1. Ууршилтын хурд нь ууршсан бүрхүүлийн шинж чанарт нөлөөлнө
Ууршилтын хурд нь хуримтлагдсан хальсанд маш их нөлөөлдөг. Бага хуримтлалын хурдаар үүссэн бүрхүүлийн бүтэц нь сул бөгөөд том ширхэгийн хуримтлал үүсгэхэд хялбар тул бүрхүүлийн бүтцийн нягтралыг хангахын тулд илүү өндөр ууршилтын хурдыг сонгох нь маш аюулгүй юм. Вакуум камерт үлдэгдэл хийн даралт тогтмол байх үед суурь материалын бөмбөгдөлтийн хурд тогтмол утгатай байдаг. Тиймээс өндөр хуримтлалын хурдыг сонгосны дараа хуримтлагдсан хальсанд агуулагдах үлдэгдэл хий буурч, улмаар үлдэгдэл хийн молекулууд болон ууршсан хальсны хэсгүүдийн хоорондох химийн урвалыг бууруулдаг. Тиймээс хуримтлагдсан хальсны цэвэр байдлыг сайжруулж болно. Хэрэв хуримтлалын хурд хэт хурдан байвал хальсны дотоод стрессийг нэмэгдүүлж, хальсны согогийг нэмэгдүүлж, тэр ч байтугай хальс хагарахад хүргэдэг гэдгийг анхаарах хэрэгтэй. Ялангуяа урвалд орох ууршилтын бүрэх явцад урвалын хий нь ууршилтын хальсны материалын хэсгүүдтэй бүрэн урвалд орохын тулд та бага хуримтлалын хурдыг сонгож болно. Мэдээжийн хэрэг, өөр өөр материалууд өөр өөр ууршилтын хурдыг сонгодог. Практик жишээ болгон - гэрэл ойлгогч хальсыг наалдуулах, Хэрэв хальсны зузаан нь 600×10-8см бөгөөд уурших хугацаа 3с байвал гэрэл ойлгогч чанар нь 93% байна. Гэсэн хэдий ч хэрэв ижил зузаантай нөхцөлд ууршилтын хурд удааширвал хальсыг наалдуулахад 10 минут шаардагдана. Энэ үед хальсны зузаан ижил байна. Гэсэн хэдий ч гэрэл ойлгогч чанар нь 68% болж буурсан байна.
2. Хадгалах температур нь ууршилтын бүрхүүлд нөлөөлнө
Субстратын температур нь ууршилтын бүрхүүлд маш их нөлөөлдөг. Субстратын өндөр температурт субстратын гадаргуу дээр шингэсэн үлдэгдэл хийн молекулуудыг арилгахад хялбар байдаг. Ялангуяа усны уурын молекулуудыг арилгах нь илүү чухал юм. Түүнээс гадна, өндөр температурт физик адсорбциас химийн адсорбци руу шилжих шилжилтийг дэмжихээс гадна бөөмсийн хоорондох холбох хүчийг нэмэгдүүлдэг. Түүнчлэн, энэ нь уурын молекулуудын дахин талсжих температур ба субстратын температурын зөрүүг бууруулж, улмаар хальсан дээр суурилсан интерфейс дээрх дотоод стрессийг бууруулах эсвэл арилгах боломжтой. Үүнээс гадна, субстратын температур нь хальсны талст төлөвтэй холбоотой тул субстратын бага температур эсвэл халаалтгүй нөхцөлд аморф эсвэл бичил талст бүрхүүл үүсгэх нь ихэвчлэн хялбар байдаг. Харин эсрэгээрээ, температур өндөр байх үед талст бүрхүүл үүсгэх нь амархан байдаг. Субстратын температурыг нэмэгдүүлэх нь бүрхүүлийн механик шинж чанарыг сайжруулахад тусалдаг. Мэдээжийн хэрэг, бүрхүүл ууршихаас сэргийлэхийн тулд субстратын температур хэт өндөр байх ёсгүй.
3. Вакуум камер дахь үлдэгдэл хийн даралт нь хальсны шинж чанарт нөлөөлнө
Вакуум камер дахь үлдэгдэл хийн даралт нь мембраны гүйцэтгэлд ихээхэн нөлөөлдөг. Хэт өндөр даралттай үлдэгдэл хийн молекулууд нь ууршиж буй хэсгүүдтэй мөргөлдөхөд хялбар төдийгүй суурь дээрх хүмүүсийн кинетик энергийг бууруулж, хальсны наалдацад нөлөөлдөг. Үүнээс гадна хэт өндөр үлдэгдэл хийн даралт нь хальсны цэвэр байдалд ноцтой нөлөөлж, бүрхүүлийн гүйцэтгэлийг бууруулдаг.
4. Ууршилтын температурын ууршилтын бүрхүүлд үзүүлэх нөлөө
Ууршилтын температур нь мембраны гүйцэтгэлд үзүүлэх нөлөөг температурын өөрчлөлтөөр харуулдаг. Ууршилтын температур өндөр байх үед ууршилтын дулаан буурна. Хэрэв мембраны материал ууршилтын температураас дээш ууршвал температурын бага зэрэг өөрчлөлт нь мембраны материалын ууршилтын хурдад огцом өөрчлөлт үүсгэж болзошгүй. Тиймээс ууршилтын эх үүсвэрийг халаах үед температурын градиент их байхаас зайлсхийхийн тулд хальсыг наах явцад ууршилтын температурыг нарийн хянах нь маш чухал юм. Дэд давхаргад амархан ордог хальсан материалын хувьд ууршилт болон бусад арга хэмжээний халаагч болгон материалыг өөрөө сонгох нь маш чухал юм.
5. Суурь болон бүрэх камерын цэвэрлэгээний байдал нь бүрэх гүйцэтгэлд нөлөөлнө
Субстрат болон бүрэх камерын цэвэр байдал нь бүрэх гүйцэтгэлд үзүүлэх нөлөөг үл тоомсорлож болохгүй. Энэ нь зөвхөн хуримтлагдсан хальсны цэвэр байдалд ноцтой нөлөөлөөд зогсохгүй хальсны наалдацыг бууруулдаг. Тиймээс субстратыг цэвэршүүлэх, вакуум бүрэх камер болон түүнтэй холбоотой бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг (субстрат хүрээ гэх мэт) цэвэрлэх, гадаргуугийн хийгүйжүүлэх зэрэг нь вакуум бүрэх процесст зайлшгүй шаардлагатай үйл явц юм.
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 2-р сарын 28