- technologie CVD thermique
Les revêtements durs sont principalement des revêtements métallo-céramiques (TiN, etc.), formés par la réaction entre le métal du revêtement et une gazéification réactive. Initialement, la technologie CVD thermique était utilisée pour fournir l'énergie d'activation de la réaction de combinaison par l'énergie thermique à une température élevée de 1000 °C. Cette température est uniquement adaptée au dépôt de TiN et d'autres revêtements durs sur les outils en carbure cémenté. À ce jour, elle reste une technologie importante pour le dépôt de revêtements composites TiN-Al₂O₃ sur les têtes d'outils en carbure cémenté.
- Revêtement ionique à cathode creuse et revêtement ionique à arc à fil chaud
Dans les années 1980, le revêtement ionique par cathode creuse et le revêtement ionique par arc à fil chaud étaient utilisés pour le dépôt de revêtements sur les outils de coupe. Ces deux technologies de revêtement ionique reposent sur la décharge d'arc et présentent un taux d'ionisation du métal pouvant atteindre 20 à 40 %.
- Revêtement ionique à arc cathodique
L'émergence du traitement ionique par arc cathodique a permis le développement de la technologie de dépôt de revêtements durs sur les moules. Le taux d'ionisation de ce procédé est de 60 % à 90 %, ce qui permet à un grand nombre d'ions métalliques et d'ions du gaz de réaction d'atteindre la surface de la pièce tout en conservant une activité élevée. Il en résulte un dépôt par réaction et la formation de revêtements durs tels que le TiN. Actuellement, la technologie de traitement ionique par arc cathodique est principalement utilisée pour le dépôt de revêtements durs sur les moules.
La source d'arc cathodique est une source d'évaporation à l'état solide sans bain de fusion fixe. Sa position peut être choisie librement, optimisant ainsi l'espace de la salle de revêtement et augmentant la capacité de chargement du four. Les sources d'arc cathodique se déclinent en plusieurs formes : petites sources circulaires, sources colonnaires et grandes sources rectangulaires plates. Les différents composants de ces sources peuvent être agencés séparément pour le dépôt de films multicouches et de nanofilms multicouches. Par ailleurs, grâce au taux d'ionisation élevé des métaux lors du revêtement ionique par arc cathodique, les ions métalliques absorbent davantage de gaz de réaction, ce qui permet une large gamme de procédés et une mise en œuvre simplifiée pour obtenir d'excellents revêtements durs. Cependant, la microstructure de la couche de revêtement obtenue par ce procédé présente des gouttelettes grossières. Ces dernières années, de nombreuses technologies innovantes ont émergé pour affiner la structure de la couche, améliorant ainsi la qualité des films de revêtement ionique par arc.
Date de publication : 20 juillet 2023