Membrananyň atomlary çöküp başlanda, ion bombalanmagy membrana / substrat interfeýsine aşakdaky täsirleri berýär.
(1) Fiziki garyşyk. Energyokary energiýaly ion sanjymy, goýlan atomlaryň tüýkürilmegi we ýerüsti atomlaryň gaýtadan sanjylmagy we kaskad çaknyşmagy hadysasy, substrat elementleriniň membranasynyň / esasy interfeýsiniň we diffuziýa däl garyndynyň membrananyň elementleriniň ýakyn meýdanyna sebäp bolar, bu garyşyk täsiri membrananyň / esasy interfeýsiň, pseudo-diffuziýa gatlagynyň emele gelmegine amatly bolar. Birnäçe mikrometr galyňlykda, täze fazalar hatda peýda bolup biler. Membrananyň / esasy interfeýsiň ýelme güýjüni gowulandyrmak üçin bu örän amatly.
(2) Güýçlendirilen diffuziýa. Nearakyn ýerdäki sebitdäki ýokary kemçilik konsentrasiýasy we ýokary temperatura diffuziýa derejesini ýokarlandyrýar. Surfaceerüsti nokat kemçiligi bolany üçin, ownuk ionlaryň ýer ýüzüne sowulmak meýli bar we ion bombalanmagy ýerüsti deflýasiýany hasam güýçlendirip, goýlan we substrat atomlarynyň özara ýaýramagyny güýçlendirýär.
(3) Nukleasiýa tertibi gowulaşdy. Substratyň üstünde kondensirlenen atomyň häsiýetleri, onuň üstki täsiri we ýerdäki göçüş aýratynlyklary bilen kesgitlenýär. Kondensirlenen atom bilen substratyň üstünde güýçli täsirleşme bolmasa, atom ýokary energiýa derejesinde ýerleşýänçä ýa-da beýleki ýaýran atomlar bilen çaknyşýança, üstünde ýaýrar. Bu ýadro görnüşine reaktiw däl ýadro diýilýär. Asyl nusgasy reaktiw däl nukleýasiýa re modeimine degişli bolsa-da, substratyň üstüni ion bombalamak bilen, diffuziýa - reaktiw nukleasiýa re modeiminiň emele gelmegine has amatly nukleasiýa dykyzlygyny ýokarlandyryp, has köp kemçilik döredip biler.
(4) Baglanan atomlary artykmaç aýyrmak. Surfaceerüsti atomlaryň tüýkürilmegi ýerli baglanyşyk ýagdaýy bilen kesgitlenýär we ýeriň ion bombalanmagy birek-birege bagly atomlaryň çykmagy ähtimal. Bu täsir diffuziýa-reaktiw interfeýsleriň emele gelmeginde has aýdyň görünýär.
(5) surfaceerüsti örtügi gowulandyrmak we örtük aýlawyny güýçlendirmek. Ion örtüginiň ýokary işleýän gaz basyşy sebäpli, bugarýan ýa-da dökülen atomlar ýaýramagy güýçlendirmek üçin gaz atomlary bilen çaknyşýar, netijede örtük örtüginiň gowy häsiýetleri bolýar.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Dekabr-09-2023