Каты капламаларны урнаштыруның гадәти ысуллары

1. Термик CVD технологиясе

Каты каплаулар, нигездә, металл керамик каплаулардан (TiN һ.б.) тора, алар каплаудагы металл реакциясе һәм реактив газификация нәтиҗәсендә барлыкка килә. Башта термик CVD технологиясе 1000 ℃ югары температурада җылылык энергиясе белән кушылма реакциясенең активлашу энергиясен тәэмин итү өчен кулланылган. Бу температура цементлаштырылган карбид коралларына TiN һәм башка каты каплауларны урнаштыру өчен генә яраклы. Әлегә кадәр ул цементлаштырылган карбид кораллары башларына TiN – Al2O3 композит каплауларын урнаштыру өчен мөһим технология булып тора.

1. Куыш катодлы ион каплавы һәм кайнар чыбыклы дугалы ион каплавы

1980-нче елларда, капланган кисү коралларын урнаштыру өчен, буш катодлы ион каплавы һәм кайнар чыбыклы дугалы ион каплавы кулланылган. Бу ион каплау технологияләренең икесе дә дуга разрядлы ион каплау технологияләре булып тора, металл ионлашу дәрәҗәсе 20% ~ 40% ка кадәр җитә.

1. Катод дугасы ионы белән каплау

Катод дугалы ион катетеризациясенең барлыкка килүе калыпларга каты капламалар салу технологиясенең үсешенә китерде. Катод дугалы ион капламасының ионлашу тизлеге 60% ~ 90% тәшкил итә, бу күп санлы металл ионнары һәм реакция газы ионнарының эш кисәге өслегенә барып җитүенә һәм югары активлыкны саклап калуына мөмкинлек бирә, нәтиҗәдә реакция катламы барлыкка килә һәм TiN кебек каты капламалар барлыкка килә. Хәзерге вакытта катод дугалы ион каплама технологиясе, нигездә, калыпларга каты капламалар салу өчен кулланыла.

Катод дуга чыганагы - каты хәлдәге парга әйләндерү чыганагы, ул каты эретелгән бассейнсыз, һәм дуга чыганагы позициясен теләсә нинди рәвештә урнаштырырга мөмкин, бу каплау бүлмәсенең урын куллану дәрәҗәсен яхшырта һәм мичнең йөкләү сыйдырышлыгын арттыра. Катод дуга чыганакларының формаларына кечкенә түгәрәк катод дуга чыганаклары, баганалы дуга чыганаклары һәм турыпочмаклы яссы зур дуга чыганаклары керә. Кечкенә дуга чыганакларының, баганалы дуга чыганакларының һәм зур дуга чыганакларының төрле компонентлары күп катламлы пленкалар һәм нано-күп катламлы пленкалар урнаштыру өчен аерым урнаштырылырга мөмкин. Шул ук вакытта, катод дуга ионы каплавының югары металл ионлашу тизлеге аркасында, металл ионнары күбрәк реакция газларын сеңдерә ала, бу киң процесс диапазонына һәм бик яхшы каты каплаулар алу өчен гади операциягә китерә. Ләкин, катод дуга ионы каплавы белән алынган каплау катламының микроструктурасында эре тамчылар бар. Соңгы елларда пленка катламының структурасын камилләштерү өчен күп яңа технологияләр барлыкка килде, бу дуга ионы каплау пленкасының сыйфатын яхшыртты.