Мембрана атомдорунун чөкмөсү башталганда, иондук бомбалоо мембрана/субстрат интерфейсине төмөнкү таасирлерди тийгизет.
(1) Физикалык аралаштыруу. Жогорку энергиялуу иондук инъекция, чөкмө атомдордун чачырашы жана беттик атомдордун артка инъекциясы жана каскаддык кагылышуу кубулушу мембрана/негизги беттик аймактын субстрат элементтеринин жана мембрана элементтеринин диффузиясыз аралашуусуна алып келет, бул аралаштыруу эффектиси мембрана/негизги беттик "жалган диффузия катмарынын", башкача айтканда, мембрана/негизги беттин ортосундагы өткөөл катмардын пайда болушуна өбөлгө түзөт, ал бир нече микрон калыңдыкка чейин жетет. Бир нече микрометр калыңдыкта, анда жаңы фазалар пайда болушу мүмкүн. Бул мембрана/негизги беттин адгезия күчүн жакшыртуу үчүн абдан жагымдуу.
(2) Диффузияны күчөтүү. Бетке жакын аймактагы жогорку кемчилик концентрациясы жана жогорку температура диффузия ылдамдыгын жогорулатат. Бет чекиттик кемчилик болгондуктан, кичинекей иондор бетти бурууга жакын, ал эми иондор менен бомбалоо беттин деформациясын андан ары күчөтүп, чөкмө жана субстрат атомдорунун өз ара диффузиясын күчөтөт.
(3) Жакшыртылган нуклеация режими. Субстраттын бетинде конденсацияланган атомдун касиеттери анын беттик өз ара аракеттенүүсү жана беттеги миграция касиеттери менен аныкталат. Эгерде конденсацияланган атом менен субстраттын бетинин ортосунда күчтүү өз ара аракеттенүү болбосо, атом жогорку энергиялуу абалда нуклеацияланганга же башка диффузиялык атомдор менен кагылышканга чейин бетте диффузияланат. Нуклеациянын бул режими реактивдүү эмес нуклеация деп аталат. Баштапкысы реактивдүү эмес нуклеация режимине тиешелүү болсо да, субстраттын бетин ион менен бомбалоо көбүрөөк кемчиликтерди пайда кылып, нуклеация тыгыздыгын жогорулатат, бул диффузия – реактивдүү нуклеация режиминин пайда болушуна өбөлгө түзөт.
(4) Бош байланышкан атомдорду артыкчылыктуу түрдө алып салуу. Беттик атомдордун чачырашы жергиликтүү байланыш абалы менен аныкталат, ал эми бетти ион менен бомбалоо бош байланышкан атомдорду чачырашы ыктымалдуураак. Бул эффект диффузиялык-реактивдүү интерфейстердин пайда болушунда көбүрөөк байкалат.
(5) Беттик каптоону жакшыртуу жана каптоону айланып өтүүнү жакшыртуу. Иондук каптоонун жогорку жумушчу газ басымынан улам, бууланган же чачыраган атомдор чачыроону күчөтүү үчүн газ атомдору менен кагылышууга дуушар болушат, бул каптоонун жакшы оролуп-жабылышына алып келет.
– Бул макала жарыяланганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Жарыяланган убактысы: 2023-жылдын 9-декабры