Хатуу бүрхүүл түрхэх уламжлалт аргууд

1. Дулааны CVD технологи

Хатуу бүрхүүл нь ихэвчлэн металл керамик бүрхүүл (TiN гэх мэт) бөгөөд бүрхүүл дэх металлын урвал болон реактив хийжүүлэлтээр үүсдэг. Эхэндээ дулааны CVD технологийг 1000 ℃ өндөр температурт дулааны энергиэр Хосолсон урвалын идэвхжүүлэлтийн энергийг хангахад ашигласан. Энэ температур нь зөвхөн цементэн карбидын багаж хэрэгсэл дээр TiN болон бусад хатуу бүрхүүлийг түрхэхэд тохиромжтой. Одоогоор энэ нь цементэн карбидын багаж хэрэгслийн толгой дээр TiN – Al2O3 нийлмэл бүрхүүлийг түрхэхэд чухал технологи хэвээр байна.

1. Хөндий катодын ионы бүрхүүл ба халуун утсан нуман ионы бүрхүүл

1980-аад онд хөндий катодын ионы бүрхүүл болон халуун утсан нуман ионы бүрхүүлийг бүрсэн зүсэх багажийг тунадасжуулахад ашигладаг байсан. Эдгээр ионы бүрхүүлийн технологиуд хоёулаа нуман цэнэг алдалтын ионы бүрхүүлийн технологи бөгөөд металлын ионжуулалтын түвшин 20% ~ 40% хүртэл байдаг.

1. Катодын нуман ионы бүрхүүл

Катодын нуман ионы катетер үүсэх нь хэвэнд хатуу бүрхүүл түрхэх технологийг хөгжүүлэхэд хүргэсэн. Катодын нуман ионы бүрхүүлийн ионжуулалтын түвшин 60% ~ 90% байдаг тул олон тооны металл ионууд болон урвалын хийн ионууд ажлын хэсгийн гадаргуу дээр хүрч, өндөр идэвхжилтэй хэвээр байх боломжийг олгодог бөгөөд үүний үр дүнд урвалын тунадас үүсч, TiN зэрэг хатуу бүрхүүл үүсдэг. Одоогийн байдлаар катодын нуман ионы бүрхүүлийн технологийг голчлон хэвэнд хатуу бүрхүүл түрхэхэд ашигладаг.

Катодын нуман эх үүсвэр нь тогтмол хайлсан цөөрөмгүй хатуу төлөвт ууршуулах эх үүсвэр бөгөөд нуман эх үүсвэрийн байрлалыг дур мэдэн байрлуулж, бүрэх өрөөний зай ашиглалтын түвшинг сайжруулж, зуухны ачааллын багтаамжийг нэмэгдүүлдэг. Катодын нуман эх үүсвэрийн хэлбэрт жижиг дугуй катодын нуман эх үүсвэр, багана нуман эх үүсвэр, тэгш өнцөгт хавтгай том нуман эх үүсвэр орно. Жижиг нуман эх үүсвэр, багана нуман эх үүсвэр, том нуман эх үүсвэрийн янз бүрийн бүрэлдэхүүн хэсгүүдийг олон давхаргат хальс болон нано олон давхаргат хальсыг хадгалахын тулд тусад нь байрлуулж болно. Үүний зэрэгцээ, катодын нуман ионы бүрхүүлийн өндөр металлын ионжуулалтын хурдаас шалтгаалан металл ионууд илүү их урвалын хийг шингээж авах боломжтой бөгөөд энэ нь маш сайн хатуу бүрхүүл олж авахын тулд өргөн хүрээний процесс, энгийн ажиллагааг бий болгодог. Гэсэн хэдий ч катодын нуман ионы бүрхүүлээр гаргаж авсан бүрхүүлийн давхаргын бичил бүтцэд бүдүүн дуслууд байдаг. Сүүлийн жилүүдэд хальсан давхаргын бүтцийг сайжруулах олон шинэ технологи гарч ирсэн бөгөөд энэ нь нуман ионы бүрхүүлийн хальсны чанарыг сайжруулсан.