Téhnik konvensional pikeun neundeun lapisan teuas

1. Téhnologi CVD termal

Palapis teuas biasana palapis keramik logam (TiN, jsb.), anu kabentuk ku réaksi logam dina palapis sareng gasifikasi réaktif. Mimitina, téknologi CVD termal dianggo pikeun nyayogikeun énergi aktivasi réaksi Kombinasi ku énergi termal dina suhu luhur 1000 ℃. Suhu ieu ngan cocog pikeun neundeun TiN sareng palapis teuas sanésna dina alat karbida semén. Dugi ka ayeuna, éta masih mangrupikeun téknologi anu penting pikeun neundeun palapis komposit TiN - Al2O3 dina sirah alat karbida semén.

1. Lapisan ion katoda berongga sareng lapisan ion busur kawat panas

Dina taun 1980-an, palapis ion katoda berongga sareng palapis ion busur kawat panas dianggo pikeun neundeun alat motong anu dilapis. Kadua téknologi palapis ion ieu mangrupikeun téknologi palapis ion pelepasan busur, kalayan laju ionisasi logam dugi ka 20% ~ 40%.

1. Lapisan ion busur katoda

Munculna pangikatan ion busur katodik parantos nyababkeun kamekaran téknologi neundeun lapisan teuas dina citakan. Laju ionisasi lapisan ion busur katodik nyaéta 60% ~ 90%, ngamungkinkeun sajumlah ageung ion logam sareng ion gas réaksi pikeun ngahontal permukaan benda kerja sareng tetep ngajaga aktivitas anu luhur, ngahasilkeun déposisi réaksi sareng formasi lapisan teuas sapertos TiN. Ayeuna, téknologi lapisan ion busur katodik utamina dianggo pikeun neundeun lapisan teuas dina citakan.

Sumber busur katoda nyaéta sumber penguapan kaayaan padet tanpa kolam cair anu tetep, sareng posisi sumber busur tiasa ditempatkeun sacara acak, ningkatkeun laju panggunaan rohangan rohangan palapis sareng ningkatkeun kapasitas beban tungku. Wangun sumber busur katoda kalebet sumber busur katoda bunderan leutik, sumber busur kolom, sareng sumber busur ageung datar pasagi panjang. Komponén anu béda tina sumber busur leutik, sumber busur kolom, sareng sumber busur ageung tiasa disusun sacara misah pikeun neundeun pilem multi-lapisan sareng pilem nano multilayer. Samentawis éta, kusabab laju ionisasi logam anu luhur tina palapis ion busur katoda, ion logam tiasa nyerep langkung seueur gas réaksi, ngahasilkeun rentang prosés anu lega sareng operasi anu saderhana pikeun kéngingkeun palapis keras anu saé. Nanging, aya tetesan kasar dina mikro-struktur lapisan palapis anu diala ku palapis ion busur katoda. Dina sababaraha taun ka pengker, seueur téknologi énggal anu muncul pikeun ngasah struktur lapisan pilem, anu parantos ningkatkeun kualitas pilem palapis ion busur.