Катуу катмарларды коюунун салттуу ыкмалары

1. Термикалык CVD технологиясы

Катуу каптоолор көбүнчө металл керамикалык каптоолордон (TiN ж.б.) турат, алар каптоодогу металлдын реакциясынан жана реактивдүү газдаштыруудан пайда болот. Башында термикалык CVD технологиясы 1000 ℃ жогорку температурада жылуулук энергиясы менен айкалыш реакциясынын активдештирүү энергиясын камсыз кылуу үчүн колдонулган. Бул температура цементтелген карбид шаймандарына TiN жана башка катуу каптоолорду чөктүрүү үчүн гана ылайыктуу. Азырынча ал цементтелген карбид шаймандарынын баштарына TiN – Al2O3 композиттик каптоолорун чөктүрүү үчүн дагы эле маанилүү технология болуп саналат.

1. Көңдөй катод иондук каптоо жана ысык зым жаа иондук каптоо

1980-жылдары капталган кесүүчү аспаптарды чөктүрүү үчүн көңдөй катод иондук каптоо жана ысык зым жаа иондук каптоо колдонулган. Бул иондук каптоо технологияларынын экөө тең жаа разряддуу иондук каптоо технологиялары болуп саналат, металлдын иондоштуруу ылдамдыгы 20% ~ 40% га чейин жетет.

1. Катоддук жаа иондук каптоо

Катоддук жаа иондук катетердин пайда болушу калыптарга катуу каптамаларды коюу технологиясынын өнүгүшүнө алып келди. Катоддук жаа иондук каптамасынын иондоштуруу ылдамдыгы 60% ~ 90% түзөт, бул көп сандагы металл иондорунун жана реакция газынын иондорунун даярдалуучу бөлүктүн бетине жетип, жогорку активдүүлүктү сактоого мүмкүндүк берет, натыйжада реакциянын чөкмөсүнө жана TiN сыяктуу катуу каптамалардын пайда болушуна алып келет. Учурда катоддук жаа иондук каптама технологиясы негизинен калыптарга катуу каптамаларды коюу үчүн колдонулат.

Катоддук жаа булагы – бул туруктуу эритилген көлмөсү жок катуу абалдагы буулануу булагы, ал эми жаа булагынын абалын каалагандай жайгаштырууга болот, бул каптоо бөлмөсүнүн мейкиндигин пайдалануу ылдамдыгын жакшыртат жана мештин жүктөө жөндөмдүүлүгүн жогорулатат. Катоддук жаа булактарынын формаларына кичинекей тегерек катоддук жаа булактары, мамычалуу жаа булактары жана тик бурчтуу жалпак чоң жаа булактары кирет. Кичинекей жаа булактарынын, мамычалуу жаа булактарынын жана чоң жаа булактарынын ар кандай компоненттерин көп катмарлуу пленкаларды жана нано көп катмарлуу пленкаларды жайгаштыруу үчүн өзүнчө жайгаштырууга болот. Ошол эле учурда, катоддук жаа иондук каптоосунун жогорку металл иондоштуруу ылдамдыгынан улам, металл иондору көбүрөөк реакция газдарын сиңирип, эң сонун катуу каптоолорду алуу үчүн кеңири процесстик диапазонго жана жөнөкөй операцияга алып келет. Бирок, катоддук жаа иондук каптоо менен алынган каптоо катмарынын микротүзүлүшүндө одоно тамчылар бар. Акыркы жылдары пленка катмарынын түзүлүшүн өркүндөтүү үчүн көптөгөн жаңы технологиялар пайда болду, бул жаа иондук каптоо пленкасынын сапатын жакшыртты.