1. Парга әйләнү тизлеге парга әйләнгән каплауның үзлекләренә тәэсир итәчәк
Парга әйләнү тизлеге пленкага зур йогынты ясый. Түбән утыру тизлеге белән барлыкка килгән каплау структурасы йомшак һәм зур кисәкчәләр утыруын җиңел тудырганлыктан, каплау структурасының тыгызлыгын тәэмин итү өчен югарырак парга әйләнү тизлеген сайлау бик куркынычсыз. Вакуум камерасында калдык газ басымы даими булганда, субстратның бомбага тоту тизлеге даими кыйммәт булып тора. Шуңа күрә, югарырак утыру тизлеген сайлаганнан соң, утыртылган пленкада калган газ кими, шуның белән калдык газ молекулалары һәм парга әйләнгән пленка кисәкчәләре арасындагы химик реакция кими. Шуңа күрә утыртылган пленканың сафлыгын яхшыртырга мөмкин. Шунысын да билгеләп үтәргә кирәк, утыру тизлеге бик тиз булса, ул пленканың эчке көчәнешен арттырырга, пленкадагы кимчелекләрне арттырырга һәм хәтта пленканың ярылуына китерергә мөмкин. Аерым алганда, реактив парга әйләнү белән каплау процессында, реакция газының парга әйләнү пленкасы материалының кисәкчәләре белән тулысынча реакциягә керүе өчен, сез түбәнрәк утыру тизлеген сайлый аласыз. Әлбәттә, төрле материаллар төрле парга әйләнү тизлеген сайлыйлар. Гамәли мисал буларак – чагылдыручы пленканы урнаштыру. Әгәр пленка калынлыгы 600×10-8 см һәм парга әйләнү вакыты 3 секунд булса, чагылдыру 93% тәшкил итә. Ләкин, шул ук калынлык шартларында парга әйләнү тизлеге кимесә, пленканы урнаштыруны тәмамлау өчен 10 минут кирәк. Бу вакытта пленка калынлыгы шул ук. Ләкин, чагылдыру 68% ка кадәр төшкән.
2. Субстрат температурасы парга әйләнү каплавына тәэсир итәчәк
Субстрат температурасы парга әйләнү каплавына зур йогынты ясый. Субстрат өслегендә югары температурада адсорбцияләнгән калдык газ молекулаларын җиңел генә бетереп була. Аеруча су пары молекулаларын бетерү мөһимрәк. Моннан тыш, югарырак температураларда физик адсорбциядән химик адсорбциягә күчүне стимуллаштыру гына түгел, шулай итеп кисәкчәләр арасындагы бәйләнеш көчен арттыра. Моннан тыш, ул шулай ук пар молекулаларының рекристаллизация температурасы һәм субстрат температурасы арасындагы аерманы киметә ала, шулай итеп пленка нигезендәге чиктәге эчке көчәнешне киметә яки бетерә. Моннан тыш, субстрат температурасы пленканың кристалл халәтенә бәйле булганлыктан, субстратның түбән температурасы яки җылыту булмаганда аморф яки микрокристалл капламалар барлыкка китерү еш кына җиңел. Киресенчә, температура югары булганда, кристалл каплама барлыкка китерү җиңел. Субстрат температурасын арттыру да капламаның механик үзлекләрен яхшыртуга ярдәм итә. Әлбәттә, капламаның парга әйләнүен булдырмас өчен субстрат температурасы артык югары булмаска тиеш.
3. Вакуум камерасындагы калдык газ басымы пленка үзлекләренә тәэсир итәчәк
Вакуум камерасындагы калдык газ басымы мембрананың эшчәнлегенә зур йогынты ясый. Артык югары басымлы калдык газ молекулалары парга әйләнүче кисәкчәләр белән җиңел бәрелүдән тыш, бу субстраттагы кешеләрнең кинетик энергиясен киметәчәк һәм пленканың ябышуына тәэсир итәчәк. Моннан тыш, артык югары калдык газ басымы пленканың сафлыгына җитди тәэсир итәчәк һәм каплауның эшчәнлеген киметәчәк.
4. Парга әйләнү температурасының парга әйләнү каплавына йогынтысы
Парга әйләнү температурасының мембрана эшчәнлегенә йогынтысы температура белән парга әйләнү тизлегенең үзгәрүе белән күрсәтелә. Парга әйләнү температурасы югары булганда, парга әйләнү җылылыгы кими. Әгәр мембрана материалы парга әйләнү температурасыннан югарырак парга әйләнсә, хәтта температураның бераз үзгәрүе дә мембрана материалының парга әйләнү тизлегендә кискен үзгәреш китерергә мөмкин. Шуңа күрә, парга әйләнү чыганагы җылытылганда зур температура градиентыннан качу өчен, пленканы урнаштыру вакытында парга әйләнү температурасын төгәл контрольдә тоту бик мөһим. Сублимацияләү җиңел булган пленка материалы өчен, парга әйләнү һәм башка чаралар өчен җылыткыч буларак материалның үзен сайлау да бик мөһим.
5. Субстратның һәм каплау камерасының чистарту торышы каплау сыйфатына тәэсир итәчәк
Субстратның һәм каплау камерасының чисталыгының каплау эшчәнлегенә йогынтысын игътибарсыз калдырып булмый. Бу салынган пленканың чисталыгына гына түгел, ә пленканың ябышуын да киметәчәк. Шуңа күрә, субстратны чистарту, вакуум каплау камерасын һәм аның белән бәйле компонентларны (мәсәлән, субстрат рамкасын) чистарту һәм өслекне дегазацияләү - болар барысы да вакуум каплау процессында алыштыргысыз процесслар.
Бастырылган вакыты: 2023 елның 28 феврале