যখন মেমব্রেন পরমাণুর জমা হওয়া শুরু হয়, তখন আয়ন বোমাবর্ষণ মেমব্রেন/সাবস্ট্রেট সংযোগস্থলে নিম্নলিখিত প্রভাবগুলো ফেলে।
(1) ভৌত মিশ্রণ। উচ্চ-শক্তির আয়ন ইনজেকশন, জমা হওয়া পরমাণুর স্পাটারিং এবং পৃষ্ঠের পরমাণুর রিকয়েল ইনজেকশন ও ক্যাসকেড সংঘর্ষের ঘটনার কারণে, মেমব্রেন/বেস ইন্টারফেসের পৃষ্ঠের কাছাকাছি সাবস্ট্রেট উপাদান এবং মেমব্রেন উপাদানের মধ্যে নন-ডিফিউশন মিশ্রণ ঘটে। এই মিশ্রণ প্রভাব মেমব্রেন/বেস ইন্টারফেসে "সিউডো-ডিফিউশন লেয়ার" গঠনে সহায়ক হয়, অর্থাৎ মেমব্রেন/বেস ইন্টারফেসের মধ্যবর্তী ট্রানজিশন লেয়ার, যা কয়েক মাইক্রন থেকে কয়েক মাইক্রোমিটার পর্যন্ত পুরু হতে পারে, যেখানে এমনকি নতুন ফেজও দেখা যেতে পারে। এটি মেমব্রেন/বেস ইন্টারফেসের আনুগত্য শক্তি উন্নত করার জন্য খুবই সহায়ক।
(2) বর্ধিত ব্যাপন। পৃষ্ঠের নিকটবর্তী অঞ্চলে উচ্চ ত্রুটি ঘনত্ব এবং উচ্চ তাপমাত্রা ব্যাপনের হার বৃদ্ধি করে। যেহেতু পৃষ্ঠটি একটি বিন্দু ত্রুটি, তাই ছোট আয়নগুলির পৃষ্ঠকে বিচ্যুত করার প্রবণতা থাকে এবং আয়ন বোমাবর্ষণ পৃষ্ঠের বিচ্যুতিকে আরও বাড়িয়ে তোলে এবং জমা হওয়া এবং সাবস্ট্রেট পরমাণুগুলির পারস্পরিক ব্যাপনকে উন্নত করে।
(3) উন্নত নিউক্লিয়েশন মোড। সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে ঘনীভূত পরমাণুর বৈশিষ্ট্যগুলি তার পৃষ্ঠের সাথে মিথস্ক্রিয়া এবং পৃষ্ঠের উপর তার স্থানান্তর বৈশিষ্ট্য দ্বারা নির্ধারিত হয়। যদি ঘনীভূত পরমাণু এবং সাবস্ট্রেটের পৃষ্ঠের মধ্যে কোনও শক্তিশালী মিথস্ক্রিয়া না থাকে, তবে পরমাণুটি পৃষ্ঠের উপর ছড়িয়ে পড়বে যতক্ষণ না এটি একটি উচ্চ-শক্তি অবস্থানে নিউক্লিয়েশন করে বা অন্য ছড়িয়ে পড়া পরমাণুর সাথে সংঘর্ষে লিপ্ত হয়। নিউক্লিয়েশনের এই মোডকে অ-প্রতিক্রিয়াশীল নিউক্লিয়েশন বলা হয়। এমনকি যদি মূলত অ-প্রতিক্রিয়াশীল নিউক্লিয়েশন মোডের ক্ষেত্রেও হয়, সাবস্ট্রেট পৃষ্ঠে আয়ন বোমাবর্ষণের মাধ্যমে আরও ত্রুটি তৈরি করা যেতে পারে, যা নিউক্লিয়েশন ঘনত্ব বৃদ্ধি করে, যা ডিফিউশন – প্রতিক্রিয়াশীল নিউক্লিয়েশন মোড গঠনের জন্য আরও সহায়ক।
(4) শিথিলভাবে আবদ্ধ পরমাণুগুলির অগ্রাধিকারমূলক অপসারণ। পৃষ্ঠের পরমাণুগুলির স্পাটারিং স্থানীয় বন্ধন অবস্থা দ্বারা নির্ধারিত হয়, এবং পৃষ্ঠে আয়ন বোমাবর্ষণের ফলে শিথিলভাবে আবদ্ধ পরমাণুগুলি স্পাটার হয়ে যাওয়ার সম্ভাবনা বেশি থাকে। ডিফিউশন-প্রতিক্রিয়াশীল ইন্টারফেস গঠনের ক্ষেত্রে এই প্রভাব আরও বেশি স্পষ্ট।
(5) পৃষ্ঠের আবরণের উন্নতি এবং প্লেটিং বাইপাসের বর্ধন। আয়ন প্লেটিং এর উচ্চ কার্যকরী গ্যাস চাপের কারণে, বাষ্পীভূত বা স্পাটার্ড পরমাণুগুলি গ্যাস পরমাণুর সাথে সংঘর্ষে লিপ্ত হয় যা বিক্ষেপণ বৃদ্ধি করে, ফলে আবরণের ভালো মোড়ানোর বৈশিষ্ট্য পাওয়া যায়।
–এই নিবন্ধটি প্রকাশ করেছেভ্যাকুয়াম কোটিং মেশিন প্রস্তুতকারকগুয়াংডং জেনহুয়া
পোস্ট করার সময়: ০৯-১২-২০২৩