जब झिल्ली के परमाणुओं का निक्षेपण शुरू होता है, तो आयन बमबारी का झिल्ली/सब्सट्रेट इंटरफ़ेस पर निम्नलिखित प्रभाव पड़ता है।
(1) भौतिक मिश्रण। उच्च-ऊर्जा आयन इंजेक्शन, जमा परमाणुओं के स्पटरिंग और सतह परमाणुओं के रिकॉइल इंजेक्शन तथा कैस्केड टकराव की घटना के कारण, सब्सट्रेट तत्वों और झिल्ली तत्वों के झिल्ली/आधार इंटरफ़ेस के निकटवर्ती सतह क्षेत्र में गैर-प्रसार मिश्रण होता है। यह मिश्रण प्रभाव झिल्ली/आधार इंटरफ़ेस पर "छद्म-प्रसार परत" के निर्माण में सहायक होता है, अर्थात् झिल्ली/आधार इंटरफ़ेस के बीच की संक्रमण परत, जो कुछ माइक्रोन से लेकर कुछ माइक्रोमीटर तक मोटी हो सकती है, जिसमें नए चरण भी प्रकट हो सकते हैं। यह झिल्ली/आधार इंटरफ़ेस की आसंजन शक्ति को बढ़ाने के लिए अत्यंत लाभकारी है।
(2) बढ़ी हुई विसरण। सतह के निकट क्षेत्र में उच्च दोष सांद्रता और उच्च तापमान विसरण दर को बढ़ाते हैं। चूंकि सतह एक बिंदु दोष है, इसलिए छोटे आयनों में सतह को विक्षेपित करने की प्रवृत्ति होती है, और आयन बमबारी सतह के विक्षेपण को और बढ़ाने तथा निक्षेपित और आधार परमाणुओं के पारस्परिक विसरण को बढ़ाने का प्रभाव डालती है।
(3) उन्नत न्यूक्लिएशन मोड। सबस्ट्रेट सतह पर संघनित परमाणु के गुण उसकी सतह अंतःक्रिया और सतह पर उसके स्थानांतरण गुणों द्वारा निर्धारित होते हैं। यदि संघनित परमाणु और सबस्ट्रेट की सतह के बीच कोई मजबूत अंतःक्रिया नहीं होती है, तो परमाणु सतह पर तब तक विसरित होता रहेगा जब तक कि वह उच्च-ऊर्जा स्थिति पर न्यूक्लिएट न हो जाए या अन्य विसरित परमाणुओं से टकरा न जाए। न्यूक्लिएशन के इस मोड को अक्रियाशील न्यूक्लिएशन कहा जाता है। भले ही मूल स्थिति अक्रियाशील न्यूक्लिएशन मोड की हो, सबस्ट्रेट सतह पर आयन बमबारी से अधिक दोष उत्पन्न हो सकते हैं, जिससे न्यूक्लिएशन घनत्व बढ़ जाता है, जो विसरण-क्रियाशील न्यूक्लिएशन मोड के निर्माण के लिए अधिक अनुकूल होता है।
(4) शिथिल रूप से बंधे परमाणुओं का अधिमान्य निष्कासन। सतह परमाणुओं का स्पटरिंग स्थानीय बंधन अवस्था द्वारा निर्धारित होता है, और सतह पर आयन बमबारी से शिथिल रूप से बंधे परमाणुओं के स्पटर होने की संभावना अधिक होती है। यह प्रभाव विसरण-प्रतिक्रियाशील इंटरफेस के निर्माण में अधिक स्पष्ट होता है।
(5) सतह कवरेज में सुधार और प्लेटिंग बाईपास में वृद्धि। आयन प्लेटिंग के उच्च कार्यशील गैस दबाव के कारण, वाष्पीकृत या स्पटर किए गए परमाणु गैस परमाणुओं के साथ टकराव के अधीन होते हैं जिससे प्रकीर्णन में वृद्धि होती है, जिसके परिणामस्वरूप कोटिंग रैप-अराउंड गुण अच्छे होते हैं।
–यह लेख द्वारा प्रकाशित किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ
पोस्ट करने का समय: 09 दिसंबर 2023