Nalika pengendapan atom membran diwiwiti, pemboman ion nduweni efek ing ngisor iki ing antarmuka membran/substrat.
(1) Pencampuran fisik. Amarga injeksi ion energi dhuwur, sputtering atom sing diendapke lan injeksi recoil atom permukaan lan fenomena tabrakan kaskade, bakal nyebabake area cedhak permukaan antarmuka membran/basa unsur substrat lan unsur membran saka pencampuran non-difusi, efek pencampuran iki bakal kondusif kanggo pembentukan "lapisan pseudo-difusi" antarmuka membran/basa, yaiku, lapisan transisi antarane antarmuka membran/basa, nganti sawetara mikron kandel. Sawetara mikrometer kandel, ing ngendi fase anyar bisa uga katon. Iki apik banget kanggo ningkatake kekuatan adhesi antarmuka membran/basa.
(2) Difusi sing saya tambah. Konsentrasi cacat sing dhuwur ing wilayah cedhak permukaan lan suhu sing dhuwur nambah laju difusi. Amarga permukaan minangka cacat titik, ion cilik cenderung mbelokkan permukaan, lan pemboman ion nduweni efek kanggo nambah defleksi permukaan lan nambah difusi timbal balik atom sing diendapkan lan substrat.
(3) Mode nukleasi sing luwih apik. Sifat-sifat atom sing kondensasi ing permukaan substrat ditemtokake dening interaksi permukaan lan sifat migrasi ing permukaan. Yen ora ana interaksi sing kuwat antarane atom sing kondensasi lan permukaan substrat, atom kasebut bakal nyebar ing permukaan nganti nukleasi ing posisi energi dhuwur utawa tabrakan karo atom difusi liyane. Mode nukleasi iki diarani nukleasi non-reaktif. Sanajan asline kalebu ing kasus mode nukleasi non-reaktif, kanthi pemboman ion ing permukaan substrat bisa ngasilake luwih akeh cacat, nambah kapadhetan nukleasi, sing luwih kondusif kanggo pembentukan mode nukleasi difusi - reaktif.
(4) Ngilangake atom sing kaiket longgar kanthi luwih disenengi. Sputtering atom permukaan ditemtokake dening kahanan ikatan lokal, lan pemboman ion ing permukaan luwih cenderung nyemburake atom sing kaiket longgar. Efek iki luwih jelas ing pembentukan antarmuka difusi-reaktif.
(5) Peningkatan jangkoan permukaan lan peningkatan bypass plating. Amarga tekanan gas kerja sing dhuwur saka plating ion, atom sing nguap utawa nyembur kena tabrakan karo atom gas kanggo nambah hamburan, sing nyebabake sifat pembungkus lapisan sing apik.
-Artikel iki diterbitake deningprodusen mesin lapisan vakumGuangdong Zhenhua
Wektu kiriman: 9 Desember 2023