Мембрана атомнары утыра башлагач, ион бомбардированиесе мембрана/субстрат чигенә түбәндәге йогынты ясый.
(1) Физик кушылу. Югары энергияле ион инъекциясе, утыртылган атомнарның сиптерелүе һәм өслек атомнарының кире кушылуы һәм каскад бәрелеш күренеше аркасында, субстрат элементлары һәм мембрана элементларының мембрана/нигез чикләренең өслеккә якын мәйданында диффузиясез кушылуга китерәчәк, бу кушылу эффекты мембрана/нигез чикләренең "псевдодиффузия катламы", ягъни мембрана/нигез чикләре арасындагы күчеш катламы формалашуга ярдәм итәчәк, ул берничә микрон калынлыкка кадәр җитә. Берничә микрометр калынлыкта, анда хәтта яңа фазалар да барлыкка килергә мөмкин. Бу мембрана/нигез чикләренең ябышуын яхшырту өчен бик уңайлы.
(2) Диффузиянең көчәюе. Өслеккә якын өлкәдә югары кимчелек концентрациясе һәм югары температура диффузия тизлеген арттыра. Өслек нокталы кимчелек булганлыктан, кечкенә ионнар өслекне читкә юнәлтергә омтыла, һәм ион бомбардированиесе өслекнең тайпылышын тагын да көчәйтә һәм утырма һәм субстрат атомнарының үзара диффузиясен көчәйтә.
(3) Ядрәләнү режимы яхшыртылган. Субстрат өслегендә конденсацияләнгән атомның үзлекләре аның өслек үзара бәйләнеше һәм өслектәге миграция үзлекләре белән билгеләнә. Конденсацияләнгән атом һәм субстрат өслеге арасында көчле үзара бәйләнеш булмаса, атом югары энергияле позициядә ядрәләр барлыкка килгәнче яки башка диффузияләүче атомнар белән бәрелешкәнче өслектә диффузияләнәчәк. Ядрәләнүнең бу режимы реактив булмаган ядрәләр дип атала. Хәтта башлангычы реактив булмаган ядрәләр режимына карый торган булса да, субстрат өслеген ионнар белән бомбага тоту күбрәк кимчелекләр китереп чыгарырга мөмкин, ядрәләр тыгызлыгын арттыра, бу диффузия - реактив ядрәләр режимы формалашуына күбрәк ярдәм итә.
(4) Ирекле бәйләнгән атомнарны өстен күрү. Өслек атомнарының сиптерелүе җирле бәйләнеш халәте белән билгеләнә, һәм өслеккә ион бомбасы белән һөҗүм итү ирекле бәйләнгән атомнарны сиптерү ихтималы зуррак. Бу эффект диффузия-реактив интерфейслар формалашуында ныграк күренә.
(5) Өслек каплавын яхшырту һәм каплауны әйләндереп алуны яхшырту. Ион каплавының югары эш газы басымы аркасында, парга әйләнгән яки сиптерелгән атомнар сибелүне көчәйтү өчен газ атомнары белән бәрелешкә дучар булалар, нәтиҗәдә каплауның яхшы уратып алу үзенчәлекләре барлыкка килә.
–Бу мәкалә бастырып чыгарылдывакуум каплау машинасы җитештерүчесеГуандун Чжэнхуа
Бастырылган вакыты: 2023 елның 9 декабре