1. Garavimo greitis turės įtakos išgaravusios dangos savybėms
Garavimo greitis turi didelę įtaką nusodintai plėvelei.Kadangi dangos struktūra, suformuota dėl mažo nusodinimo greičio, yra biri ir lengvai nusodinama didelėmis dalelėmis, labai saugu pasirinkti didesnį garavimo greitį, kad būtų užtikrintas dangos struktūros kompaktiškumas.Kai liekamųjų dujų slėgis vakuuminėje kameroje yra pastovus, substrato bombardavimo greitis yra pastovi vertė.Todėl, pasirinkus didesnį nusodinimo greitį, sumažės nusodintoje plėvelėje esančių dujų liekanos, taip sumažinant cheminę reakciją tarp likusių dujų molekulių ir išgaravusių plėvelės dalelių.Todėl galima pagerinti nusodintos plėvelės grynumą.Pažymėtina, kad jei nusodinimo greitis yra per didelis, tai gali padidinti vidinį plėvelės įtempimą, padidinti plėvelės defektų skaičių ir netgi sukelti plėvelės plyšimą.Visų pirma, reaktyvaus garinimo dengimo procese, kad reakcijos dujos visiškai reaguotų su garinimo plėvelės medžiagos dalelėmis, galite pasirinkti mažesnį nusodinimo greitį.Žinoma, skirtingos medžiagos pasirenka skirtingą garavimo greitį.Praktinis pavyzdys – atspindinčios plėvelės nusodinimas, jei plėvelės storis 600×10-8cm, o garavimo laikas 3s, atspindimas 93%.Tačiau jei garavimo greitis sulėtėja esant tokioms pat storio sąlygoms, plėvelės nusodinimas užtrunka 10 minučių.Šiuo metu plėvelės storis yra toks pat.Tačiau atspindėjimas sumažėjo iki 68%.
2. Subtrato temperatūra turės įtakos garavimo dangai
Pagrindo temperatūra turi didelę įtaką garavimo dangai.Likusias dujų molekules, adsorbuotas ant pagrindo paviršiaus esant aukštai substrato temperatūrai, lengva pašalinti.Ypač svarbiau yra vandens garų molekulių pašalinimas.Be to, esant aukštesnei temperatūrai, ne tik lengva paskatinti transformaciją iš fizinės adsorbcijos į cheminę adsorbciją, taip padidinant rišamąją jėgą tarp dalelių.Be to, jis taip pat gali sumažinti skirtumą tarp garų molekulių rekristalizavimo temperatūros ir substrato temperatūros, taip sumažinant arba pašalinant vidinį įtempimą plėvelės pagrindu veikiančioje sąsajoje.Be to, kadangi pagrindo temperatūra yra susijusi su plėvelės kristaline būkle, esant žemai substrato temperatūrai arba nekaitinant, dažnai lengva suformuoti amorfines arba mikrokristalines dangas.Priešingai, esant aukštai temperatūrai, nesunku suformuoti kristalinę dangą.Padidinus pagrindo temperatūrą, pagerėja ir mechaninės dangos savybės.Žinoma, pagrindo temperatūra neturi būti per aukšta, kad danga neišgaruotų.
3. Likęs dujų slėgis vakuuminėje kameroje turės įtakos plėvelės savybėms
Likutinių dujų slėgis vakuuminėje kameroje turi didelę įtaką membranos veikimui.Likutinės dujų molekulės, turinčios per aukštą slėgį, ne tik lengvai susidurs su garuojančiomis dalelėmis, o tai sumažins ant pagrindo esančių žmonių kinetinę energiją ir paveiks plėvelės sukibimą.Be to, per didelis liekamasis dujų slėgis rimtai paveiks plėvelės grynumą ir sumažins dangos efektyvumą.
4. Garavimo temperatūros poveikis garavimo dangai
Garavimo temperatūros poveikį membranos veikimui parodo garavimo greičio pokytis priklausomai nuo temperatūros.Kai garavimo temperatūra yra aukšta, garavimo šiluma sumažės.Jei membranos medžiaga išgarinama aukščiau garavimo temperatūros, net ir nedidelis temperatūros pokytis gali sukelti staigų membraninės medžiagos garavimo greičio pasikeitimą.Todėl labai svarbu tiksliai kontroliuoti garavimo temperatūrą plėvelės nusodinimo metu, kad būtų išvengta didelio temperatūros gradiento kaitinant garavimo šaltinį.Lengvai sublimuojamai plėvelės medžiagai taip pat labai svarbu pasirinkti pačią medžiagą kaip garinimo ir kitų priemonių šildytuvą.
5. Pagrindo ir dangos kameros valymo būsena turės įtakos dangos veikimui
Negalima ignoruoti pagrindo ir dangos kameros švarumo poveikio dangos veikimui.Tai ne tik rimtai paveiks nusodintos plėvelės grynumą, bet ir sumažins plėvelės sukibimą.Todėl pagrindo valymas, vakuuminio dengimo kameros ir su ja susijusių komponentų (pvz., pagrindo rėmo) valymas ir paviršiaus degazavimas yra būtini vakuuminio dengimo procesai.
Paskelbimo laikas: 2023-02-28