Membran atomlarının çökməsi başlayanda, ion bombardmanı membran/substrat sərhədinə aşağıdakı təsirləri göstərir.
(1) Fiziki qarışdırma. Yüksək enerjili ion inyeksiyası, çökmüş atomların püskürməsi və səth atomlarının geriyə doğru inyeksiyası və kaskad toqquşması fenomeni, substrat elementlərinin membran/əsas interfeysinin yaxın səth sahəsinə və diffuziya olmayan qarışdırmanın membran elementlərinə səbəb olacaq, bu qarışdırma effekti membran/əsas interfeysi "yalançı diffuziya təbəqəsinin", yəni membran/əsas interfeysi arasında bir neçə mikrona qədər qalınlığında keçid təbəqəsinin əmələ gəlməsinə kömək edəcək. Bir neçə mikrometr qalınlığında, hətta yeni fazaların da görünə biləcəyi yer. Bu, membran/əsas interfeysinin yapışma gücünü artırmaq üçün çox əlverişlidir.
(2) Gücləndirilmiş diffuziya. Səthə yaxın bölgədə yüksək qüsur konsentrasiyası və yüksək temperatur diffuziya sürətini artırır. Səth nöqtə qüsuru olduğundan, kiçik ionlar səthi əyməyə meyllidir və ion bombardmanı səth əyilməsini daha da gücləndirir və çökmüş və substrat atomlarının qarşılıqlı diffuziyasını artırır.
(3) Təkmilləşdirilmiş nüvələşmə rejimi. Substrat səthində kondensasiya olunmuş atomun xüsusiyyətləri onun səth qarşılıqlı təsiri və səthdəki miqrasiya xüsusiyyətləri ilə müəyyən edilir. Kondensasiya olunmuş atomla substratın səthi arasında güclü qarşılıqlı təsir yoxdursa, atom yüksək enerjili mövqedə nüvələşənə və ya digər diffuziya edən atomlarla toqquşana qədər səthdə diffuziya edəcək. Bu nüvələşmə rejimi qeyri-reaktiv nüvələşmə adlanır. Orijinal qeyri-reaktiv nüvələşmə rejiminə aid olsa belə, substrat səthinin ion bombardmanı ilə daha çox qüsur yarana bilər və nüvələşmə sıxlığı artır ki, bu da diffuziya - reaktiv nüvələşmə rejiminin əmələ gəlməsinə daha çox kömək edir.
(4) Sərbəst bağlı atomların üstünlüklü şəkildə çıxarılması. Səth atomlarının püskürməsi yerli bağlanma vəziyyəti ilə müəyyən edilir və səthin ion bombardmanı sərbəst bağlı atomları püskürtmə ehtimalını artırır. Bu təsir diffuziya-reaktiv interfeyslərin əmələ gəlməsində daha aydın görünür.
(5) Səth örtüyünün yaxşılaşdırılması və örtük keçidinin gücləndirilməsi. İon örtüyünün yüksək işçi qaz təzyiqi səbəbindən buxarlanmış və ya püskürmüş atomlar səpələnməni artırmaq üçün qaz atomları ilə toqquşmaya məruz qalır və bu da örtüyün yaxşı sarılma xüsusiyyətlərinə səbəb olur.
–Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük maşını istehsalçısıGuangdong Zhenhua
Yazı vaxtı: 09 Dekabr 2023