A amata le fa'aputuina o atomu o le membrane, o le fa'apomuina o ion e i ai aafiaga nei i luga o le feso'ota'iga o le membrane/substrate.
(1) Fa'afefiloi fa'aletino. Ona o le tuiina o le ion malosi, le fe'avea'i o atomu ua teuina ma le tuiina o atomu i luga ma le fa'alavelave fa'afuase'i o le feto'ai, o le a mafua ai le fa'afefiloi o le vaega e lata ane i le fogāeleele o le membrane/base interface o elemene o le substrate ma elemene o le membrane, o lenei aafiaga o le fa'afefiloi o le a fesoasoani i le fausiaina o le "pseudo-diffusion layer" o le membrane/base interface, o lona uiga, o le vaega fesuia'i i le va o le membrane/base interface, e o'o atu i ni nai microns le mafiafia. E o'o atu i ni nai micrometers le mafiafia, lea e ono aliali mai ai ni vaega fou. E matua lelei lava lenei mea e fa'aleleia atili ai le malosi o le pipii o le membrane/base interface.
(2) Fa'ateleina le sosolo. O le maualuga o le fa'aletonu i le vaega e lata ane i le fogāeleele ma le vevela maualuga e fa'ateleina ai le saoasaoa o le sosolo. Talu ai o le fogāeleele o se fa'aletonu, o ions laiti e iai le uiga e fa'afeagai ai le fogāeleele, ma o le fa'apapāpāina o ions e iai le aafiaga o le fa'aleleia atili o le fa'afeagai o le fogāeleele ma fa'aleleia atili ai le sosolo fa'atasi o atomu ua teuina ma atomu o le substrate.
(3) Fa'aleleia atili o le faiga o le nucleation. O meatotino o le atom ua fa'aputuina i luga o le fogaeleele o le substrate e fuafua i lona fegalegaleaiga i luga ma ona meatotino o le femalaga'i i luga o le fogaeleele. Afai e leai se fegalegaleaiga malosi i le va o le atom ua fa'aputuina ma le fogaeleele o le substrate, o le a sosolo le atom i luga o le fogaeleele se'ia o'o ina nucleate i se tulaga maualuga-malosi pe feto'ai ma isi atom ua sosolo. O lenei faiga o le nucleation e ta'ua o le non-reactive nucleation. E tusa lava pe o le uluai mea e patino i le tulaga o le non-reactive nucleation mode, o le fa'ato'ilaloina o le ion i luga o le fogaeleele o le substrate e mafai ona maua ai ni fa'aletonu, fa'ateleina ai le tele o le nucleation, lea e sili atu ona fesoasoani i le fausiaina o le diffusion - reactive nucleation mode.
(4) Ave'esea fa'apitoa o atoma e le'i fusifusia lelei. O le fe'avea'i o atoma i luga e fuafua e le tulaga o le fusifusia i le lotoifale, ma o le fa'apa'uina o ion i luga e sili atu ona ono fe'avea'i ai atoma e le'i fusifusia lelei. O lenei aafiaga e sili atu ona iloga i le fausiaina o feso'ota'iga e tali atu i le fe'avea'i.
(5) Fa'aleleia atili o le ufiufi o luga ma le fa'aleleia atili o le plating bypass. Ona o le maualuga o le mamafa o le kesi o lo'o galue i le ion plating, o atoms ua fa'amamago pe sputtered e fa'alavelaveina i le feto'ai ma atoms kesi e fa'aleleia atili ai le fa'asalalauina, ma i'u ai i ni uiga lelei o le ufiufi.
–O lenei tusiga ua fa'asalalauina egaosi oloa masini ufiufi vacuumGuangdong Zhenhua
Taimi na lafoina ai: Tesema-09-2023