막 원자의 증착이 시작될 때, 이온 충격은 막/기판 계면에 다음과 같은 영향을 미칩니다.
(1) 물리적 혼합. 고에너지 이온 주입으로 인해 증착된 원자의 스퍼터링, 표면 원자의 반동 주입 및 연쇄 충돌 현상이 발생하여 기판 요소와 멤브레인 요소의 멤브레인/기판 계면 표면 부근에서 비확산 혼합이 일어나게 됩니다. 이러한 혼합 효과는 멤브레인/기판 계면에 최대 수 마이크론 두께의 "유사 확산층", 즉 멤브레인/기판 계면 사이의 전이층을 형성하는 데 유리하며, 이 층에는 새로운 상이 나타날 수도 있습니다. 이는 멤브레인/기판 계면의 접착 강도를 향상시키는 데 매우 효과적입니다.
(2) 확산 증진. 표면 근처 영역의 높은 결함 농도와 높은 온도는 확산 속도를 증가시킵니다. 표면은 점 결함이므로 작은 이온은 표면을 편향시키는 경향이 있으며, 이온 충격은 표면 편향을 더욱 증진시키고 증착된 원자와 기판 원자의 상호 확산을 증진시키는 효과를 갖습니다.
(3) 개선된 핵 생성 모드. 기판 표면에 응축된 원자의 특성은 표면 상호작용과 표면에서의 이동 특성에 의해 결정됩니다. 응축된 원자와 기판 표면 사이에 강한 상호작용이 없다면, 원자는 고에너지 위치에서 핵을 생성하거나 다른 확산 원자와 충돌할 때까지 표면에서 확산됩니다. 이러한 핵 생성 모드를 비반응성 핵 생성이라고 합니다. 원래 비반응성 핵 생성 모드에 해당하더라도, 기판 표면에 이온 충격을 가하면 더 많은 결함이 생성되어 핵 생성 밀도가 증가하고, 이는 확산 반응성 핵 생성 모드 형성에 더욱 유리해집니다.
(4) 느슨하게 결합된 원자의 우선적 제거. 표면 원자의 스퍼터링은 국부적인 결합 상태에 의해 결정되며, 표면의 이온 충격은 느슨하게 결합된 원자를 스퍼터링할 가능성이 더 높습니다. 이 효과는 확산 반응성 계면의 형성에서 더욱 두드러집니다.
(5) 표면 피복 개선 및 도금 바이패스 강화. 이온 도금의 높은 작동 가스 압력으로 인해 증발 또는 스퍼터링된 원자는 가스 원자와 충돌하여 산란이 강화되어 코팅의 랩어라운드 특성이 향상됩니다.
이 기사는 다음에서 발표했습니다.진공 코팅기 제조업체광둥진화
게시 시간: 2023년 12월 9일