1. Tốc độ bay hơi sẽ ảnh hưởng đến tính chất của lớp phủ bốc hơi
Tốc độ bay hơi có ảnh hưởng lớn đến màng lắng đọng.Bởi vì cấu trúc lớp phủ được hình thành bởi tốc độ lắng đọng thấp sẽ lỏng lẻo và dễ tạo ra sự lắng đọng hạt lớn, nên rất an toàn khi chọn tốc độ bay hơi cao hơn để đảm bảo độ chặt của cấu trúc lớp phủ.Khi áp suất của khí dư trong buồng chân không không đổi, tốc độ bắn phá của chất nền là một giá trị không đổi.Do đó, khí dư chứa trong màng lắng đọng sau khi chọn tốc độ lắng đọng cao hơn sẽ giảm xuống, do đó làm giảm phản ứng hóa học giữa các phân tử khí dư và các hạt màng bay hơi.Do đó, độ tinh khiết của màng lắng đọng có thể được cải thiện.Cần lưu ý rằng nếu tốc độ lắng đọng quá nhanh có thể làm tăng ứng suất bên trong màng, làm tăng các khuyết tật trên màng, thậm chí dẫn đến vỡ màng.Đặc biệt, trong quá trình mạ bay hơi phản ứng, để làm cho khí phản ứng phản ứng hoàn toàn với các hạt của vật liệu màng bay hơi, bạn có thể chọn tốc độ lắng đọng thấp hơn.Tất nhiên, các vật liệu khác nhau chọn tốc độ bay hơi khác nhau.Như một ví dụ thực tế– sự lắng đọng của màng phản chiếu, Nếu độ dày của màng là 600×10-8cm và thời gian bay hơi là 3 giây, thì hệ số phản xạ là 93%.Tuy nhiên, nếu tốc độ bay hơi bị chậm lại trong cùng điều kiện độ dày, phải mất 10 phút để hoàn thành quá trình lắng đọng màng.Tại thời điểm này, độ dày màng là như nhau.Tuy nhiên, độ phản xạ đã giảm xuống còn 68%.
2. Nhiệt độ lớp nền sẽ ảnh hưởng đến lớp phủ bay hơi
Nhiệt độ bề mặt có ảnh hưởng lớn đến lớp phủ bay hơi.Các phân tử khí còn sót lại được hấp phụ trên bề mặt chất nền ở nhiệt độ chất nền cao rất dễ bị loại bỏ.Đặc biệt là việc loại bỏ các phân tử hơi nước là quan trọng hơn.Hơn nữa, ở nhiệt độ cao hơn, không chỉ dễ dàng thúc đẩy quá trình chuyển đổi từ hấp phụ vật lý sang hấp phụ hóa học, do đó làm tăng lực liên kết giữa các hạt.Hơn nữa, nó cũng có thể làm giảm sự khác biệt giữa nhiệt độ kết tinh lại của các phân tử hơi và nhiệt độ cơ chất, do đó làm giảm hoặc loại bỏ ứng suất bên trong trên giao diện dựa trên màng.Ngoài ra, do nhiệt độ bề mặt có liên quan đến trạng thái kết tinh của màng, nên thường dễ hình thành các lớp phủ vô định hình hoặc vi tinh thể trong điều kiện nhiệt độ bề mặt thấp hoặc không gia nhiệt.Ngược lại, khi nhiệt độ cao dễ hình thành lớp phủ kết tinh.Tăng nhiệt độ bề mặt cũng có lợi cho việc cải thiện các tính chất cơ học của lớp phủ.Tất nhiên, nhiệt độ bề mặt không được quá cao để tránh sự bay hơi của lớp phủ.
3. Áp suất khí dư trong buồng chân không sẽ ảnh hưởng đến tính chất của màng
Áp suất của khí dư trong buồng chân không có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của màng.Các phân tử khí còn sót lại với áp suất quá cao không chỉ dễ va chạm với các hạt bay hơi, điều này sẽ làm giảm động năng của những người trên đế và ảnh hưởng đến độ bám dính của màng.Ngoài ra, áp suất khí dư quá cao sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của màng và làm giảm hiệu suất của lớp phủ.
4. Nhiệt độ bay hơi ảnh hưởng đến lớp phủ bay hơi
Ảnh hưởng của nhiệt độ bay hơi đến hiệu suất của màng được thể hiện bằng sự thay đổi tốc độ bay hơi theo nhiệt độ.Khi nhiệt độ bay hơi cao thì nhiệt hóa hơi sẽ giảm.Nếu vật liệu màng bay hơi cao hơn nhiệt độ bay hơi, thì ngay cả một sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng có thể gây ra sự thay đổi mạnh về tốc độ bay hơi của vật liệu màng.Do đó, điều rất quan trọng là phải kiểm soát chính xác nhiệt độ bay hơi trong quá trình lắng đọng màng để tránh chênh lệch nhiệt độ lớn khi nguồn bay hơi được làm nóng.Đối với vật liệu màng dễ thăng hoa, việc chọn chính vật liệu làm vật liệu gia nhiệt cho quá trình bay hơi và các biện pháp khác cũng rất quan trọng.
5. Tình trạng làm sạch bề mặt và buồng phủ sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất của lớp phủ
Không thể bỏ qua ảnh hưởng của độ sạch của bề mặt và buồng phủ đối với hiệu suất của lớp phủ.Nó không chỉ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của màng lắng đọng mà còn làm giảm độ bám dính của màng.Do đó, việc tinh chế chất nền, xử lý làm sạch buồng phủ chân không và các thành phần liên quan của nó (chẳng hạn như khung đế) và khử khí bề mặt đều là các quy trình không thể thiếu trong quy trình phủ chân không.
Thời gian đăng bài: Feb-28-2023