Membran atomlarynyň çökmegi başlanda, ion bombardmany membrana/substrat serhedine aşakdaky täsirleri edýär.
(1) Fiziki garyşdyrma. Ýokary energiýaly ion inýeksiýasy, çökdürilen atomlaryň püskürmegi we ýüz atomlarynyň yzyna inýeksiýasy we kaskad çaknyşmasy hadysasy sebäpli, membrana/esas serhediniň ýüze golaý meýdanynda substrat elementleriniň we membrana elementleriniň diffuziýasyz garyşdyrmasyna sebäp bolar, bu garyşdyrma täsiri membrana/esas serhediniň "ýalan diffuziýa gatlagynyň", ýagny membrana/esas serhediniň arasyndaky geçiş gatlagynyň birnäçe mikrona çenli galyňlykda emele gelmegine ýardam eder. Birnäçe mikrometr galyňlykda, hatda täze fazalar hem peýda bolup biler. Bu membrana/esas serhediniň ýapyşma güýjüni ýokarlandyrmak üçin örän amatlydyr.
(2) Güýçlendirilen diffuziýa. Ýüze golaý sebitde ýokary defekt konsentrasiýasy we ýokary temperatura diffuziýa tizligini ýokarlandyrýar. Ýüz nokat defekti bolany üçin, kiçi ionlar ýüzi sowmaga meýilli bolýarlar we ion bombardmany ýüziň sowulmagyny has-da güýçlendirýär we çökündi we substrat atomlarynyň özara diffuziýasyny güýçlendirýär.
(3) Ýadro döreme režiminiň gowulanmagy. Substrat ýüzünde kondensasiýa edilen atomyň häsiýetleri onuň ýüzdäki özara täsiri we ýüzdäki göçme häsiýetleri bilen kesgitlenýär. Eger kondensasiýa edilen atom bilen substratyň ýüzüniň arasynda güýçli özara täsir bolmasa, atom ýokary energiýaly ýagdaýda ýadro döreýänçä ýa-da beýleki diffuziýa edýän atomlar bilen çaknyşýança ýüzde diffuziýa eder. Ýadro döreme režimi reaktiw däl ýadro döreme diýilýär. Asyl görnüşi reaktiw däl ýadro döreme režimine degişli bolsa-da, substrat ýüzüniň ion bombardman edilmegi arkaly has köp kemçilikler döräp, ýadro döreme dykyzlygyny artdyryp biler, bu bolsa diffuziýa - reaktiw ýadro döreme režiminiň emele gelmegine has amatlydyr.
(4) Boş baglanyşykly atomlary aýyrmak artykmaçlygy. Ýüzdäki atomlaryň püskürmegi ýerli baglanyşyk ýagdaýy bilen kesgitlenýär we ýüzüň ion bombardmany boş baglanyşykly atomlary püskürtmegi has ähtimaldyr. Bu täsir diffuziýa-reaktiw serhetleriň emele gelmeginde has aýdyň görünýär.
(5) Ýüz örtüginiň gowulanmagy we örtük aýlanyşynyň güýçlendirilmegi. Ion örtüginiň ýokary işçi gaz basyşy sebäpli, bugarylan ýa-da püsküren atomlar püskürmegi güýçlendirmek üçin gaz atomlary bilen çaknyşmaga sezewar bolýarlar, bu bolsa örtügiň gowy örtük häsiýetlerine getirýär.
–Bu makala çap edildiwakuum örtük maşyny öndürijiGuangdong Zhenhua
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 9-njy dekabry