Awọn ọna ibile fun fifi awọn ideri lile sii

1. Imọ-ẹrọ CVD ti o gbona

Àwọn ìbòrí líle jẹ́ àwọn ìbòrí irin seramiki (TiN, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ), èyí tí a ń ṣe nípasẹ̀ ìṣesí irin nínú ìbòrí náà àti ìṣesí gasification reactive. Ní àkọ́kọ́, a lo ìmọ̀-ẹ̀rọ CVD ooru láti pèsè agbára ìṣiṣẹ́ ti ìṣepọ̀ ìdàpọ̀ nípasẹ̀ agbára ooru ní ìwọ̀n otútù gíga ti 1000 ℃. Ìwọ̀n otútù yìí yẹ fún fífi TiN àti àwọn ìbòrí líle mìíràn sí orí àwọn irinṣẹ́ carbide tí a fi simẹ́ǹtì sí. Títí di ìsinsìnyí, ó ṣì jẹ́ ìmọ̀-ẹ̀rọ pàtàkì fún fífi àwọn ìbòrí composite TiN – Al2O3 sí orí àwọn irinṣẹ́ carbide tí a fi simẹ́ǹtì símẹ́ǹtì símẹ́ǹtì símẹ́ǹtì símẹ́ǹtì.

1. Ibora ion katode ṣofo ati ibora ion waya arc gbona

Ní àwọn ọdún 1980, a lo ìbòrí ion cathode hollow àti ìbòrí ion arc hot waya láti fi àwọn irinṣẹ́ ìgé tí a fi bo pamọ́. Àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí ion méjèèjì yìí jẹ́ àwọn ìmọ̀ ẹ̀rọ ìbòrí ion arc discharge, pẹ̀lú ìwọ̀n ionization irin tó tó 20% sí 40%.

1. Àwọ̀ ìbora arc ion katode

Ìfarahàn cathodic arc ion cating ti yọrí sí ìdàgbàsókè ìmọ̀-ẹ̀rọ ti fífi àwọn ìbòrí líle sí orí àwọn mọ́ọ̀dì. Ìwọ̀n ionization ti ìbòrí cathodic arc ion jẹ́ 60% ~ 90%, èyí tí ó fún ọ̀pọ̀ àwọn ion irin àti àwọn ion gaasi reaction láàyè láti dé ojú iṣẹ́ náà kí wọ́n sì ṣì máa ṣiṣẹ́ dáadáa, èyí tí ó ń yọrí sí ìdúró ìfarahàn àti ìṣẹ̀dá àwọn ìbòrí líle bíi TiN. Lọ́wọ́lọ́wọ́, ìmọ̀-ẹ̀rọ cathodic arc ion coating ni a sábà máa ń lò láti fi àwọn ìbòrí líle sí orí àwọn mọ́ọ̀dì.

Orísun arc cathode jẹ́ orísun ìtújáde tí ó lágbára láìsí adágún tí ó yọ́, àti ipò orísun arc náà ni a lè gbé kalẹ̀ láìsí ìdíwọ́, èyí tí ó ń mú kí ìwọ̀n lílo ààyè yàrá ìbòrí pọ̀ sí i, tí ó sì ń mú kí agbára ìgbóná ilé pọ̀ sí i. Àwọn àpẹẹrẹ orísun arc cathode náà ní àwọn orísun arc cathode onígun kékeré, àwọn orísun arc columnar, àti àwọn orísun arc onígun mẹ́rin tí ó tẹ́jú. Àwọn èròjà oríṣiríṣi ti àwọn orísun arc kékeré, àwọn orísun arc columnar, àti àwọn orísun arc ńlá ni a lè ṣètò lọtọ̀ láti fi àwọn fíìmù onípele púpọ̀ àti àwọn fíìmù nano multilayer pamọ́. Ní àkókò kan náà, nítorí ìwọ̀n ionization irin gíga ti ìbòrí arc cathodic arc, àwọn ions irin lè fa àwọn gáàsì ìṣesí púpọ̀ sí i, èyí tí ó ń yọrí sí ìwọ̀n ilana gbígbòòrò àti iṣẹ́ tí ó rọrùn láti gba àwọn ìbòrí líle tí ó dára jùlọ. Síbẹ̀síbẹ̀, àwọn ìṣàn omi líle wà nínú ìṣètò kékeré ti ìbòrí tí a rí nípasẹ̀ ìbòrí arc cathodic arc. Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn ìmọ̀-ẹ̀rọ tuntun ti yọjú láti tún ìṣètò ti ìbòrí fíìmù náà ṣe, èyí tí ó ti mú kí dídára fíìmù arc ion coating sunwọ̀n sí i.