thể gây ra sự thay đổi đột ngột về tốc độ bay hơi của vật liệu màng. Do đó, việc kiểm soát chính xác nhiệt độ bay hơi trong quá trình lắng đọng màng là rất quan trọng để tránh sự chênh lệch nhiệt độ lớn khi nguồn bay hơi được gia nhiệt. Đối với vật liệu màng dễ thăng hoa, việc lựa chọn chính vật liệu đó làm nguồn gia nhiệt cho quá trình bay hơi và các biện pháp khác cũng rất quan trọng.
5. Tình trạng làm sạch chất nền và buồng phủ sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất lớp phủ.
Ảnh hưởng của độ sạch của chất nền và buồng phủ lên hiệu suất lớp phủ là không thể bỏ qua. Nó không chỉ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của màng phủ mà còn làm giảm độ bám dính của màng. Do đó, việc làm sạch chất nền, xử lý làm sạch buồng phủ chân không và các bộ phận liên quan (như khung chất nền) và khử khí bề mặt đều là những quy trình không thể thiếu trong quá trình phủ chân không.
Thời gian đăng bài: 28/02/2023