Gaty örtükleri goýmak üçin adaty usullar

1. Termal CVD tehnologiýasy

Gaty örtükler, esasan, metal keramik örtüklerdir (TiN we ş.m.), olar örtükde metalyň reaksiýasy we reaktiw gazlaşdyrma arkaly emele gelýär. Ilki bilen, 1000 ℃ ýokary temperaturada termal energiýa arkaly Kombinasiýa reaksiýasynyň aktiwleşdiriş energiýasyny üpjün etmek üçin termal CVD tehnologiýasy ulanyldy. Bu temperatura diňe sementlenen karbid gurallaryna TiN we beýleki gaty örtükleri goýmak üçin amatlydyr. Häzirlikçe, ol sementlenen karbid gurallarynyň başlaryna TiN – Al2O3 kompozit örtüklerini goýmak üçin möhüm tehnologiýa bolup durýar.

1. Boş katod ion örtügi we gyzgyn simli ýaý ion örtügi

1980-nji ýyllarda örtülen kesiji gurallary goýmak üçin içi boş katod ion örtügi we gyzgyn simli ýaýly ion örtügi ulanyldy. Bu ion örtük tehnologiýalarynyň ikisi hem ýaýly boşaltma ion örtük tehnologiýalary bolup, metalyň ionlaşma tizligi 20% ~ 40% çenli.

1. Katod ýaý ion örtügi

Katodik ýaý ionlarynyň örtülmeginiň ýüze çykmagy galyplara berk örtükleri goýmak tehnologiýasynyň ösmegine getirdi. Katodik ýaý ionlarynyň örtülmeginiň ionlaşma tizligi 60% ~ 90% -e deňdir, bu bolsa köp sanly metal ionlarynyň we reaksiýa gaz ionlarynyň iş böleginiň ýüzüne ýetmegine we ýokary işjeňligini saklamagyna mümkinçilik berýär, netijede reaksiýa çökündisi we TiN ýaly berk örtükleriň emele gelmegine getirýär. Häzirki wagtda katod ýaý ionlarynyň örtülmegi tehnologiýasy esasan galyplara berk örtükleri goýmak üçin ulanylýar.

Katod ýaý çeşmesi berk ereýän howuzsyz gaty ýagdaýdaky buharlanma çeşmesidir we ýaý çeşmesiniň ýerleşýän ýerini islendik ýagdaýda ýerleşdirip bolýar, bu bolsa örtük otagynyň giňişligini ulanmak tizligini ýokarlandyrýar we peçiň ýükleme ukybyny artdyrýar. Katod ýaý çeşmeleriniň görnüşlerine kiçi tegelek katod ýaý çeşmeleri, sütunly ýaý çeşmeleri we gönüburçly tekiz uly ýaý çeşmeleri girýär. Kiçi ýaý çeşmeleriniň, sütunly ýaý çeşmeleriniň we uly ýaý çeşmeleriniň dürli bölekleri köp gatlakly plýonkalary we nano köp gatlakly plýonkalary goýmak üçin aýratyn ýerleşdirilip bilner. Şol bir wagtyň özünde, katod ýaý ion örtüginiň ýokary metal ionlaşma tizligi sebäpli, metal ionlary has köp reaksiýa gazlaryny özüne siňdirip bilýär, bu bolsa ajaýyp berk örtükleri almak üçin giň proses diapazonyny we ýönekeý işleýşi üpjün edýär. Şeýle-de bolsa, katod ýaý ion örtügi bilen alnan örtük gatlagynyň mikro gurluşynda iri damjalar bar. Soňky ýyllarda plýonka gatlagynyň gurluşyny kämilleşdirmek üçin köp täze tehnologiýalar peýda boldy, bu bolsa ýaý ion örtük plýonkasynyň hilini gowulandyrdy.