Mbinu za kawaida za kuweka mipako ngumu

1. Teknolojia ya joto ya CVD

Mipako migumu zaidi ni mipako ya kauri ya chuma (TiN, n.k.), ambayo huundwa na mmenyuko wa chuma katika mipako na uundaji wa gesi tendaji. Mwanzoni, teknolojia ya CVD ya joto ilitumika kutoa nishati ya uanzishaji wa mmenyuko wa Mchanganyiko na nishati ya joto kwa joto la juu la 1000 ℃. Joto hili linafaa tu kwa kuweka TiN na mipako mingine migumu kwenye zana za kabidi zilizosimikwa saruji. Hadi sasa, bado ni teknolojia muhimu ya kuweka mipako ya mchanganyiko ya TiN - Al2O3 kwenye vichwa vya zana za kabidi zilizosimikwa saruji.

1. Mipako ya ioni ya kathodi yenye mashimo na mipako ya ioni ya arc ya waya moto

Katika miaka ya 1980, mipako ya ioni ya kathodi yenye mashimo na mipako ya ioni ya arc ya waya moto ilitumika kuweka vifaa vya kukata vilivyofunikwa. Teknolojia hizi zote mbili za mipako ya ioni ni teknolojia za mipako ya ioni ya kutokwa na arc, zenye kiwango cha ioni ya chuma cha hadi 20% ~ 40%.

1. Mipako ya ioni ya arc ya kathodi

Kuibuka kwa uwekaji wa ioni za arc za cathodic kumesababisha maendeleo ya teknolojia ya kuweka mipako migumu kwenye ukungu. Kiwango cha ioni za arc za cathodic ni 60% ~ 90%, na kuruhusu idadi kubwa ya ioni za chuma na ioni za gesi za mmenyuko kufikia uso wa kipande cha kazi na bado kudumisha shughuli nyingi, na kusababisha uwekaji wa mmenyuko na uundaji wa mipako migumu kama vile TiN. Kwa sasa, teknolojia ya mipako ya ioni za arc za cathodic hutumika zaidi kuweka mipako migumu kwenye ukungu.

Chanzo cha arc ya cathode ni chanzo cha uvukizi wa hali ngumu bila bwawa lililoyeyuka lisilobadilika, na nafasi ya chanzo cha arc inaweza kuwekwa kiholela, kuboresha kiwango cha matumizi ya nafasi ya chumba cha mipako na kuongeza uwezo wa upakiaji wa tanuru. Maumbo ya vyanzo vya arc ya cathode ni pamoja na vyanzo vidogo vya arc ya cathode ya duara, vyanzo vya arc ya safu, na vyanzo vikubwa vya arc vya mstatili tambarare. Vipengele tofauti vya vyanzo vidogo vya arc, vyanzo vya arc ya safu, na vyanzo vikubwa vya arc vinaweza kupangwa kando ili kuweka filamu zenye safu nyingi na filamu zenye safu nyingi. Wakati huo huo, kutokana na kiwango cha juu cha ioni ya chuma cha mipako ya ioni ya arc ya cathodic, ioni za chuma zinaweza kunyonya gesi zaidi za mmenyuko, na kusababisha aina mbalimbali za mchakato na operesheni rahisi ili kupata mipako bora ngumu. Hata hivyo, kuna matone makali katika muundo mdogo wa safu ya mipako inayopatikana kwa mipako ya ioni ya arc ya cathodic. Katika miaka ya hivi karibuni, teknolojia nyingi mpya zimeibuka ili kuboresha muundo wa safu ya filamu, ambayo imeboresha ubora wa filamu ya mipako ya ioni ya arc.