العوامل المؤثرة على أداء الطلاء بالتبخير بالفراغ

1. سيؤثر معدل التبخر على خصائص الطلاء المبخر

معدل التبخر له تأثير كبير على الفيلم المترسب.نظرًا لأن هيكل الطلاء المتكون من معدل ترسيب منخفض فضفاض ويسهل إنتاج ترسب كبير للجسيمات ، فمن الآمن جدًا اختيار معدل تبخر أعلى لضمان انضغاط هيكل الطلاء.عندما يكون ضغط الغاز المتبقي في غرفة التفريغ ثابتًا ، يكون معدل القصف للركيزة قيمة ثابتة.لذلك ، سيتم تقليل الغاز المتبقي الموجود في الفيلم المترسب بعد اختيار معدل ترسيب أعلى ، وبالتالي تقليل التفاعل الكيميائي بين جزيئات الغاز المتبقية وجزيئات الفيلم المتبخر.لذلك ، يمكن تحسين نقاء الفيلم المترسب.وتجدر الإشارة إلى أنه إذا كان معدل الترسيب سريعًا جدًا ، فقد يؤدي ذلك إلى زيادة الضغط الداخلي للفيلم ، وزيادة العيوب في الفيلم ، وحتى يؤدي إلى تمزق الفيلم.على وجه الخصوص ، في عملية الطلاء بالتبخير التفاعلي ، من أجل جعل غاز التفاعل يتفاعل بشكل كامل مع جزيئات مادة غشاء التبخر ، يمكنك تحديد معدل ترسيب أقل.بالطبع ، تختار المواد المختلفة معدلات تبخر مختلفة.كمثال عملي - ترسب الفيلم العاكس ، إذا كان سمك الفيلم 600 × 10-8 سم ووقت التبخر 3 ثوان ، فإن الانعكاس يكون 93٪.ومع ذلك ، إذا تم إبطاء معدل التبخر تحت نفس حالة السماكة ، فسيستغرق الأمر 10 دقائق لإكمال ترسيب الفيلم.في هذا الوقت ، سمك الفيلم هو نفسه.ومع ذلك ، فقد انخفض الانعكاس إلى 68٪.

2. ستؤثر درجة حرارة الطحال على طلاء التبخر

درجة حرارة الركيزة لها تأثير كبير على طلاء التبخر.من السهل إزالة جزيئات الغاز المتبقية الممتصة على سطح الركيزة عند درجة حرارة عالية.لا سيما القضاء على جزيئات بخار الماء هو أكثر أهمية.علاوة على ذلك ، في درجات الحرارة المرتفعة ، ليس من السهل فقط تعزيز التحول من الامتزاز الفيزيائي إلى الامتزاز الكيميائي ، وبالتالي زيادة قوة الربط بين الجزيئات.علاوة على ذلك ، يمكنه أيضًا تقليل الاختلاف بين درجة حرارة إعادة التبلور لجزيئات البخار ودرجة حرارة الركيزة ، وبالتالي تقليل أو إزالة الضغط الداخلي على الواجهة القائمة على الفيلم.بالإضافة إلى ذلك ، نظرًا لأن درجة حرارة الركيزة مرتبطة بالحالة البلورية للفيلم ، فغالبًا ما يكون من السهل تكوين طلاء غير متبلور أو دقيق التبلور في حالة انخفاض درجة حرارة الركيزة أو عدم وجود تسخين.على العكس من ذلك ، عندما تكون درجة الحرارة عالية ، فمن السهل تشكيل طلاء بلوري.تؤدي زيادة درجة حرارة الركيزة أيضًا إلى تحسين الخواص الميكانيكية للطلاء.بالطبع ، يجب ألا تكون درجة حرارة الركيزة عالية جدًا لمنع تبخر الطلاء.

3. سيؤثر ضغط الغاز المتبقي في غرفة التفريغ على خصائص الفيلم

ضغط الغاز المتبقي في غرفة التفريغ له تأثير كبير على أداء الغشاء.جزيئات الغاز المتبقية ذات الضغط المرتفع ليس من السهل فقط اصطدامها بجزيئات التبخر ، مما يقلل من الطاقة الحركية للأشخاص على الركيزة ويؤثر على التصاق الفيلم.بالإضافة إلى ذلك ، سيؤثر ارتفاع ضغط الغاز المتبقي بشكل خطير على نقاء الفيلم ويقلل من أداء الطلاء.

4. تأثير درجة حرارة التبخر على طلاء التبخر

يظهر تأثير درجة حرارة التبخر على أداء الغشاء من خلال تغير معدل التبخر مع درجة الحرارة.عندما تكون درجة حرارة التبخر عالية ، ستنخفض حرارة التبخر.إذا تم تبخير مادة الغشاء فوق درجة حرارة التبخر ، يمكن أن يتسبب تغيير طفيف في درجة الحرارة في حدوث تغيير حاد في معدل تبخر مادة الغشاء.لذلك ، من المهم جدًا التحكم في درجة حرارة التبخر بدقة أثناء ترسيب الفيلم لتجنب التدرج الكبير في درجة الحرارة عند تسخين مصدر التبخر.بالنسبة لمادة الفيلم التي يسهل تسامتها ، من المهم أيضًا تحديد المادة نفسها كمدفأة للتبخر وإجراءات أخرى.

5. ستؤثر حالة تنظيف الركيزة وغرفة الطلاء على أداء الطلاء

لا يمكن تجاهل تأثير نظافة الركيزة وغرفة الطلاء على أداء الطلاء.لن يؤثر ذلك بشكل خطير على نقاء الفيلم المودع فحسب ، بل سيقلل أيضًا من التصاق الفيلم.لذلك ، فإن تنقية الركيزة ، ومعالجة تنظيف حجرة الطلاء بالفراغ والمكونات ذات الصلة (مثل إطار الركيزة) وإزالة الغاز السطحي كلها عمليات لا غنى عنها في عملية الطلاء بالفراغ.