ເຕັກນິກແບບດັ້ງເດີມສຳລັບການວາງຊັ້ນເຄືອບແຂງ

1. ເທັກໂນໂລຢີ CVD ຄວາມຮ້ອນ

ການເຄືອບແຂງສ່ວນຫຼາຍແມ່ນການເຄືອບເຊລາມິກໂລຫະ (TiN, ແລະອື່ນໆ), ເຊິ່ງເກີດຂຶ້ນຈາກປະຕິກິລິຍາຂອງໂລຫະໃນການເຄືອບ ແລະ ການເຮັດໃຫ້ເປັນແກັສປະຕິກິລິຍາ. ໃນຕອນທຳອິດ, ເຕັກໂນໂລຊີ CVD ຄວາມຮ້ອນໄດ້ຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສະໜອງພະລັງງານກະຕຸ້ນຂອງປະຕິກິລິຍາປະສົມປະສານໂດຍພະລັງງານຄວາມຮ້ອນທີ່ອຸນຫະພູມສູງ 1000 ℃. ອຸນຫະພູມນີ້ແມ່ນເໝາະສົມສໍາລັບການຝາກ TiN ແລະ ການເຄືອບແຂງອື່ນໆໃສ່ເຄື່ອງມືຄາໄບຊີມັງເທົ່ານັ້ນ. ມາຮອດປະຈຸບັນ, ມັນຍັງເປັນເຕັກໂນໂລຊີທີ່ສໍາຄັນສໍາລັບການຝາກເຄືອບປະສົມ TiN – Al2O3 ໃສ່ຫົວເຄື່ອງມືຄາໄບຊີມັງ.

1. ການເຄືອບໄອອອນແຄໂທດຮູ ແລະ ການເຄືອບໄອອອນອາກສາຍຮ້ອນ

ໃນຊຸມປີ 1980, ການເຄືອບໄອອອນແຄໂທດແບບຮູ ແລະ ການເຄືອບໄອອອນດ້ວຍສາຍຮ້ອນໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ເພື່ອຝາກເຄື່ອງມືຕັດທີ່ເຄືອບ. ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບໄອອອນທັງສອງຢ່າງນີ້ແມ່ນເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບໄອອອນແບບປ່ອຍໄຟຟ້າດ້ວຍໄຟຟ້າ, ມີອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນຂອງໂລຫະສູງເຖິງ 20% ~ 40%.

1. ການເຄືອບໄອອອນແຄໂທດ

ການເກີດຂຶ້ນຂອງການເຄືອບໄອອອນແບບກາໂຕດໄດ້ນໍາໄປສູ່ການພັດທະນາເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບແຂງໃສ່ແມ່ພິມ. ອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນຂອງການເຄືອບໄອອອນແບບກາໂຕດແມ່ນ 60% ~ 90%, ຊ່ວຍໃຫ້ໄອອອນໂລຫະຈໍານວນຫຼວງຫຼາຍ ແລະ ໄອອອນອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາສາມາດບັນລຸໜ້າດິນຂອງຊິ້ນວຽກ ແລະ ຍັງຄົງຮັກສາກິດຈະກໍາສູງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ການເຄືອບປະຕິກິລິຍາ ແລະ ການສ້າງຊັ້ນເຄືອບແຂງເຊັ່ນ TiN. ໃນປະຈຸບັນ, ເຕັກໂນໂລຢີການເຄືອບໄອອອນແບບກາໂຕດສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອເຄືອບແຂງໃສ່ແມ່ພິມ.

ແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າແຄໂທດແມ່ນແຫຼ່ງລະເຫີຍຂອງແຂງທີ່ບໍ່ມີສະລອຍນ້ຳທີ່ລະລາຍຄົງທີ່, ແລະຕຳແໜ່ງຂອງແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າສາມາດວາງໄດ້ຕາມໃຈມັກ, ປັບປຸງອັດຕາການໃຊ້ພື້ນທີ່ຂອງຫ້ອງເຄືອບ ແລະ ເພີ່ມຄວາມສາມາດໃນການໂຫຼດຂອງເຕົາອົບ. ຮູບຮ່າງຂອງແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າແຄໂທດປະກອບມີແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າແຄໂທດວົງມົນຂະໜາດນ້ອຍ, ແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າເສົາ, ແລະ ແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າຮາບພຽງຂະໜາດໃຫຍ່ຮູບສີ່ຫຼ່ຽມມຸມສາກ. ສ່ວນປະກອບຕ່າງໆຂອງແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າຂະໜາດນ້ອຍ, ແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າເສົາ, ແລະ ແຫຼ່ງກຳເນີດໄຟຟ້າຂະໜາດໃຫຍ່ສາມາດຈັດລຽງແຍກຕ່າງຫາກເພື່ອວາງຟິມຫຼາຍຊັ້ນ ແລະ ຟິມຫຼາຍຊັ້ນນາໂນ. ໃນຂະນະດຽວກັນ, ເນື່ອງຈາກອັດຕາການໄອອອນໄນເຊຊັນໂລຫະສູງຂອງການເຄືອບໄອອອນໄຟຟ້າແຄໂທດ, ໄອອອນໂລຫະສາມາດດູດຊຶມອາຍແກັສປະຕິກິລິຍາໄດ້ຫຼາຍຂຶ້ນ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ມີຂອບເຂດຂະບວນການທີ່ກວ້າງຂວາງ ແລະ ການເຮັດວຽກງ່າຍດາຍເພື່ອໃຫ້ໄດ້ການເຄືອບແຂງທີ່ດີເລີດ. ຢ່າງໃດກໍຕາມ, ມີຢອດຫຍາບຢູ່ໃນໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກຂອງຊັ້ນເຄືອບທີ່ໄດ້ຈາກການເຄືອບໄອອອນໄຟຟ້າແຄໂທດ. ໃນຊຸມປີມໍ່ໆມານີ້, ເຕັກໂນໂລຢີໃໝ່ຫຼາຍຢ່າງໄດ້ເກີດຂຶ້ນເພື່ອປັບປຸງໂຄງສ້າງຂອງຊັ້ນຟິມ, ເຊິ່ງໄດ້ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຟິມເຄືອບໄອອອນໄຟຟ້າ.