படல அடுக்கு/அடி மூலக்கூறு இடைமுகத்தில் அயனித் தாக்குதலின் விளைவு

சவ்வு அணுக்களின் படிதல் தொடங்கும் போது, ​​அயனித் தாக்குதலானது சவ்வு/அடி மூலக்கூறு இடைமுகத்தில் பின்வரும் விளைவுகளை ஏற்படுத்துகிறது.

(1) இயற்பியல் கலத்தல். உயர் ஆற்றல் அயனி உட்செலுத்துதல், படியவைக்கப்பட்ட அணுக்களின் சிதறல், மேற்பரப்பு அணுக்களின் பின்னோட்ட உட்செலுத்துதல் மற்றும் தொடர் மோதல் நிகழ்வு ஆகியவற்றின் காரணமாக, அடி மூலக்கூறு கூறுகளுக்கும் சவ்வு கூறுகளுக்கும் இடையிலான சவ்வு/அடிப்படை இடைமுகத்தின் மேற்பரப்பிற்கு அருகிலுள்ள பகுதியில் பரவலாத கலத்தல் ஏற்படும். இந்தக் கலத்தல் விளைவானது, சவ்வு/அடிப்படை இடைமுகத்தில் "போலி-பரவல் அடுக்கு" உருவாவதற்கு உகந்ததாக இருக்கும். அதாவது, சவ்வு/அடிப்படை இடைமுகத்திற்கு இடையில் சில மைக்ரான்கள் தடிமன் வரை ஒரு இடைநிலை அடுக்கு உருவாகிறது. சில மைக்ரோமீட்டர்கள் தடிமன் கொண்ட இதில், புதிய கட்டங்கள் கூட தோன்றக்கூடும். இது சவ்வு/அடிப்படை இடைமுகத்தின் ஒட்டுதல் வலிமையை மேம்படுத்துவதற்கு மிகவும் சாதகமானது.

(2) மேம்படுத்தப்பட்ட பரவல். மேற்பரப்பிற்கு அருகிலுள்ள பகுதியில் அதிக குறைபாடு செறிவு மற்றும் அதிக வெப்பநிலை ஆகியவை பரவல் வீதத்தை அதிகரிக்கின்றன. மேற்பரப்பு ஒரு புள்ளி குறைபாடு என்பதால், சிறிய அயனிகள் மேற்பரப்பைத் திசைதிருப்பும் போக்கைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் அயனித் தாக்குதலானது மேற்பரப்பு திசைதிருப்பலை மேலும் அதிகரிப்பதற்கும், படியவைக்கப்பட்ட மற்றும் அடி மூலக்கூறு அணுக்களின் பரஸ்பர பரவலை அதிகரிப்பதற்கும் வழிவகுக்கிறது.

(3) மேம்படுத்தப்பட்ட கருவாக்க முறை. அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் ஒடுங்கிய அணுவின் பண்புகள், அதன் மேற்பரப்பு இடைவினை மற்றும் மேற்பரப்பில் அதன் இடப்பெயர்வு பண்புகளால் தீர்மானிக்கப்படுகின்றன. ஒடுங்கிய அணுவிற்கும் அடி மூலக்கூறின் மேற்பரப்பிற்கும் இடையே வலுவான இடைவினை இல்லை என்றால், அந்த அணு அதிக ஆற்றல் நிலையில் கருவாக்கம் அடையும் வரை அல்லது மற்ற பரவும் அணுக்களுடன் மோதும் வரை மேற்பரப்பில் பரவும். இந்த கருவாக்க முறை வினைபுரியாத கருவாக்கம் என்று அழைக்கப்படுகிறது. தொடக்கத்தில் வினைபுரியாத கருவாக்க முறையைச் சேர்ந்ததாக இருந்தாலும், அடி மூலக்கூறு மேற்பரப்பில் அயனித் தாக்குதல் மூலம் அதிக குறைபாடுகளை உருவாக்க முடியும், இது கருவாக்க அடர்த்தியை அதிகரிக்கிறது, இது பரவல் - வினைபுரியும் கருவாக்க முறையின் உருவாக்கத்திற்கு மிகவும் உகந்ததாகும்.

(4) தளர்வாகப் பிணைக்கப்பட்ட அணுக்களை முன்னுரிமையுடன் அகற்றுதல். மேற்பரப்பு அணுக்களின் சிதறல் உள்ளூர் பிணைப்பு நிலையால் தீர்மானிக்கப்படுகிறது, மேலும் மேற்பரப்பில் அயனி குண்டுவீச்சு தளர்வாகப் பிணைக்கப்பட்ட அணுக்களை சிதறடிக்க அதிக வாய்ப்புள்ளது. இந்த விளைவு பரவல்-வினைபுரியும் இடைமுகங்களின் உருவாக்கத்தில் மிகவும் உச்சரிக்கப்படுகிறது.

(5) மேற்பரப்புப் பரவலை மேம்படுத்துதல் மற்றும் முலாம் பூசுதல் கடந்து செல்வதை அதிகரித்தல். அயனி முலாம் பூசுதலின் அதிக வேலை செய்யும் வாயு அழுத்தத்தின் காரணமாக, ஆவியாக்கப்பட்ட அல்லது சிதறடிக்கப்பட்ட அணுக்கள் வாயு அணுக்களுடன் மோதுவதால் சிதறல் அதிகரிக்கிறது, இதன் விளைவாக நல்ல பூச்சு சுற்றும் பண்புகள் ஏற்படுகின்றன.

–இந்தக் கட்டுரை வெளியிடப்பட்டதுவெற்றிட பூச்சு இயந்திர உற்பத்தியாளர்குவாங்டாங் ஜென்ஹுவா