Мембраны атомуудын тунадасжилт эхлэхэд ионы бөмбөгдөлт нь мембран/субстратын интерфейст дараах нөлөө үзүүлдэг.
(1) Физик холилт. Өндөр энергийн ионы тарилга, хуримтлагдсан атомуудын цацралт болон гадаргуугийн атомуудын буцах тарилга, каскадын мөргөлдөөний үзэгдэл нь мембран/суурийн интерфэйсийн гадаргуугийн ойролцоо талбай болон мембраны элементүүдийн диффузийн бус холилдолт үүсгэдэг тул энэхүү холилтын нөлөө нь мембран/суурийн интерфэйсийн "псевдо-диффузийн давхарга" буюу мембран/суурийн интерфэйсийн хоорондох шилжилтийн давхарга үүсэхэд хувь нэмэр оруулж, хэдэн микрон хүртэл зузаантай, шинэ фазууд гарч ирж болно. Энэ нь мембран/суурийн интерфэйсийн наалдацын бат бөх чанарыг сайжруулахад маш таатай юм.
(2) Диффузийг нэмэгдүүлэх. Гадаргуугийн ойролцоох бүс дэх өндөр согогийн концентраци болон өндөр температур нь диффузийн хурдыг нэмэгдүүлдэг. Гадаргуу нь цэгийн согог тул жижиг ионууд гадаргууг хазайлгах хандлагатай байдаг бөгөөд ионы бөмбөгдөлт нь гадаргуугийн хазайлтыг улам сайжруулж, тунадасжсан болон субстратын атомуудын харилцан тархалтыг нэмэгдүүлэх нөлөөтэй байдаг.
(3) Сайжруулсан цөмжилтийн горим. Субстратын гадаргуу дээр конденсацлагдсан атомын шинж чанарыг түүний гадаргуугийн харилцан үйлчлэл болон гадаргуу дээрх шилжилтийн шинж чанараар тодорхойлно. Хэрэв конденсацлагдсан атом болон субстратын гадаргуугийн хооронд хүчтэй харилцан үйлчлэл байхгүй бол атом нь өндөр энергийн байрлалд цөмжих эсвэл бусад тархдаг атомуудтай мөргөлдөх хүртэл гадаргуу дээр тархах болно. Цөмжилтийн энэ горимыг реактив бус цөмжилт гэж нэрлэдэг. Анхных нь реактив бус цөмжилтийн горимд хамаарах байсан ч субстратын гадаргууг ионоор бөмбөгдөх нь илүү их согог үүсгэж, цөмжилтийн нягтралыг нэмэгдүүлж, диффузийн - реактив цөмжилтийн горим үүсэхэд илүү тохиромжтой.
(4) Сул холбогдсон атомуудыг илүүд үзэх. Гадаргуугийн атомуудын цацагдах нь орон нутгийн холбооны төлөв байдлаас хамаардаг бөгөөд гадаргууг ионоор бөмбөгдөх нь сул холбоо бүхий атомуудыг цацах магадлал өндөр байдаг. Энэ нөлөө нь диффузийн урвалд орох интерфейс үүсэхэд илүү тод илэрдэг.
(5) Гадаргуугийн бүрхүүлийг сайжруулж, бүрэх тойрч гарах замыг сайжруулах. Ионы бүрэх ажлын хийн даралт өндөр байдаг тул ууршсан эсвэл цацагдсан атомууд нь тархалтыг нэмэгдүүлэхийн тулд хийн атомуудтай мөргөлдөж, улмаар бүрхүүлийн сайн ороох шинж чанарыг бий болгодог.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2023 оны 12-р сарын 9