قاتتىق قاپلاملارنى قويۇشنىڭ ئەنئەنىۋى ئۇسۇللىرى

1. ئىسسىقلىق CVD تېخنىكىسى

قاتتىق قاپلاملار كۆپىنچە مېتال كېرامىك قاپلاملار (TiN قاتارلىقلار) بولۇپ، ئۇلار قاپلامدىكى مېتالنىڭ رېئاكسىيەسى ۋە رېئاكتىپ گازلاشتۇرۇش ئارقىلىق ھاسىل بولىدۇ. دەسلەپتە، ئىسسىقلىق CVD تېخنىكىسى 1000 ℃ يۇقىرى تېمپېراتۇرىدا ئىسسىقلىق ئېنېرگىيەسى ئارقىلىق بىرىكمە رېئاكسىيەنىڭ ئاكتىپلىنىش ئېنېرگىيەسىنى تەمىنلەش ئۈچۈن ئىشلىتىلگەن. بۇ تېمپېراتۇرا پەقەت سېمونت كاربىد قوراللىرىغا TiN ۋە باشقا قاتتىق قاپلاملارنى قويۇشقا ماس كېلىدۇ. ھازىرغىچە، ئۇ يەنىلا سېمونت كاربىد قورال بېشىلىرىغا TiN – Al2O3 بىرىكمە قاپلاملىرىنى قويۇشنىڭ مۇھىم تېخنىكىسى.

1. بوش كاتود ئىئون قاپلىمى ۋە قىزىق سىم قوس ئىئون قاپلىمى

1980-يىللاردا، قاپلانغان كېسىش قوراللىرىنى قاپلاش ئۈچۈن بوش كاتود ئىئون قاپلاش ۋە قىزىق سىم قوس ئىئون قاپلاش ئىشلىتىلگەن. بۇ ئىئون قاپلاش تېخنىكىسىنىڭ ھەر ئىككىسى قوس چىقىرىش ئىئون قاپلاش تېخنىكىسى بولۇپ، مېتال ئىئونلىشىش نىسبىتى %20 ~ %40 گىچە.

1. كاتود قوس ئىئون قاپلىمى

كاتود قوس ئىئون قاپلاش تېخنىكىسىنىڭ پەيدا بولۇشى قېلىپلارغا قاتتىق قاپلاش چاپلاش تېخنىكىسىنىڭ تەرەققىي قىلىشىغا تۈرتكە بولدى. كاتود قوس ئىئون قاپلاشنىڭ ئىئونلىشىش نىسبىتى %60 ~ %90 بولۇپ، نۇرغۇن مېتال ئىئونلىرى ۋە رېئاكسىيە گاز ئىئونلىرىنىڭ ئىشلەنگەن بۇيۇمنىڭ يۈزىگە يېتىپ بېرىپ، يۇقىرى ئاكتىپلىقنى ساقلاپ قېلىشىغا شارائىت ھازىرلاپ، رېئاكسىيە چاپلاش ۋە TiN قاتارلىق قاتتىق قاپلاشلارنىڭ شەكىللىنىشىنى كەلتۈرۈپ چىقىرىدۇ. ھازىر كاتود قوس ئىئون قاپلاش تېخنىكىسى ئاساسلىقى قېلىپلارغا قاتتىق قاپلاش چاپلاش ئۈچۈن ئىشلىتىلىدۇ.

كاتود قوس مەنبەسى مۇقىم ئېرىتىلگەن كۆلچەكسىز قاتتىق ھالەتتىكى پارغا ئايلىنىش مەنبەسى بولۇپ، قوس مەنبەسىنىڭ ئورنىنى خالىغانچە ئورۇنلاشتۇرغىلى بولىدۇ، بۇ قاپلاش ئۆيىنىڭ بوشلۇقتىن پايدىلىنىش نىسبىتىنى ياخشىلايدۇ ۋە ئوچاقنىڭ يۈك سىغىمىنى ئاشۇرىدۇ. كاتود قوس مەنبەلىرىنىڭ شەكلى كىچىك ئايلانما كاتود قوس مەنبەلىرى، تۈۋرۈكلۈك قوس مەنبەلىرى ۋە تىك تۆت بۇلۇڭلۇق ياپىلاق چوڭ قوس مەنبەلىرىنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ. كىچىك قوس مەنبەلىرى، تۈۋرۈكلۈك قوس مەنبەلىرى ۋە چوڭ قوس مەنبەلىرىنىڭ ھەر خىل تەركىبلىرىنى كۆپ قەۋەتلىك پىلاستىنكا ۋە نانو كۆپ قەۋەتلىك پىلاستىنكىلارنى قويۇش ئۈچۈن ئايرىم ئورۇنلاشتۇرغىلى بولىدۇ. شۇنىڭ بىلەن بىر ۋاقىتتا، كاتود قوس ئىئون قاپلىشىنىڭ يۇقىرى مېتال ئىئونلىشىش نىسبىتى سەۋەبىدىن، مېتال ئىئونلىرى تېخىمۇ كۆپ رېئاكسىيە گازلىرىنى سۈمۈرۈۋالالايدۇ، بۇنىڭ نەتىجىسىدە كەڭ دائىرىلىك جەريان دائىرىسى ۋە ئاددىي مەشغۇلات ئارقىلىق ئېسىل قاتتىق قاپلاش ھاسىل قىلىنىدۇ. قانداقلا بولمىسۇن، كاتود قوس ئىئون قاپلىشى ئارقىلىق قولغا كەلتۈرۈلگەن قاپلاش قەۋىتىنىڭ مىكرو قۇرۇلمىسىدا قېلىن تامچىلار بار. يېقىنقى يىللاردىن بۇيان، پىلاستىنكا قەۋىتىنىڭ قۇرۇلمىسىنى ياخشىلاش ئۈچۈن نۇرغۇن يېڭى تېخنىكىلار بارلىققا كەلدى، بۇ قوس ئىئون قاپلاش پىلاستىنكىسىنىڭ سۈپىتىنى ياخشىلىدى.