1. Haihtumisnopeus vaikuttaa haihdutetun pinnoitteen ominaisuuksiin
Haihtumisnopeudella on suuri vaikutus kerrostettuun kalvoon.Koska alhaisella kerrostumisnopeudella muodostettu pinnoiterakenne on löysä ja helppo tuottaa suuria hiukkaskerrostumia, on erittäin turvallista valita korkeampi haihtumisnopeus pinnoiterakenteen tiiviyden varmistamiseksi.Kun jäännöskaasun paine tyhjökammiossa on vakio, substraatin pommitusnopeus on vakioarvo.Siksi kerrostetun kalvon sisältämä jäännöskaasu pienenee sen jälkeen, kun on valittu suurempi kerrostusnopeus, mikä vähentää kemiallista reaktiota jäännöskaasumolekyylien ja haihtuneiden kalvohiukkasten välillä.Siksi kerrostetun kalvon puhtautta voidaan parantaa.On huomattava, että jos saostusnopeus on liian nopea, se voi lisätä kalvon sisäistä jännitystä, se lisää kalvon vikoja ja jopa johtaa kalvon repeytymiseen.Erityisesti reaktiivisen haihdutuspinnoituksen prosessissa, jotta reaktiokaasu reagoi täysin haihdutuskalvomateriaalin hiukkasten kanssa, voit valita alhaisemman saostusnopeuden.Tietenkin eri materiaalit valitsevat eri haihtumisnopeudet.Käytännön esimerkkinä – heijastavan kalvon kerrostaminen, Jos kalvon paksuus on 600×10-8cm ja haihtumisaika 3s, heijastuskyky on 93%.Jos haihtumisnopeutta kuitenkin hidastetaan samoissa paksuusolosuhteissa, kestää 10 minuuttia kalvon saostumisen loppuun saattamiseksi.Tällä hetkellä kalvon paksuus on sama.Heijastuskyky on kuitenkin pudonnut 68 prosenttiin.
2. Substraatin lämpötila vaikuttaa haihdutuspinnoitteeseen
Alustan lämpötilalla on suuri vaikutus haihdutuspinnoitteeseen.Substraatin pintaan korkeassa lämpötilassa adsorboituneet jäännöskaasumolekyylit on helppo poistaa.Erityisesti vesihöyrymolekyylien eliminointi on tärkeämpää.Lisäksi korkeammissa lämpötiloissa ei ole vain helppoa edistää muutosta fysikaalisesta adsorptiosta kemialliseen adsorptioon, mikä lisää hiukkasten välistä sitoutumisvoimaa.Lisäksi se voi myös vähentää eroa höyrymolekyylien uudelleenkiteytyslämpötilan ja substraatin lämpötilan välillä, mikä vähentää tai poistaa kalvopohjaisen rajapinnan sisäisen jännityksen.Lisäksi, koska substraatin lämpötila liittyy kalvon kiteiseen tilaan, on usein helppoa muodostaa amorfisia tai mikrokiteisiä pinnoitteita, kun alustan lämpötila on alhainen tai ei kuumennusta.Päinvastoin, kun lämpötila on korkea, on helppo muodostaa kiteistä pinnoitetta.Alustan lämpötilan nostaminen parantaa myös pinnoitteen mekaanisia ominaisuuksia.Alustan lämpötila ei tietenkään saa olla liian korkea pinnoitteen haihtumisen estämiseksi.
3. Jäännöskaasun paine tyhjökammiossa vaikuttaa kalvon ominaisuuksiin
Jäännöskaasun paine tyhjiökammiossa vaikuttaa suuresti kalvon suorituskykyyn.Liian korkeapaineiset jäännöskaasumolekyylit eivät ole vain helppo törmätä haihtuvien hiukkasten kanssa, mikä vähentää ihmisten kineettistä energiaa substraatilla ja vaikuttaa kalvon tarttumiseen.Lisäksi liian korkea jäännöskaasupaine vaikuttaa vakavasti kalvon puhtauteen ja heikentää pinnoitteen suorituskykyä.
4. Haihtumislämpötilan vaikutus haihdutuspinnoitteeseen
Haihdutuslämpötilan vaikutus kalvon suorituskykyyn näkyy haihtumisnopeuden muutoksena lämpötilan mukaan.Kun haihtumislämpötila on korkea, höyrystymislämpö vähenee.Jos kalvomateriaalia haihdutetaan yli haihdutuslämpötilan, pienikin lämpötilan muutos voi aiheuttaa jyrkän muutoksen kalvomateriaalin haihtumisnopeudessa.Siksi on erittäin tärkeää säätää haihdutuslämpötilaa tarkasti kalvon kerrostuksen aikana, jotta vältetään suuri lämpötilagradientti, kun haihdutuslähdettä kuumennetaan.Helposti sublimoitavalle kalvomateriaalille on myös erittäin tärkeää valita itse materiaali haihdutus- ja muiden toimenpiteiden lämmittimeksi.
5. Alustan ja pinnoituskammion puhdistustila vaikuttaa pinnoitteen suorituskykyyn
Alustan ja päällystyskammion puhtauden vaikutusta pinnoitteen suorituskykyyn ei voida jättää huomiotta.Se ei ainoastaan vaikuta vakavasti kerrostetun kalvon puhtauteen, vaan myös vähentää kalvon tarttuvuutta.Siksi substraatin puhdistus, tyhjiöpäällystyskammion ja siihen liittyvien komponenttien (kuten alustarungon) puhdistus ja pinnan kaasunpoisto ovat kaikki välttämättömiä prosesseja tyhjiöpäällystysprosessissa.
Postitusaika: 28.2.2023