- வெப்ப CVD தொழில்நுட்பம்
கடினப் பூச்சுகள் பெரும்பாலும் உலோக செராமிக் பூச்சுகளாகும் (TiN, முதலியன). இவை, பூச்சில் உள்ள உலோகம் மற்றும் வினைபுரியும் வாயுவாக்கம் ஆகியவற்றின் வினையால் உருவாகின்றன. தொடக்கத்தில், 1000 ℃ என்ற உயர் வெப்பநிலையில் வெப்ப ஆற்றலைக் கொண்டு கூட்டு வினைக்கான கிளர்வு ஆற்றலை வழங்க வெப்ப CVD தொழில்நுட்பம் பயன்படுத்தப்பட்டது. இந்த வெப்பநிலை, சிமென்ட் செய்யப்பட்ட கார்பைடு கருவிகளில் TiN மற்றும் பிற கடினப் பூச்சுகளைப் படியவைக்க மட்டுமே பொருத்தமானது. இன்றுவரை, சிமென்ட் செய்யப்பட்ட கார்பைடு கருவித் தலைகளில் TiN – Al2O3 கலப்புப் பூச்சுகளைப் படியவைப்பதற்கு இது ஒரு முக்கியமான தொழில்நுட்பமாகத் திகழ்கிறது.
- உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் அயனிப் பூச்சு மற்றும் சூடான கம்பி வில் அயனிப் பூச்சு
1980களில், பூசப்பட்ட வெட்டும் கருவிகளில் உலோகத்தைப் படியவைக்க, உள்ளீடற்ற எதிர்மின்வாய் அயனிப் பூச்சு மற்றும் வெப்பக் கம்பி வில் அயனிப் பூச்சு ஆகியவை பயன்படுத்தப்பட்டன. இந்த இரண்டு அயனிப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பங்களும் வில் வெளியேற்ற அயனிப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பங்களாகும், இவற்றில் உலோக அயனியாக்க விகிதம் 20% முதல் 40% வரை இருக்கும்.
- கேத்தோடு வில் அயனி பூச்சு
கேத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சின் தோற்றம், அச்சுகளின் மீது கடினப் பூச்சுகளைப் படியவைக்கும் தொழில்நுட்பத்தின் வளர்ச்சிக்கு வழிவகுத்துள்ளது. கேத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சின் அயனியாக்க விகிதம் 60% முதல் 90% வரை உள்ளது. இது அதிக எண்ணிக்கையிலான உலோக அயனிகளையும் வினை வாயு அயனிகளையும் வேலைப் பொருளின் மேற்பரப்பை அடைய அனுமதிப்பதோடு, அதன் உயர் செயல்பாட்டையும் தக்கவைத்துக் கொள்கிறது. இதன் விளைவாக, வினைப் படிவு ஏற்பட்டு TiN போன்ற கடினப் பூச்சுகள் உருவாகின்றன. தற்போது, அச்சுகளின் மீது கடினப் பூச்சுகளைப் படியவைக்க கேத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சுத் தொழில்நுட்பமே முக்கியமாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
கேத்தோடு ஆர்க் மூலமானது, நிலையான உருகிய குளம் இல்லாத ஒரு திட-நிலை ஆவியாதல் மூலமாகும். மேலும், ஆர்க் மூலத்தின் நிலையைத் தன்னிச்சையாக அமைக்க முடியும். இது பூச்சு அறையின் இடப் பயன்பாட்டு விகிதத்தை மேம்படுத்துவதோடு, உலையின் சுமை தாங்கும் திறனையும் அதிகரிக்கிறது. கேத்தோடு ஆர்க் மூலங்களின் வடிவங்களில் சிறிய வட்ட வடிவ கேத்தோடு ஆர்க் மூலங்கள், தூண் வடிவ ஆர்க் மூலங்கள் மற்றும் செவ்வகத் தட்டையான பெரிய ஆர்க் மூலங்கள் ஆகியவை அடங்கும். சிறிய ஆர்க் மூலங்கள், தூண் வடிவ ஆர்க் மூலங்கள் மற்றும் பெரிய ஆர்க் மூலங்களின் வெவ்வேறு கூறுகளைத் தனித்தனியாக அமைத்து, பல அடுக்கு படலங்களையும் நானோ பல அடுக்கு படலங்களையும் படிய வைக்க முடியும். அதே நேரத்தில், கேத்தோடு ஆர்க் அயன் பூச்சின் அதிக உலோக அயனியாக்க விகிதத்தின் காரணமாக, உலோக அயனிகள் அதிக வினை வாயுக்களை உறிஞ்ச முடியும். இதன் விளைவாக, சிறந்த கடினமான பூச்சுகளைப் பெறுவதற்கு பரந்த செயல்முறை வரம்பும் எளிமையான செயல்பாடும் கிடைக்கிறது. இருப்பினும், கேத்தோடு ஆர்க் அயன் பூச்சு மூலம் பெறப்பட்ட பூச்சு அடுக்கின் நுண் அமைப்பில் பெரிய துளிகள் உள்ளன. சமீபத்திய ஆண்டுகளில், படல அடுக்கின் அமைப்பைச் செம்மைப்படுத்த பல புதிய தொழில்நுட்பங்கள் உருவாகியுள்ளன, இது ஆர்க் அயன் பூச்சுப் படலத்தின் தரத்தை மேம்படுத்தியுள்ளது.
பதிவிட்ட நேரம்: ஜூலை-20-2023