Ka hopena o ka hoʻopōʻino ʻana o ka ion ma ka ʻaoʻao o ka papa kiʻiʻoniʻoni/substrate

Ke hoʻomaka ka waiho ʻana o nā ʻātoma membrane, loaʻa i ka ion bombardment nā hopena penei ma ka membrane/substrate interface.

(1) Hoʻohuihui kino. Ma muli o ka hoʻokomo ʻana o ka ion ikehu kiʻekiʻe, ka sputtering o nā ʻātoma i waiho ʻia a me ka hoʻokomo recoil o nā ʻātoma o ka ʻili a me ka hanana collision cascade, e hana i ka ʻāpana kokoke o ka membrane/base interface o nā mea substrate a me nā mea membrane o ka hoʻohuihui non-diffusion, e kōkua kēia hopena hui ʻana i ka hoʻokumu ʻana o ka membrane/base interface "pseudo-diffusion layer", ʻo ia hoʻi, ka papa hoʻololi ma waena o ka membrane/base interface, a hiki i kekahi mau microns ka mānoanoa. He mau micrometers ka mānoanoa, kahi e ʻike ʻia ai nā pae hou. He mea maikaʻi loa kēia e hoʻomaikaʻi i ka ikaika pipili o ka membrane/base interface.

(2) Hoʻonui ʻia ka hoʻolaha ʻana. ʻO ke kiʻekiʻe o ka hemahema ma ka ʻāpana kokoke i ka ʻili a me ka mahana kiʻekiʻe e hoʻonui i ka wikiwiki o ka hoʻolaha ʻana. ʻOiai he kiko kīnā ka ʻili, he ʻano koʻikoʻi ko nā ion liʻiliʻi e hoʻohuli i ka ʻili, a ʻo ka hoʻouka ʻana o ka ion he hopena ia o ka hoʻonui hou ʻana i ka hoʻohuli ʻana o ka ʻili a me ka hoʻonui ʻana i ka hoʻolaha like ʻana o nā ʻātoma i waiho ʻia a me nā substrate.

(3) Hoʻomaikaʻi ʻia ke ʻano nucleation. Hoʻoholo ʻia nā waiwai o ka ʻātoma i hoʻopaʻa ʻia ma ka ʻili substrate e kona pilina ʻili a me kona mau waiwai neʻe ma ka ʻili. Inā ʻaʻohe pilina ikaika ma waena o ka ʻātoma i hoʻopaʻa ʻia a me ka ʻili o ka substrate, e hoʻolaha ka ʻātoma ma ka ʻili a hiki i ka wā e nucleate ai i kahi kūlana ikehu kiʻekiʻe a i ʻole e kuʻi ʻia me nā ʻātoma hoʻolaha ʻē aʻe. Ua kapa ʻia kēia ʻano o ka nucleation he nucleation non-reactive. ʻOiai inā pili ka mea kumu i ka hihia o ke ʻano nucleation non-reactive, ma o ka hoʻopōʻino ʻana o ka ion i ka ʻili substrate hiki ke hana i nā hemahema hou aʻe, e hoʻonui ana i ka nui o ka nucleation, ʻoi aku ka maikaʻi o ka hoʻokumu ʻana o ke ʻano diffusion - reactive nucleation.

(4) Ka wehe ʻana i nā ʻātoma i hoʻopaʻa ʻole ʻia. Hoʻoholo ʻia ka sputtering o nā ʻātoma o ka ʻili e ke kūlana hoʻopaʻa kūloko, a ʻo ka hoʻouka ʻana o ka ion o ka ʻili e ʻoi aku ka nui o ka sputtering i nā ʻātoma i hoʻopaʻa ʻole ʻia. ʻOi aku ka ʻike ʻia o kēia hopena i ka hoʻokumu ʻana o nā interfaces diffusion-reactive.

(5) Hoʻomaikaʻi ʻana i ka uhi ʻili a me ka hoʻomaikaʻi ʻana i ka plating bypass. Ma muli o ke kaomi kinoea hana kiʻekiʻe o ka ion plating, ua hoʻokuʻi ʻia nā ʻātoma i hoʻoheheʻe ʻia a i ʻole i pīpī ʻia i ka hoʻokuʻi ʻana me nā ʻātoma kinoea e hoʻonui i ka hoʻopuehu ʻana, e hopena ana i nā waiwai hoʻopuni maikaʻi.

–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua