Zotsatira za kuphulika kwa ma ion pa mawonekedwe a filimu/substrate

Pamene maatomu a membrane akuyamba kuikidwa, kuphulika kwa ma ion kumakhala ndi zotsatira zotsatirazi pa mawonekedwe a membrane/substrate.

(1) Kusakaniza kwa thupi. Chifukwa cha kulowetsedwa kwa ma ion amphamvu kwambiri, kuphulika kwa maatomu omwe adayikidwa ndi kulowetsedwa kwa maatomu pamwamba ndi zochitika za kugundana kwa cascade, zidzayambitsa malo oyandikira a nembanemba/maziko olumikizirana ndi zinthu za nembanemba za kusakanikirana kosafalikira, kusakanikirana kumeneku kudzathandiza kupanga mawonekedwe a nembanemba/maziko "pseudo-diffusion layer", kutanthauza, gawo losinthira pakati pa mawonekedwe a nembanemba/maziko, mpaka ma microns ochepa. Ma micrometer ochepa okhuthala, momwe magawo atsopano angawonekere. Izi ndizabwino kwambiri pakukweza mphamvu yolumikizirana ya nembanemba/maziko olumikizirana.

(2) Kufalikira kwamphamvu. Kuchuluka kwa chilema chachikulu m'dera lapafupi ndi pamwamba ndi kutentha kwakukulu kumawonjezera kuchuluka kwa kufalikira. Popeza pamwamba ndi chilema cha mfundo, ma ayoni ang'onoang'ono amakonda kupotoza pamwamba, ndipo kuphulika kwa ma ayoni kumawonjezera kupotoza kwa pamwamba ndikuwonjezera kufalikira kwa maatomu osungidwa ndi a substrate.

(3) Njira yabwino yopangira nucleation. Kapangidwe ka atomu yolumikizidwa pamwamba pa substrate kamadalira momwe imagwirira ntchito pamwamba pake komanso momwe imasamutsira zinthu pamwamba pake. Ngati palibe kuyanjana kwamphamvu pakati pa atomu yolumikizidwa ndi pamwamba pa substrate, atomuyo idzafalikira pamwamba pake mpaka itapanga nucleation pamalo amphamvu kwambiri kapena itagundana ndi ma atomu ena ofalitsa. Njira imeneyi ya nucleation imatchedwa non-reactive nucleation. Ngakhale kuti yoyambayo ndi ya non-reactive nucleation mode, kudzera mu ion bombardment ya substrate pamwamba pake ikhoza kupanga zolakwika zambiri, zomwe zimawonjezera kuchuluka kwa nucleation, zomwe zimathandiza kwambiri pakupanga diffusion - reactive nucleation mode.

(4) Kuchotsa maatomu omangika momasuka. Kutuluka kwa maatomu pamwamba kumatsimikiziridwa ndi momwe maatomu amamangika m'deralo, ndipo kuphulika kwa ma ion pamwamba kumatha kutulutsa maatomu omangika momasuka. Izi zimaonekera kwambiri popanga ma interfaces osakanikirana.

(5) Kukonza kuphimba pamwamba ndi kukulitsa njira yodutsa ma plating. Chifukwa cha mpweya wochuluka wogwira ntchito wa ma ion plating, maatomu otuluka mpweya kapena otayidwa amagundana ndi maatomu a mpweya kuti awonjezere kufalikira, zomwe zimapangitsa kuti pakhale mawonekedwe abwino ozungulira ma plating.

– Nkhaniyi yatulutsidwa ndiwopanga makina ophikira vacuumGuangdong Zhenhua