Ẹ káàbọ̀ sí Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
àsíá_kan

Ipa ti bombardment ion lori oju-ọna fẹlẹfẹlẹ fiimu/substrate

Orísun Àpilẹ̀kọ: Zhenhua vacuum
Kíkà: 10
Atẹ̀jáde: 23-12-09

Nígbà tí ìfìpamọ́ àwọn átọ̀mù membrane bá bẹ̀rẹ̀, ìbọn ion ní àwọn ipa wọ̀nyí lórí ìsopọ̀ membrane/substrate.

微信图片_20230908103126_1

(1) Ìdàpọ̀ ara. Nítorí abẹ́rẹ́ ion tó lágbára, ìtújáde àwọn átọ̀mù tí a kó pamọ́ àti ìfàsẹ́yìn àwọn átọ̀mù ojú ilẹ̀ àti ìṣẹ̀lẹ̀ ìkọlù cascade, yóò fa agbègbè tí ó sún mọ́ ojú ilẹ̀ ti membrane/base interface ti àwọn substrate elements àti àwọn membrane elements ti non-transfusion adalu, ipa ìdàpọ̀ yìí yóò ṣe ìrànlọ́wọ́ fún ìṣẹ̀dá membrane/base interface “pseudo-diffusion layer”, ìyẹn ni, ìyípadà larin membrane/base interface, tó nípọn tó àwọn microns díẹ̀. Àwọn micrometer díẹ̀ ní nípọn, nínú èyí tí àwọn ìpele tuntun lè farahàn. Èyí dára gan-an láti mú kí agbára ìsopọ̀ membrane/base interface sunwọ̀n síi.

(2) Ìtànkálẹ̀ tó pọ̀ sí i. Ìwọ̀n àbùkù tó ga ní agbègbè tó sún mọ́ ojú ilẹ̀ àti iwọ̀n otútù tó ga mú kí ìwọ̀n ìtànkálẹ̀ pọ̀ sí i. Nítorí pé ojú ilẹ̀ náà jẹ́ àbùkù àbùkù, àwọn ion kékeré máa ń yí ojú ilẹ̀ padà, ìbọn ion sì máa ń mú kí ìyípadà ojú ilẹ̀ pọ̀ sí i, ó sì máa ń mú kí ìtànkálẹ̀ ojú ilẹ̀ pọ̀ sí i, ó sì máa ń mú kí ìtànkálẹ̀ ojú ilẹ̀ pọ̀ sí i, ó sì máa ń mú kí ìtànkálẹ̀ ojú ilẹ̀ pọ̀ sí i.

(3) Ipò nucleation tó dára síi. Àwọn ànímọ́ átọ́mù tó wà lórí ojú ilẹ̀ ni a ń pinnu nípa ìbáṣepọ̀ ojú ilẹ̀ rẹ̀ àti àwọn ànímọ́ ìṣípò rẹ̀ lórí ojú ilẹ̀. Tí kò bá sí ìbáṣepọ̀ tó lágbára láàárín átọ́mù tó wà nínú ojú ilẹ̀ àti ojú ilẹ̀ ilẹ̀ náà, átọ́mù náà yóò tàn káàkiri ojú ilẹ̀ títí yóò fi di nucleus ní ipò agbára gíga tàbí tí yóò bá àwọn átọ́mù tó wà nínú ojú ilẹ̀ mìíràn jà. Ipò nucleation yìí ni a ń pè ní non-reactive nucleation. Kódà bí ó tilẹ̀ jẹ́ pé ìpilẹ̀ṣẹ̀ náà jẹ́ ti ipò nucleation tí kò ní ìfàsẹ́yìn, nípa ion bombering ti ojú ilẹ̀ ilẹ̀ náà lè mú àwọn àbùkù púpọ̀ sí i wá, tí yóò mú kí ìwọ̀n nucleation pọ̀ sí i, èyí tí ó ṣe pàtàkì jù fún ìṣẹ̀dá ìfọ́sókè - reactive nucleation mode.

(4) Yíyọ àwọn átọ̀mù tí wọ́n so mọ́ ara wọn láìsí ìdènà. Ìpò ìsopọ̀ àgbègbè ni a fi ń pinnu bí àwọn átọ̀mù ojú ilẹ̀ ṣe ń tàn káàkiri, àti pé ìbọn ion lórí ojú ilẹ̀ náà lè mú kí àwọn átọ̀mù tí wọ́n so mọ́ ara wọn má baà tàn jáde. Ìpa yìí túbọ̀ hàn gbangba nínú ìṣẹ̀dá àwọn ìsopọ̀ tí ń tàn káàkiri.

(5) Ìmúdàgbàsókè ìbòjú ilẹ̀ àti ìmúgbòòrò ìbòjú ìbòjú. Nítorí ìfúnpá gáàsì tí ń ṣiṣẹ́ gíga ti ìbòjú ion, àwọn átọ̀mù tí ó ti gbẹ tàbí tí ó ti gbọ̀n ni a máa ń dojúkọ pẹ̀lú àwọn átọ̀mù gáàsì láti mú kí ìfọ́nká pọ̀ sí i, èyí tí ó ń yọrí sí àwọn ànímọ́ ìbòjú ìbòjú tí ó dára.

–A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua


Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kejìlá-09-2023